光学薄膜知识

使用增透膜时注意要求 1、使用的波长或者波段

2、光线入射角度或角度范围 3、对剩余反射率的要求

4、使用环境的要求（比如高低温、酸碱性） 5、激光领域，对激光阀值要求

入射角度与反射率的关系：入射角度增加、反射率增大。

玻璃增透膜的成膜材料有MgF2 SiO2 TiO2 ITO 膜层设计时，首先要注意的是膜层中不同膜材的膨胀系数，因为相差太大在后续加工处理中将引起牢固度差、龟裂和脱膜的现象。

不同工艺生产的增透膜（玻璃）硬度性能对比

溶胶凝胶法 真空溅射法 真空蒸镀法

穿透率 98% 98% 98% 反射率 2%以内 2%以内 2%以内 玻璃颜色 淡红 深红 深红 强度

表面硬度 7H~29H 7H以上 5H以上 耐擦洗性 500次以上膜层无影响 差 最差 膜层均匀性 好 差 最差

使用反射膜时注意要求 金属膜材料的选择原则： 1、先考虑使用波段 2、反射率要求 3、使用环境 4、制作成本

5、常用有Al Ag Au Pt等材料镀膜 铝Al 最常用 紫外 可见 红外 银Ag 反射率最高 稳定性差 金Au 红外常用 稳定 铂Pt 铑Rh 稳定 坚固

全介质反射膜

理论上 只需增加膜系的层数，反射率可无限地趋近100%，实际上由于膜层的吸收（尤其是金属膜），散射损失，当膜系达到一定层数时，继续加镀膜堆，并不能提高其反射率，有时由于吸收、散射损失的增加而是反射率下降。因此，膜系中的散射，吸收限制了膜堆的最大数目。全反射膜主要用于大功率激光系统中（谐振腔）。

多层反射膜

分束膜

一般来件，分束膜总是倾斜使用，常以45°为准，分束膜有两种：

1、中性分束膜（NPBS）适用：自然光、圆偏振光。有相应两种分束镜：平板型，胶合棱镜、分束镜，作用是使光强尽量分成50/50。 2、偏振分束膜（PBS）应用广泛。一般都用棱镜分束镜。作用是将光分成偏振态不同的两束。 平行板型分束镜分光效率高，偏振效应明显，但分光色散问题明显只用于中低要求的光学装置。

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