RENA操作流程

RENA制绒工序操作流程 1 主题内容

本文规定了多晶制绒工序的基本操作流程。

2 适用范围

本规定适用于多晶制绒工序。

3 内容

3.1 生产准备

3.1.1 进入车间室时必须穿好工作服、工作鞋，戴工作帽、手套和防尘口罩，衣着标准严格按照6S执行，不得穿着工作服在车间外活动，进入车间必须走风淋门。

3.2 操作流程

3.2.1 上料

3.2.1.1用小推车将硅片运至RENA机上料处

3.2.1.2去除硅片内包装（如果有），将硅片放入专用泡沫箱中。每一百片硅片一组

隔开放置，

3.2.1.3 取一摞（100片）硅片检查有无缺角隐裂碎片崩边油污等不良片，然后将硅片按规定的线痕方向承载盒中，双手提起承载盒将其放入上料机。用气枪在平行于硅片表面方向将硅片吹开防止叠片。

3.2.1.4 点击“吸完为止”使其变红，点选与RENA匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮待机械臂行至原点后再次按下工艺启动按钮开始生产 3.2.2 测腐蚀量

取10至15片硅片使用电子天平依次称重记录，将称好的硅片按称量顺序放入腐蚀量专用花篮中，拿到上料处。开始生产前取一片称好硅片放在RENA机第三道待其流出后称重计算出腐蚀量，合格后开始生产，如果不合格通知工艺人员调整制绒液浓度。

3.2.3 下料

3.2.3.1 将花篮按箭头向上的方式放在下料机花篮缓冲区传送带上，缓冲区最多放三

线痕方向 个花篮。

3.2.3.2点选与RENA匹配的带速按钮，按下工艺启动按钮启动下料机。

3.2.3.3 待花篮插满硅片后，将花篮自下料处拿起放到货架上，非制绒面朝向下料人。

3.3 仪器/工具/材料

3.3.1 仪器：启天上下料机，RENA制绒机 3.3.2 工具：承载盒、花篮。 3.3.3 材料：硅检后硅片

3.4 注意事项：

3.4.1 注意观察上料处如有碎片、叠片将碎片叠片及时取出。

3.4.2 开始生产后每500片测腐蚀量一次。生产2000片后每2000片测腐蚀量一次。

3.4.3 rena机临时停机后复产需降低带速，腐蚀量正常后逐步提高带速 3.4.4 检验硅片时严禁用裸手直接接触硅片。

3.4.5 下料：及时清理流片承载盒内硅片防止碎片，及时处理堵片报警， 3.4.6 任何人未经允许不得更改工艺参数。

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