(5S现场管理)上芯工序5S规范

天水华天科技股份有限公司制造部上芯工序培训教材

目录

现场5S管理规范 (2)

一小货架上物料放置规范 (2)

二检验桌上物料放置规范 (3)

三传递盒在货架上放置规范 (3)

四传递车上产品放置规范 (4)

五静电环的使用规范 (4)

六氮气柜中晶圆的放置规范 (5)

七氮气柜中引线框架的放置规范 (6)

八领班工作桌物料放置规范 (7)

九氮气柜中兰膜的放置规范 (8)

十设备上记录的放置规范 (9)

十一产品传递规范 (10)

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现场5S 管理规范

目 的：通过5S 管理、规范物料放置、提升工作效率： 使用范围：上芯工序

一 小货架上物料放置规范

序号 图片

说明

备注

1

设备旁边小货架

1. 按标识分类放置整齐；

2. 统一放置在左边；

3. 引线框架要侧放；

4.

不能超出边缘线。

2

设备旁边小货架第一层

1. 小货架第一层放置晶圆

提篮、装有产品的传递框、废引线框架或打×产品；

2. 传递框中产品四周要留

有缝隙；

3. 装有打×产品的传递盒

首尾时要及时清理放置以防混批。

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二 检验桌上物料放置规范

序号 图片

说明

备注

1

检验桌

1. 检验桌上物料放置严格

按标识位置规范放置；

三 传递盒在货架上放置规范

序号 图片

说明

备注

1

货架上传递盒的放置规范

1. 同一封装形式传递盒

整齐放置在货架的同一层并挂上标识牌； 2. 操作员取用时从右向

左按序取用；

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四传递车上产品放置规范

序号图片说明备注1 传递车上产品放置要求 1.一层最多只能放置4

框产品；

2.流程卡对折放置在第

一个和第二个传递盒

中间；

3.操作员放置时流程卡

方向要一致;

4.传递框不能超出传递

车边缘（安全）；

5.统一封装形式不同批

次产品不能放置在传

递车同一层。

五静电环的使用规范

序号图片说明备注1 操作设备时 1.操作设备及时插上静电

环；

2.抽检产品时及时插上静电

环；

2 检验产品时 1.在检验桌前检验产品时及

时插静电环

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六氮气柜中晶圆的放置规范

序号图片说明备注1 氮气柜外面 1.所有晶圆按标识放置在对

应的氮气柜中；

2 氮气柜中的晶圆提篮 1.氮气柜中的晶圆提篮按

规范放置在氮气柜中。

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七氮气柜中引线框架的放置规范

序号图片说明备注1 框架标签 1.物料员领用的引线框架

按标识分类放置在对应

柜中；

2 氮气柜中框架放置规范 1.引线框架统一按规范放置

在柜的右侧；

3 框架放置规范 1.一般框架在氮气柜中都要

竖放；

4 框架放置规范 1.有盖子的不能竖放的平行

放置。

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5 框架的取用规范 1.物料员取用框架时按先进

先出的原则从左向右取用。

八领班工作桌物料放置规范

序号图片说明备注1 领班工作桌 1.按标识规范放置整齐。

2 首尾兰膜放置规范 1.操作员首尾的产品把流程

卡、晶圆上芯统计记录、晶

圆管制卡对着整齐的放置

在兰膜的上面。

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九氮气柜中兰膜的放置规范

序号图片说明备注1 兰膜氮气柜 1.将首尾兰膜按标识分类放

置在对应氮气柜中；

2 氮气柜中记录及兰膜规范 1.氮气柜中记录及兰膜放置

规范；

氮气柜中兰膜放置规范 1.兰膜放置规范

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十设备上记录的放置规范

序号图片说明备注1 设备前面记录放置规范 1.设备前面左面放置流程卡

和晶圆管制卡；右面放置设

备运行记录；

2 设备上面记录放置规范 1.设备正上面放置《晶圆上

芯统计记录》；

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十一产品传递规范

序号图片说明备注1 产品的传递规范 1.双手抓住传递框，平行传

送；

2 传递车的传送规范 1.双手平行推送

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