简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人
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简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人
alexjornne 发表于: 2010-6-26 23:20 来源: 半导体技术天地
写得不好,请大家多多指教。 OHS(Over Head Shuttle )
可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。 一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间FOUP搬运
OHT (Overhead Hoist Transfer )
是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。
由升降装置马达驱动BELT,使GRIPPER自动抓取设置在port的foup。 这是300mm晶圆厂运用最广防的搬运工具。GRIPPER有不同的类型可以搬运不同类型的foup。
从第一代10几年前只能低速走行单线轨道,移载设置于其正下方port的foup, 到第二代可以高速走行在分歧轨道,
第三代不仅可以走行在分歧轨道,还可以左右移载设置在STS,UTS上的FOUP 再到第四代450mm搬运小车,更新速度可谓非常之快。
中国国内半导体厂商使用第一代,第二代自动搬运小车,目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。
AGV (Automated Guided Vehicle)
车上安装了多关节手臂机器人,用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。
本搬运小车由于安装了大容量的电池,可以自动走行在工厂的地板上,并按照程序设置,可以走行比较复杂的路径。
台湾,韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。
RGV (Automated Guided Vehicle) 本小车走行在安装在地板上的轨道,可以高速搬运保管设备和制造设备之间的foup。 和AGV同样搭载了多关节手臂机器人,但是小车走行速度大大高于同类型的AGV。 韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。
STOCKER
是fab里面的一时自动保管仓库。 可以把半成品的硅片暂时存放于此。 有好几种类型。
其中一种塔形仓库可以实现foup楼层之间的搬运。
以后有空再说说FPD工厂的搬运机器人
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