烧结炉 - 图文

DO12.500-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol

目 录

1. 安 全 2. 炉体结构 3. 功 能 4. 操 作 5. 故障处理 6. 维 护 7. 零件更换

1.危险的三个级别

注意（Attention） 潜在危险环境有可能导致轻微人身伤害。同时指示相关于财产损伤的警告。

警告（Warning） 潜在危险环境有可能导致严重的潜在人身伤亡 危险（Danger） 瞬时危险有可能导致严重人身伤亡。

2. 炉 体结 构

烧 结 炉 结 构 烧结炉 烧结区 FF 冷却区 干燥区HTO 炉体参数

干燥区的长度5900mm，最高设定温度为500℃。

烧结区的长度2150mm，1 – 4区最高设定温度650℃， 5、6 两区最高设定温度1000℃. 冷却区的长度3500mm。

最大带速为6000mm /min. HTO加热区

HTO加热装置

HTO加热区

空气加热 区 4 加热区 3 加热区 2 加热区 1 废气抽气装置

烧结区 FF 烧结区 FF 冷 却 区 冷 却 区

风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 冷却区 1 冷却区 2 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇 风扇

驱动系统 驱动马达 CAN控制系统

3 烧结炉的功能

干燥区功能:干燥最后应用的浆料,燃尽浆料内有机组分。

烧结区功能:通过高温烧结将浆料渗透入硅片表面，形成电极。 冷却区功能:冷却传送带和硅片,保证测试温度符合要求。

4. 操 作

辅助介质 :

(1) 打开冷却水阀 (2)打开压缩空气阀 (3)打开总电源开关 设备开机操作

(1)开启设备PC电源，CT Visual软件自动运行 。(2)点击“Login”按钮。

(3)选择用户并输入密码

(4)在导航条上，点击“Load recipe”按钮

(5)选择相应配方并按“OK” 确定。升温时按三步升温步骤升温。 (6)手动操作面板上，设置钥匙开关“Drive OFF/ON”、“Heating FF OFF/ON” 以及“Heating HTO OFF/ON”至位置“I”。

(7)点击“Alarms”标签上“Only show alarms”区域表格只列出未确认的警报，查看警报信息。

(8)点击“Drive/heating reset”标签上的“Reset”、“Confirm/horn”标签上的“Confirm disturbance” 按钮和“Horn OFF”按钮。来确认警报讯息

(9)退出用户操作

参数保存

1、点击“ Save recipe”按钮。

2、输入要保存的文件名及对文件名的描叙，点击“OK”按钮 工艺参数及设备参数的设置

菜 单

1. 用户登入 10. 信号灯 2. 用户退出 11. 设备状态 3. Windows 主菜单 12. 选项菜单 4. 用户名称 13. 温度曲线菜单 5. 参数保存菜单 14. 警报菜单 6. 参数下载菜单 15. 参数设定菜单 7. 工艺名称 16. 冷却系统菜单 8. 工艺描叙 17. 气体供应菜单 9. 打印菜单 18. 加热设定菜单

干燥区工艺参数设定 烧结区工艺参数设定 设备参数设定

干燥区加热管功率输出设置 烧结区加热管功率输出设置 传送带速度设定

热空气风扇速度设定

烧结炉开机升温

为了延长烧结炉加热管寿命，升温按三步升温原则，不可直接运行工艺温度。

第一步运行 lingyang100-300-3000 升温工艺 第二步运行 lingyang200-600-3000 升温工艺 第三步运行 生产工艺

烧结炉降温

1. 长时间不生产时，应该降低炉温，降温的步骤是上述的第二步，第一步。

2. 烧结炉关机降温应该运行 lingyang-01 降温工艺。

3. 烧结炉出现故障（冷却水温高，瞬间断电、断气 等）时应该立即运行lingyang-01降温 工艺，以防止烧结炉受到不必要的损伤

烧结炉参数更改

1. 变更烧结炉温度参数时，温差范围不可一次超过50℃，否则机器会发生报警。调节温差范围较大时可以分步进行。

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/ivkf.html