乐山硅业清洗方案 - 图文

成都蓝克环保清洗工程有限公司

乐山多晶硅项目生产装置及管线

单位名称：项目名称：：编制单位：编制；

化 学 清 洗

方 案

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目 录

一、方案编制依据 二、化学清洗的目的 三、化学清洗范围及分类 四、清洗前的准备工作 五、清洗站及临时管网建立 六、化学清洗步骤及监控分析 七、清洗药剂的监测与分析 八、化学清洗质量要求与保证措施 九、化学清洗废液的处理 十、清洗过程中安全措施 十一、化学清洗总结报告 十二、方案说明 十三、附录；

1、 多晶硅生产装置及管线化学清洗用设备仪器、材料2、多晶硅生产装置各单元清洗工作量汇总表

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1、方案编制依据

1.1本化学清洗方案是根据四川新光硅业科技有限责任公司提供的下列文件、资料和图纸，并参照中华人民共和国化工行业标准而编写制定的；

1.1.1 根据贵方提供标书中对多晶硅生产装置及管线安装前预清洗要求； 1.1.2 多晶硅生产装置有关单元平面图； 1.1.3 多晶硅生产布置图及生产管线布置图；

1.2 根据中华人民共和国化工行业标准HG/T2387-92，《工业设备化学清洗质量标准》； 1.3 参照中华人民共和国电力行业标准DL/T794-2001《火力发电厂锅炉化学清洗导则》； 1.4 本方案中主要介绍了多晶硅生产装置及管线化学清洗操作规范和一些基本要求； 1.5 我公司清洗技术在大型化工装置及其它特种设备中的应用和研究。 2、化学清洗的目的

多晶硅生产装置是一个生产工艺复杂，生产装置种类众多，对生产设备的洁净度要求很高，生产工艺要求非常严格的化工生产系统。新设备在生产、运输和装配过程中会产生油污、泥沙、表面涂层、铁锈、轧制鳞皮、灰尘、焊渣等附着物。四川新光硅业科技有限责任公司多晶硅生产装置的设备及管线在制造厂家虽然都进行酸洗钝化，但由于各方面的原因，仍然会产生灰尘、锈渣等污染物，而且设备及管线未进行脱脂难以达到生产的要求。根据以上情况，为了有效地减少生产系统调试时间，避免生产中因纯度引起的不必要停车，最大限度地降低调试费用，缩短开车日期，必须有序的作好多晶硅生产装置及管线的安装前预清洗工作，使之与生产工艺流体接触的全部金属表面达到合乎要求的清洁度，为装置安全、高效地运行创造良好的条件。 3、化学清洗范围及分类

化学清洗范围及分类主要包括下列单元； 3.1.多晶硅生产设备；

3.1.1 1号厂房HCL合成6台多晶硅生产设备清洗按标书中“一般清洗要求”执行； 3.1.2 1号厂房SiHCL3合成42台多晶硅生产设备清洗按标书中“干净清洗要求”执行； 3.1.3 2号厂房前级提纯塔64台多晶硅生产设备，罐区39多晶硅生产设备，后级提纯塔133多晶硅生产设备清洗按标书中“洁净清洗要求”执行；

3. 2 工艺介质管线；用于1、2号厂房输送工艺介质（氢气、HCl、氯硅烷、工艺氮气、工艺空气）的管道清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。

3. 3机泵；3级精馏塔前工艺部分用于输送工艺介质的泵清洗按标书中“干净清洗要求”

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执行。3级精馏塔后工艺部分用于输送工艺介质的泵清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。用于输送蒸馏水的泵清洗按标书中“一般清洗要求”执行。用于其它介质的泵清洗要求：用清水冲洗干净既可。

3.4仪表；用于1、2号厂房主工艺介质（含H2、N2、Cl2、HCl、空气或氯硅烷）流经的设备和管路上的会与介质直接接触的仪表（包括调节阀、开关阀、流量计、压力表、温度计、液位计等），清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。除去上述规定范围的仪表，其余仪表清洗按标书中“干净清洗要求”执行。

3.5手动阀门；用于1、2号厂房主工艺介质（含H2、N2、Cl2、HCl、空气或氯硅烷）流经的设备和管路上的会与介质直接接触的阀门清洗按标书中“洁净清洗要求”执行。 4、清洗前的准备工作

4.1、在清洗前，须将被清洗系统中不允许参与清洗的部件，如流量计、液位计、孔板、 文丘里管、调节阀、过滤器、单向阀等均应拆除或抽芯，采取加临时短管、临时旁路及盲板等措施对拆除部位进行处理；

4.2、关闭并隔离与清洗系统无关的阀门，以防止清洗液外漏；

4.3、拆除部位应挂牌并标明位置，对拆下的管路及设备附件，按要求进行单独处理，以备清洗后安装复位；

4.4、准备好化学清洗所需的各种清洗药剂，并完成药剂的质量检测工作，确保药剂的质量；

4.5、为检查清洗效果，被清洗系统应安装测试接头和分析采样点，安装在临时系统中的温度、压力及分析仪器等应计量合格后方可使用；

4.6、对清洗系统中的所有阀门进行统一编号，并悬挂在阀门上；

4.7、对现场技术人员和施工人员进行培训，熟悉清洗工艺流程及操作规范； 4.8、选定腐蚀测试挂片挂置点，腐蚀测试挂片和监测管段应称重、制作完毕； 4.9、将并联的被清洗设备和管线暂时改为串联，必要时应加限流控板，使各部位管路清洗流量、流速基本相等；

4.10、化学清洗前被清洗设备和管线做系统水压试验和系统空气吹扫； 4.11、公用工程（由厂方提供）

4.11.1、水：软化水和除盐水，氯离子含量小于５０mg/L,流量３００ M3；

清洗过程

用水量为清洗系统水容积的倍数 4

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2～3倍 3～5倍 2～3倍 7～11倍 脱脂及随后的水冲洗（除盐水） 酸洗及随后的水冲洗 (除盐水) 漂洗中和钝化及冲洗（除盐水） 总用水量 4.11.2、电：动力电源：380V、55KW；

照明电源：220V、5KW；

4.11.3、蒸汽：压力1.0Mpa、流量5T/H；

4.11.4、氮气：干燥、无油、压力0.5～0.7Mpa、纯度99%以上。

5、清洗站及临时管网建立

临时清洗系统的配置包括，清洗泵站的选型和临时进回液的连接；

5.1清洗泵站如图1-1配置，循环清洗泵、清洗槽及废液槽的型号及规格，应根据清洗对象的容积、位置选定。临时管线可根据清洗泵进出口尺寸确定；

5.2清洗泵站应具备正反向循环切换，自循环配液等功能；

5.3根据设备的规格尺寸和洗涤方式等确定清洗循环回路。清洗可采用低点进液高点回液的循环流程，并在最高点设置排气孔，以防止产生气阻，而使清洗液不能充满被清洗系统。同时设置低点导淋排污点，以便排尽残液；

5.4在设计清洗工艺流程时，不能有清洗盲区和清洗死角出现。

图

6、化学清洗步骤及监控分析

所有清洗的设备管线都经制造厂家酸洗钝化，因此根据清洗要求不同，不同清洗设备管线清洗工艺按不同方案实施。

对一般清洗的设备及管线，化学清洗步骤为：系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→干燥复原封存

对干净清洗的设备及管线，化学清洗步骤为:系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→酸洗→酸洗后水冲洗→中和钝化→干燥复原封存

对洁净清洗的设备及管线,化学清洗步骤为:系统水冲洗及检漏→脱脂处理→脱脂后水冲洗→酸洗→酸洗后水冲洗→漂洗→中和钝化→干燥复原封存

清洗步骤顺序

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本次清洗由于设备数量多，要求比较高，不同的工序有不同的要求，对于清洗的顺序应有一个合理的安排，尽量使相同工序、相同要求的设备、管线组成循环回路进行清洗，对设备和管线可以串连或并连，保证清洗流量和流速，可以缩短清洗周期。即按照清洗要求一般清洗、干净清洗、洁净清洗来划分清洗施工范围和顺序，本次清洗要求基本是按照生产工序的前后来确定的，生产工序由前往后清洗要求从一般、干净到洁净，本次清洗可以按照每个生产工序来进行。

通过这样的清洗程序安排，清洗设备、管线比较集中，临时管线易连接，清洗要求一致，清洗工艺相同，可以保证清洗工作的有序进行，对于需清洗的每一台设备、每一段管线、每个阀门都可以确保清洗，防止遗漏，特别对一些小的设备及零部件要注意，以免个别部位未清洗而影响整个清洗质量。

精馏塔是本次清洗的关键设备，体积大，内部部件多，清洗要求高。对于内部部件可以直接放入清洗槽进行清洗，塔节平放于地面，两头用盲板封口，斜对角开口作为清洗进出口与循环管路连接进行循环清洗。

6.1系统水冲洗及检漏

系统水冲洗及检漏的目的是用大流量的水除去系统中的积灰、脱落的焊渣、金属氧化物及其他疏松污垢，同时在模拟清洗状态下检查清洗系统中是否有泄漏及清洗循环系统是否畅通。

冲洗时，先从高位注满，从低点排放，以便排净清洗系统中的杂物，控制进出水平衡，必要时进行正反向切换冲洗。在冲洗过程中应开启各排污阀门，同时应开启各排空阀门，以防止气阻，当冲洗水进出口浊度差小于5PPM时即可结束水冲洗。

系统冲洗干净后，将全系统注满水，调节出口回水阀门，控制泵压至0.5～1.0MPa。检查各回路的法兰、焊缝、阀门、短管连接处等是否有泄漏，若有泄漏，应及时补救。当确认无误时，开始升温准备脱脂处理。

监测项目：浊度 1次/15分钟 6.2脱脂处理

脱脂处理的目的是通过脱脂液乳化被清洗系统内的机油、石墨脂、含油涂层、防锈油、切削液及其它油污，使金属表面油污脱落达到一定的洁净度，同时对金属氧化层起到润湿、渗透作用，使下一步清洗过程中作用成分更完全、彻底地同清洗对象充分接触，保证均匀的清洗效果。

系统水冲洗及检漏结束后，将一定量的脱盐水用清洗泵充入系统，边循环边加热，当温度

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升至55℃时，逐渐加入各种脱脂药剂。继续加温至85±5℃，控制温度在此区间，同时对进回液的浓度进行监控。转化过程应进行必要的反向循环清洗，并定时进行放空、导淋。当进回液浓度基本平衡且2小时内基本保持不变时，即可结束转化清洗。 监控项目：浓度 1次/1小时 温 度 1次/30分钟 工艺条件：温度 85±5℃ 时间 10～12小时

6.3脱脂后水冲洗

脱脂后水冲洗的目的是为了除去被清洗系统内残留的药液，并使部分杂质脱离金属表面而被带走。

冲入热的软化水进行冲洗，先以高位注满，低点排放，并不断地打开各排污点检测PH值和浊度，浊度和上水基本一致时，向系统注满热的软化水，循环1小时，同时监测各排污点和出水的PH值及浊度，当合乎要求后，冲洗结束。

监控项目：浊度 1次/15分钟 PH值 1次/15分钟 6.4酸洗

酸洗的目的是利用酸洗液与金属氧化物、焊渣和污垢进行化学和电化学反应,使不溶性物质生成可溶性物质,达到清洗目的。

酸洗是整个化学清洗过程的关键步骤，根据被清洗系统中的材质及氧化情况，为了避免设备及管线在酸洗时受到离子的腐蚀作用，因此，在酸洗体系中，应投加缓蚀剂、还原剂、助溶剂等助剂。并在清洗时挂入与清洗设备材质相同或相似的标准腐蚀指示片和监视管段。

水冲洗结束后，向系统注入定量的软化水，建立起循环，在常温下先加入缓蚀剂，待循环均匀后逐渐加入各种酸洗药剂。酸洗过程必须控制在60℃以下。在酸洗时，应将称重好的腐蚀试片及监视管段投入清洗槽中，在被清洗系统内也应悬挂腐蚀试片来共同测定清洗效果及腐蚀率。酸洗时，应定时取样分析酸液浓度、铁离子浓度及定期进行反向循环，同时进行放空和导淋，以避免产生气阻和导淋堵塞。当监视管段内的污垢清洗干净、酸浓度及总铁离子浓度基本平衡后1小时不变，即可结束酸洗，并立刻取出腐蚀指示片进行常规处理和称重，以测定腐蚀率。

测试项目：酸浓度 1次/30分钟

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铁离子浓度 1次/30分钟 温度 1次/30分钟 酸洗结束后测定腐蚀率。

工艺条件：温度 常温 时间 4～6小时 6.5酸洗后水冲洗

酸洗后水冲洗的目的是冲出系统中残留的酸洗液和系统内脱落的固体颗粒，以便漂洗和钝化。

用氮气将酸洗液顶出后，用大量的软化水对全系统进行开路冲洗，不断轮换开启系统各排污阀门，以冲出系统中杂物及残液。当出水PH>6，并且出水与上水浊度基本一致时，向系统注满热的除盐水，循环1小时，同时监测各排污点和出水的PH值及浊度，当合乎要求后，冲洗结束。

监控项目:PH值 1次/15分钟 浊度 1次/15分钟 6.6漂洗

漂洗的目的是利用漂洗剂与系统内残留的铁离子络合，并除去系统内在水冲洗过程中形成的浮锈，使系统总铁离子浓度降低，以保证钝化效果。

水冲洗结束后，向系统充满脱盐水，建立起循环，在常温下加入缓蚀剂，边循环边加热，当温度升到60℃时，加入漂洗药剂进行漂洗。在漂洗过程中要定期进行导淋和放空及定时监测铁离子浓度、 漂洗液浓度及PH值。当监测项目在半小时内基本不变时，即可结束漂洗。在漂洗过程中应严格控制铁离子浓度小于200mg/L，若超过该值，则应用热的除盐水更换部分漂洗液至铁离子含量小于该值。

监测项目：漂洗液浓度 1次/30分钟

铁离子浓度 1次/30分钟 温度 1次/15分钟 PH值 1次/15分钟 工艺条件：温度 85±5℃ 时间 8～10小时 PH 3.5～4.0

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6.7中和、钝化

通过酸洗、漂洗后的金属表面处于较高活性状态。通过钝化的方法，使金属表面形成一层致密的保护膜，从而防止被清洗金属再次氧化，以保证生产的正常运行。

漂洗结束后，对各排污点进行检查，使整个系统的PH值都要达到这一要求。当PH值和铁离子含量符合要求后，加入各种钝化药剂，并边循环边加热，温度控制在50～60℃。钝化时间为4～6小时。钝化过程中应定期进行导淋和放空，以确保钝化效果。

监控项目：PH值 1次/30分钟 P温度 1次/30分钟 工艺条件： 温度 50～60℃

时间 4～6小时 PH 9.0～10.0

6.8干燥复原封存

整个清洗工艺结束后，后用无油1u过滤器过滤的无油空气或无油氮气（一般、干净清洗用无油空气吹干）。将被清洗系统吹干，吹扫干燥后，按生产工艺要求把设备和管线复原。管道干燥后，按生产要求与设备及仪表接通验收合格后，用氮气将设备及管线封存。仪表、阀门等零部件做单独干燥处理后，单独封存、备用。 7、清洗药剂的监测与分析

7.1脱脂液的监测

7.1.1脱脂液浓度及碱度的测定 (1)基本原理

由氢氧化钠、碳酸钠与磷酸三钠组成的脱脂液，当用酸标准溶液滴定时反应如下： 加酚酞指示剂

OH-＋H+＝H2O

Na3PO4＋H+＝Na2HPO4＋Na+ Na2CO3＋H+＝NaHCO3＋Na+ 再加甲基橙指示剂

Na2HPO4＋H+＝NaH2PO4＋Na+

NaHCO3＋H+＝H2O＋Na+＋CO2 然后用碱标准溶液反滴定

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NaH2PO4＋NaOH＝Na2HPO4＋H2O

根据不同的滴定终点所消耗的标准溶液量可以分别计算其含量。 (2)试剂

①0.100mol/L(1/2H2SO4)标准溶液 ②0.100mol/L（NaOH）标准溶液 ③1×10-2酚酞指示剂（以乙醇为溶剂） ④0.1×10-2甲基橙指示剂 (3)测定方法

用移液管准确吸取已经过滤的碱洗液20mL于锥形瓶中，加蒸馏水稀释至100mL，加入1～2滴酚酞指示剂，用0.100mol/L(1/2H2SO4)?标准溶液滴定至红色恰好消失，记下硫酸消耗量

V1，再加入2～3滴甲基橙指示剂，继续用硫酸标准液滴定至橙红色，记下消耗量V2 (不包括V1)。如果碱洗液或者钝化液由碳酸钠和磷酸三钠组成，则再将上述溶液在电炉上加热煮沸约2分钟，去除CO2后迅速冷却，再用0.100mol/LNaOH标准溶液反滴定至黄色，记下NaOH消耗量

V3。

(4)计算 ①总碱度

0.1(V1?V2)??JD??1000 mmol/L 总 （7－1）

V酸②当脱脂液为氢氧化钠和磷酸三钠时：

NaOH?10?2?0.1(V1?V2)?400.4(V1?V2)?100?10?2??10?2 V酸?1000V酸Na3PO4?10?2?

0.1V2?1641.64V2?100?10?2??10?2 V酸?1000V酸

（7－2）

（7－3）

式中：0.1 ─ C(1/2 H2SO4)或者C(NaOH)标准溶液浓度，mol/L；

V1 ─ 加入酚酞指示剂时所消耗的酸标准溶液的量，mL； V2 ─ 再加入甲基橙指示剂后所消耗的酸标准溶液的量，mL； V3 ─ 反滴定时所消耗的NaOH标准溶液的量，mL； 40 ─ NaOH的摩尔质量，g/mol； 164 ─ Na3PO4的摩尔质量，g/mol； V碱 ─ 所取脱脂液的量，mL。

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7.1.2脱脂液中磷酸根(PO43-)浓度的测定(目视比色法) (1)基本原理

在0.6mol/L(H+)的酸度下，磷酸盐与钼酸铵生成磷钼黄，用氯化亚锡还原成磷钼蓝后，与同时配制的标准色进行比色测定。

(2)试剂及配制

①磷酸盐标准溶液(1mL含1mgPO43-)：称取在105℃干燥过的优级纯磷酸二氢钾(KH2PO4)1.433g，溶于少量除盐水中，然后准确稀释至1000mL。

②磷酸盐工作溶液(1mL含0.1mgPO43-)?：取上述标准溶液，用除盐水准确稀释10倍。 ③钼酸铵-硫酸混合溶液：于600mL蒸馏水中徐徐加入167mL浓硫酸(密度1.84 g/cm3)，摇匀后冷却至室温。称取20g钼酸铵[(NH4)6Mo7O24·4H2O]，研细后溶于上述硫酸溶液中，用蒸馏水稀释至1000mL。

④1×10-2氯化亚锡甘油溶液：称取1.5g分析纯氯化亚锡于烧杯中，?加20mL浓盐酸溶解，再加80mL纯甘油(丙三醇)，搅匀后将此溶液转入塑料壶中密封备用。此溶液容易受空气氧化而失效，需及时更换。

(3)测定方法

用移液管吸取磷酸盐工作溶液?(1mL含0.1mgPO4)?0.50，?1.00，1.50， 2.00，2.50mL分别注入一组25mL比色管中；用另一支移液管准确吸取1～5mL被测溶液至100mL容量瓶，稀释至刻度后摇匀，然后吸取该溶液5.00mL注入一支比色管中。在上述所有比色管中加蒸馏水稀释至约20mL，再往各比色管中加入2.5mL钼酸铵-硫酸混合溶液，并且用蒸馏水稀释至刻度，最后在每支比色管中各加入5滴氯化亚锡甘油溶液，摇匀，待2分钟后进行比色。

(4)计算

0.1V标V标 （7－4） 3?PO4?3-

5V碱?100?1000?2000 mg/L V碱式中：V标 ─ 与被测溶液颜色相当的标准色中加入的磷酸盐工作溶液体积，mL；

V碱 ─ 所取碱洗液或者钝化液的量mL。 7.2酸洗液的监测

7.2.1酸洗液中酸浓度的测定 (1)基本原理

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酸浓度测定通常以甲基橙为指示剂，用氢氧化钠标准溶液中和滴定至溶液由红色转为橙黄色为终点，根据氢氧化钠标准溶液的消耗量计算酸浓度。但是锅炉酸洗时，由于酸洗液中往往存在着Fe3+，在测定时容易发生水解反应（Fe3+＋3H2O→Fe(OH)3↓＋3H+ ），产生的棕红色Fe(OH)

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沉淀会影响终点观察，所以测定时需要用柠檬酸铵掩蔽Fe3+，或者改用其它合适的指示剂，例

如溴甲酚绿-甲基红混合指示剂（pH＝5.1时，由酒红色→绿色）。

(2)试剂及配制 ①5×10-2柠檬酸铵。 ②0.1×10-2甲基橙指示剂。

③溴甲酚绿-甲基红混合指示剂，称取0.2g溴甲酚绿和0.04g甲基红溶于100mL乙醇中。 ④0.1000mol/L(NaOH)标准溶液，称取4g NaOH用煮沸后冷却的蒸馏水溶解并稀释至1L，然后用0.1000mol/L(1/2H2SO4)硫酸标准溶液标定。

(3)测定方法

准确吸取酸洗液1.00mL（浓度较低时取2.00mL）于250mL锥形瓶中，加蒸馏水至100mL，加入5×10-2柠檬酸铵溶液5mL，加甲基橙指示剂2～3滴，然后用0.1000mol/L NaOH标准溶液滴定至橙黄色为终点。如果不加柠檬酸铵溶液，则改用溴甲酚绿－甲基红混合指示剂2～3滴，然后用NaOH标准溶液滴定至绿色为终点，记下NaOH消耗量V。

(4)计算

CVM酸浓度 ?10?2??100?10?2 （7－5）

V酸?1000式中：C ─ NaOH标准溶液浓度，mol/L；

V ─ 滴定时NaOH标准溶液的消耗量，mL；

V酸─ 酸洗液的吸取体积，mL。

M ─ 酸洗液中酸的摩尔质量，g/mol；当酸洗液为盐酸时M＝36.5；当酸洗液为硝酸时，M＝63。

当酸洗液为盐酸时，为了方便计算也可以将NaOH标准溶液的浓度配成0.275mol/L（称取11.2gNaOH用煮沸后冷却的蒸馏水溶解并稀释至1L，然后用0.1000mol/L(1/2H2SO4)硫酸标准溶液标定并调整NaOH浓度。）。这样，计算公式可以简化为：

HCl?10?2??100?10?2??10?2 （7－6）

0.275?V?36.5V酸?1000VV酸式中：0.275 ─ NaOH标准溶液浓度，mol/L；

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V ─ 滴定时NaOH标准溶液的消耗量，mL； 36.5 ─ HCl的摩尔质量，g/mol； V酸 ─ 酸洗液的吸取体积，mL。

当酸洗液取1.0mL时，NaOH标准溶液的消耗量即为酸洗液的质量分数浓度。 7.2.2酸洗液中Fe3+、Fe2+的测定 (1)基本原理

在pH为2～3的条件下，磺基水扬酸指示剂与Fe3+生成紫红色络合物， 滴定时EDTA标准溶液与Fe3+生成无色络合物。由于EDTA络合能力强于磺基水扬酸，因此滴定至溶液中紫红色消失即为终点到达。再用过硫酸铵将溶液中的Fe2+氧化成Fe3+，溶液又呈紫红色，继续用EDTA滴定至紫红色消失。根据EDTA标准溶液二次消耗量，分别计算酸洗液中Fe3+和Fe2+的量。

(2)试剂

①10×10-2磺基水杨酸指示剂。 ②10×10-2过硫酸铵[(NH4)2S2O8]溶液。 ③0.1000 mol/L EDTA标准溶液。

④0.0100mol/L EDTA标准溶液，此浓度的标准溶液不宜久置，应随用随配，取0.1000mol/L EDTA标准溶液准确稀释10倍即可。

⑤ 1+1 氨水。 ⑥ 1+4 盐酸。 (3)测定方法

准确吸取2～10mL经滤纸过滤后的酸洗液于250mL锥形瓶中，用蒸馏水稀释至100mL，用1+1氨水和1+4盐酸调节pH至2～3，加入1mL 10×10-2磺基水杨酸作指示剂，用0.0100mol/L EDTA标准溶液滴定至溶液紫红色消失，?记录所消耗的EDTA体积V1，再加入0.5～1g过硫酸铵晶体或5mL10×10-2过硫酸铵溶液，加热至70℃左右，继续用0.0100mol/L EDTA标准溶液滴定至紫红色消失，记录消耗的EDTA体积V2（不包括V1）。

(4)计算

（7－7） 0.01?V1?56VFe3???1000?5601 mg/L V酸V酸

0.01?V2?56V （7－8） Fe2???1000?5602 mg/L V酸V酸

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3+

式中：V1 ─ 滴定Fe时(第一次)所消耗的EDTA标准溶液体积，mL；

V2 ─ 滴定Fe2+时(第二次)所消耗的EDTA标准溶液体积，mL； V酸 ─ 所取酸洗液(或漂洗液)体积，mL；

56 ─ Fe的摩尔质量。 7.2.3漂洗液中Fe3+、Fe2+的测定 （1）试剂

①0.5000 mol/L 硫酸标准溶液 ②0.1000 mol/L EDTA标准溶液 ③10×10-2过硫酸铵溶液 ④40×10-2硫氰酸钾溶液 （2）测定方法

取5ml试液，加入4ml0.5000 mol/L 硫酸标准溶液用蒸馏水稀释至100ml，加入5ml40×10-2

硫氰酸钾溶液溶液，用0.1000 mol/L EDTA标准溶液滴定至红色消失，记下EDTA消耗量V1，再加入3ml10×10-2过硫酸铵溶液，加至60-70oC用0.1000 mol/L EDTA标准溶液滴至红色消失，记下EDTA消耗量为V2（H3C6H5O7）不干扰铁的测定，当溶液中铁的浓度较大接近终点时溶液呈橙色，终点不明显可酌情用蒸馏水稀释。

（3）计算

0.01?V2?56VFe2???1000?5602 mg/L （7－9）

V酸V酸

0.01?V2?56V （7－10） Fe2???1000?5602 mg/L V酸V酸

7.3钝化液浓度的测定 7.3.1测定原理

本法基于亚硝酸钠在酸性溶液中与高锰酸钾进行氧化-还原反应，反应式如下：

3NaNO2+2KMnO4+H2SO4=K2SO+2MnO2+3NaNO3+H2O

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7.3.2试剂 ①1+3硫酸

②0.05M高锰酸钾标准溶液 ③0.05M硫酸铁硫酸铵标准溶液 7.3.3测定方法

在300ml三角瓶中加入100ml除盐水，加10ml1+3硫酸，并立即用0.05 M高锰酸钾标 准溶液滴定至微红，稳定2min（此高锰酸钾不必计），准确加入15ml0.05M高锰酸钾溶液用移液管加入5ml钝化液。待5min后再加入10ml0.05 M硫酸铁硫酸铵标准溶液，静置5min后，用0.05M高锰酸钾标准溶液滴定过量硫酸铁硫酸铵标准溶液，消耗体积数为X。

7.3.4计算

〔（15+X）-10〕×69.0×0.05×3

V×1000

NaNO2= × 100

8、化学清洗质量要求及保证措施

8.1清洗质量要求

8.1.1被清洗的设备及管线金属表面应清洁无污、铁锈、涂层均彻底清除；

8.1.2用腐蚀指示片测量的金属腐蚀速度的平均值应小于6g/（m2·h），且腐蚀总量不大于20g/ m2；

8.1.3清洗表面应形成良好的钝化保护膜，金属表面不出现二次浮锈，无点蚀； 8.1.4固定设备上的阀门等不应受到损伤；

8.1.5无明显金属粗晶析出的过洗现象，无惰性金属置换析出，钝化膜完整无破损。 8.2清洗保证措施

化学清洗质量保证应贯穿于化学清洗的全过程，从化学清洗方案的制定、审批，清洗中的质量监督等到清洗过程的具体实施都很重要。

要保证清洗的质量从人员、清洗设备、原料都要从严要求。

参与清洗的所有人员都应对清洗有高度的认识，对清洗工艺十分熟悉，对设备、管道十分了解，对清洗要求要十分明确，参与施工人员责任、分工要准确，相互配合要默契，行动要统

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一。

施工用的设备器具要完好、备齐，保证有备用，以防清洗过程中出现问题。

清洗药剂要保证质量，对于不合格产品禁止使用。本次清洗设备和管线主要是不锈钢材质，对于所用原料的氯离子控制特别严格，慎用含有氯离子的各种材质，包括封口材料，防止氯离子对设备造成晶间腐蚀，保证设备和管线等的安全。

只有严格按照清洗方案要求进行施工，保证施工过程中每步、每个环节不出差错，做好分析、监测，这样才能保证清洗工作的圆满完成，保证清洗质量达到要求。 9、化学清洗废液的处理

9.1各阶段化学清洗废液应依据当地受纳水域功能的要求，按照GB8978-1996《污水综合排放标准》的规定进行处理后，使废液达标排放；

9.2碱性药剂及酸性药剂采用中和法处理，使PH值达到6-9，也可以采用前步工序的清洗废液和后步工序的清洗废液采用中和法进行处理，达标后排放；

9.3含油废液的处理，脱脂废液中的油主要以乳化油的状态存在，采用絮凝剂破乳、分离、过滤的办法处理；

9.4化学耗氧量的处理：采用氧化法处理。氧化剂选用过氧化氢；

9.5各阶段的化学清洗废液，应先排放至废液处理槽内，进行处理达标后，方可排放； 9.6清洗过程中大量的冲洗水，按其排放方向不同，必须按各地有关环境质量标准执行； 9.7钝化液应加次氯酸钙处理后调PH值6-9排放； 9.8不可采用稀释排放的做法处置清洗废液。 10、清洗过程中安全措施

10.1清洗现场用彩条布等将原料存放、清洗操作等区域加以区分隔离； 10.2清洗施工人员均需进行上岗前培训，持证上岗作业；

10.3清洗施工人员必须严格遵守厂方的有关安全规定及各项制度；操作人员在作业中，须认真执行操作规范，杜绝违章操作；

10.4清洗现场禁止吸烟，夜间施工需要有充分的照明设施； 10.5对清洗所用原料、药剂等均应密闭包装运输； 10.6对操作人员进行安全教育，强化“安全第一”思想；

10.7清洗作业前，参加清洗人员对现场应充分了解，并熟悉周围的消防设施；

10.8设置临时急救设施及急救药品；

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10.9现场除操作人员外，闲杂人员一律不得入内；

10.10清洗作业中，操作人员需配备全套防护设施，如防酸服、手套、眼罩、面罩、安全帽等 ；

10.11酸泵、取样点、化验站等附近须设有水源，应用胶管连接，以备阀门或管道泄露时冲洗用，还应备有石灰以便中和时用；

10.12施工现场应设专职安全员一名，负责施工过程中的安全事项。 11、化学清洗总结报告

化学清洗工作全部结束后， 整理有关分析测试数据及腐蚀速度数据，结合清洗过程提交化学清洗总结报告。 12、方案说明

12.1对要求一般清洗的设备和管线，在脱脂水冲洗之后可直接干燥复原封存，前步工序按方案设计清洗工艺要求执行；

12.2对要求干净清洗的设备和管线在酸洗水冲洗之后铁离子含量≤200 mg/L时，即可转入钝化，干燥复原封存，前步工序按方案设计清洗工艺执行；

12.3对要求洁净清洗的设备和管线在漂洗之后铁离子含量必须≤50 mg/L时才可转入钝化，干燥复原封存，封存所用氮气纯度应在99％以上，并且要干燥、无油。所有工序必须严格按方案设计清洗工艺执行；

12.4根据清洗要求和清洗工艺不同，应同时准备多套不同型号泵站；

12.5化学清洗范围及分类中，3.1多晶硅生产设备包括所有容器类、换热器类、塔器类、机泵类设备共284台。

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附录1：

多晶硅生产装置及管线化学清洗用设备、仪器及材料

化学清洗用设备

序号 1 2 3 4 名 称 说 明 数量 备注 2台 2台 2个 2个 清洗泵站 Q=120M3/h；H=100m；55KW 清洗泵站 Q=50M3/h；H=80m；22KW 清洗槽 清洗槽 V=10M3；材质碳钢 V=5M3；材质碳钢

废液处理用设备 序号 1 2 名称 废液处理泵 废液处理槽 说明 Q=50M3/h；H=50m；15KW V=10M3；材质碳钢 测试仪器、仪表 序号 1 2 3 4 5 6 7 名称 压力表 浊度计 玻璃仪器 腐蚀挂片 PH试纸 温度计 分析天平 说明 0～1.6MPa RATIO-XR 滴定管、烧杯等 数量 8块 1台 2套 备注 碱度、酸度、铁离子含量分析项目 材质：碳钢、不锈钢 30片 精密和广泛 0～100℃ 精度：万分之一

临时配管用材料 序号 1 2

数量 2台 4个 备注

30包 10个 1台 名称 滤网 阀门 说明 3×3mm 6″ 18

单位 M2 个 数量 备注

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4″ 3″ 2″ 1″ 6″ 4″ 3″ 2″ 1″ 20mm 6mm M16×22 弯头、法兰、三通等

机械清洗设备

个 个 个 个 米 米 米 米 米 M2 M2 对 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 阀门 阀门 阀门 阀门 无缝钢管 无缝钢管 无缝钢管 无缝钢管 无缝钢管 钢板 石棉板 螺栓螺母 配件 序号 1 名称 小型高压清洗机

说明 0～10.0MPa 其它 数量 2台 备注 序号 1 序号 2 3 4 5

名称 电缆 名称 电缆 安全用具 工具 对讲机 说明 三相四芯、50mm2 说明 三相四芯、35mm2 各式防护、劳保用品 2～10KM 清洗药剂 数量 150米 数量 100米 20套 2套 2部 备注 备注 包括专用工具 序号 1 2 3

名称 氢氧化钠 磷酸三钠 碳酸钠 脱脂、钝化 脱脂 说明 脱脂、钝化、中和 备注 优等品 优等品 优等品 19

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脱脂 脱脂 脱脂、酸洗 脱脂 酸洗、漂洗 酸洗 漂洗 酸洗、漂洗 酸洗、漂洗 漂洗 钝化 含油废液处理 化学耗氧量处理 钝化废液处理 中和 优等品 98%以上 食品优等级 优等品 4 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17

硅酸钠 表面活性剂 渗透剂 消泡剂 还原剂 硝酸 柠檬酸 缓蚀剂 铁离子抑制剂 氨水 亚硝酸钠 絮凝剂 双氧水 次氯酸钙 盐酸 干燥封存用药剂 序号 1 2

20

名称 氮气 压缩空气 说明 备注 干燥无油 干燥无油

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附录2:

多晶硅生产装置汇总表及各单元清洗工作量

需预清洗的设备清洗工程量汇总表

设备数量(台) 6 42 64 39 133 284

HCL合成工序预清洗设备清单（6台），清洗要求：一般清洗

序号 位号 1 2 3 4 5 6

SiHCL3合成工序预清洗设备清单（42台），清洗要求：干净清洗 位号 序号 1 1.201 2 1.202 3 1.213

清洗工程量 (立方米) 26.10 85.35 226.07 1215.74 1239.30 2792.56 1类 清 洗 类 别 2类 3类 洁净清洗 洁净清洗 洁净清洗 236 厂房 工 序 名 称 1号 1-1，HCL合成 1-2，SiHCL3合成 2号 2-1，前级提纯塔 2-2，罐区 2-3，后级提纯塔 合计 一般清洗 干净清洗 6 42 设备名称 HCl空气冷却器 数量 容积 台 m3 1 0.10 材质 0Cr18Ni10Ti 备注 1.102 1.103 换热器 1 0.40 0Cr18Ni10Ti 1.107 空气冷却器 1 0.10 0Cr18Ni10Ti 1.110 HCl空气冷却器 1 0.10 0Cr18Ni10Ti 1.111 水冷器 1 0.40 0Cr18Ni10Ti 1.112 HCl储罐 1 25.00 0Cr18Ni10Ti (衬胶) 合计 6 26.10 名称 HCl加热器 HCl加热器 旋风 数量 台 1 1 1 21

容积 材质 3m 0.25 0Cr18Ni10Ti 0.25 0Cr18Ni10Ti 0.2 0Cr18Ni10Ti 备注

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料斗 料斗 SiHCl3合成炉 旋风 料斗 料斗 SiHCl3合成炉 消耗料斗 消耗料斗 旋风器 旋风器 旋风器 料斗 料斗 料斗 料斗 料斗 旋风器 旋风器 旋风器 料斗 料斗 料斗 料斗 料斗 氢气加湿器 氢气加湿器 空心塔 鼓泡蒸馏釜 鼓泡塔 备用储槽 空心塔 鼓泡蒸馏釜 鼓泡塔 备用储槽 储槽 热交换器 换热器 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 22

4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41

1.214 1.216 1.22 1.222 1.223 1.225 1.227 1.236 1.237 1.256 1.257 1.258 1.259 1.26 1.261 1.262 1.263 1.264 1.265 1.266 1.267 1.268 1.269 1.27 1.271 1.29 1.293 1.299 1.300 1.301 1.302 1.303 1.304 1.305 1.306 1.311 1.313 1.317 6.30 2.00 5.50 0.20 6.30 2.00 5.50 2.00 2.00 0.06 0.03 0.02 0.50 0.50 0.50 2.12 2.12 0.06 0.03 0.02 0.50 0.50 0.50 2.12 2.12 0.04 0.04 0.46 10.00 1.90 2.00 0.46 10.00 1.90 2.00 5.00 5.00 1.35 碳钢 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 碳钢 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 16MnR

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储槽 1 42 1.00 0Cr18Ni10Ti 85.35 42

1.318 合计 前级提纯工序预清洗设备清单（64台）， 清洗要求：洁净清洗 序号 位号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 数量 台 2.401 1级塔进料预热器（立） 1 2.402 1级塔柱（立） 1 2.403 1级塔再沸器（立） 1 2.404 1级塔冷凝器（卧） 1 2.405 1级塔顶冷凝液罐（立） 1 2.407 1级塔釜液罐（立）带夹套 1 2.408 1级塔釜液输送泵 1 2.409 1级塔釜液输送泵 1 2.425 2级1塔再沸器（卧） 1 2.426 2级1塔柱（立） 1 2.427 2级1塔冷凝器（卧） 1 2.428 2级1塔釜液罐（立） 1 2.429 2级1塔釜液输送泵 1 2.43 2级1塔釜液输送泵 1 2.432 2级2塔再沸器（卧） 1 2.433 2级2塔柱（立） 1 2.434 2级2塔冷凝器（卧） 1 2.438 2级3塔再沸器（卧） 1 2.439 2级3塔柱（立） 1 2.44 2级3塔冷凝器（卧） 1 2.441 2级3塔釜液罐（立） 1 2.442 2级3塔釜液输送泵 1 2.443 2级3塔釜液输送泵 1 2.445 2级4塔再沸器（卧） 1 2.446 2级4塔柱（立） 1 2.447 2级4塔冷凝器（卧） 1 2.451 2级5塔再沸器（卧） 1 2.452 2级5塔柱（立） 1 2.453 2级5塔冷凝器（卧） 1 2.458 1、2级塔尾气再冷凝器（卧） 1 2.461 1,2级塔尾气再冷凝液罐（立） 1 2.466 湿氮制备装置（立） 1 2.467 湿氮制备装置（立） 1 2.468 湿氮制备装置（立） 1 23 设 备 名 称 容积 m3 0.05 17.80 0.63 0.79 6.28 1.92 0.01 0.01 6.40 6.80 0.54 1.00 0.01 0.01 6.40 6.80 0.54 6.40 6.80 0.54 1.00 0.01 0.01 6.40 6.80 0.54 6.40 6.80 0.54 0.96 1.00 0.04 0.04 0.04 材 料 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 16MnR 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 备 注 管程 管程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程

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1 0.04 1 0.04 1 25.02 1 0.01 1 0.01 1 0.05 1 6.40 1 6.80 1 0.54 1 1.00 1 1.00 1 0.16 1 25.02 1 0.05 1 6.40 1 6.80 1 0.54 1 0.16 1 6.80 1 6.40 1 0.54 1 2.00 1 0.01 1 0.01 1 0.96 1 2.00 1 25.00 1 0.96 1 0.96 1 0.08 64 226.07 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 16MnR 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 管程 壳程 壳程 壳程 管程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64

2.469 湿氮制备装置（立） 2.47 湿氮制备装置（立） 2.58 6级塔前TCS，STC贮罐（卧） 2.581 6级1塔进料泵 2.582 6级1塔进料泵 2.583 6 级1塔进料预热器 2.584 6级1塔再沸器（卧） 2.585 6级1塔柱（立） 2.586 6级1塔冷凝器（卧） 2.587 6级1塔釜液罐（立） 2.588 6级1塔釜液罐（立） 2.591 6级1塔顶产品冷却器（立） 2.593 TCS，STC贮罐（卧） 2.594 6 级2塔进料预热器（立） 2.595 6级2塔再沸器（卧） 2.596 6级2塔柱（立） 2.597 6级2塔冷凝器（卧） 2.602 6级2塔顶产品冷却器（立） 2.608 7级塔柱（立） 2.609 7级塔再沸器（卧） 2.61 7级塔冷凝器（卧） 2.611 7级塔釜液罐（立） 2.613 7级塔釜液泵 2.614 7级塔釜液泵 2.616 3,6,7级塔尾气再冷器（卧） 2.618 7级塔顶冷凝液罐（立） 2.770 安全阀排出液收集罐（卧） 2.771 排出液收集罐上冷凝器（卧） 2.772 排出液收集罐上冷凝器（卧） 2.773 安全阀冷凝液收集罐（卧） 合计 中间灌区及其泵房预清洗设备清单（39台），清洗要求：洁净清洗 序号 1 2 3 4 5 6

数量 台 2.1.351 STC、氯硅烷冷凝液罐（卧） 1 2.1.352 STC、氯硅烷冷凝液罐（卧） 1 2.1.353 STC、TCS罐（卧） 1 2.1.354 急排来的STC收集罐（卧） 1 2.1.356 氯硅烷冷凝液输送泵 1 2.1.357 氯硅烷冷凝液输送泵 1 24

位号 设 备 名 称 容积 m3 106.60 106.60 106.60 49.30 0.01 0.01 材 料 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 备注

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1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 1 1 1 2 2 2 39 0.01 316L 0.01 316L 0.01 316L 0.01 316L 106.60 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 106.60 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 106.60 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 100.00 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 106.60 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 106.60 0Cr10Ni10Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 0.01 316L 0.01 316L 0.01 316L 0.01 316L 0.01 316L 0.63m3 0Cr10Ni10Ti 106.5m3 OCr18Ni12Mo2Ti 106.5m3 OCr18Ni12Mo2Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 0.06 0Cr18Ni12Mo2Ti 106.50 OCr18Ni12Mo2Ti 106.50 OCr18Ni12Mo2Ti 0.01 OCr18Ni12Mo2Ti 0.01 OCr18Ni12Mo2Ti 0.01 OCr18Ni12Mo2Ti 0.01 OCr18Ni12Mo2Ti 0.01 OCr18Ni12Mo2Ti 1215.74 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 壳程 7 2.1.360 STC输送泵 8 2.1.361 STC输送泵 9 2.1.362 STC输送泵 10 2.1.363 STC输送泵 11 2.1.475 工业级TCS罐（卧） 12 2.1.476 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 13 2.1.477 工业级TCS罐（卧） 14 2.1.478 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 15 2.1.479 工业级TCS罐（卧） 16 2.1.480 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 17 2.1.481 工业级TCS罐（卧） 18 2.1.482 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 19 2.1.483 工业级TCS罐（卧） 20 2.1.484 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 21 2.1.485 工业级TCS罐（卧） 22 2.1.486 工业级TCS罐上冷凝器（卧） 23 2.1.487 工业级TCS输送泵 24 2.1.488 工业级TCS输送泵 25 2.1.489 工业级TCS输送泵 26 2.1.490 工业级TCS输送泵 27 2.1.491 急排TCS输送泵 28 2.1.492 氯硅烷收集罐（含杂TCS） 29 F-1201 TCS贮罐（卧） 30 F-1202 TCS贮罐（卧） 31 C-1201 TCS贮罐上冷凝器（卧） 32 C-1202 TCS贮罐上冷凝器（卧） 33 F1203A/B STC贮罐（卧） 34 F-1204 STC贮罐（卧） 35 J-1201 TCS输送泵(屏蔽泵) 36 J-1202 TCS输送泵(屏蔽泵) 37 J-1203A/B STC输送泵(屏蔽泵) 38 J-1204A/B STC输送泵(屏蔽泵) 39 J-1205A/B STC输送泵(屏蔽泵) 合计

后级提纯工序预清洗设备清单（133台）， 清洗要求：洁净清洗

序旧位号 设 备 名 称 数量 容积 材 料 备 注 号 台 m3 1 2.505 3级1塔进料预热器（立） 1 0.05 0Cr18Ni12Mo2Ti 管程 2 2.506 3级1塔再沸器（立） 1 2.37 0Cr18Ni12Mo2Ti 管程 3 2.507 3级1塔柱（立） 1 65.90 0Cr10Ni10Ti

25

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1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 26

4 2.508 5 2.509 6 2.511 7 2.512 8 2.513 9 2.515 10 2.516 11 2.517 12 2.518 13 2.519 14 2.521 15 2.522 16 2.523 17 2.530 18 2.531 19 2.532 20 2.533 21 2.534 22 2.535 23 2.536 24 2.537 25 2.538 26 2.539 27 2.540 28 2.541 29 2.542 30 2.543 31 2.544 32 2.545 33 2.546 34 2.547 35 2.549 36 2.550 37 2.551 38 2.552 39 2.553 340 2.554 41 2.555 42 2.556 43 2.557 44 2.558 45 2.559

3级1塔冷凝器（卧） 3级1塔釜液罐（立） 3级1塔釜液输送泵 3级1塔釜液输送泵 3级1塔顶冷凝液罐（立） 3级2塔进料预热器（立） 3级2塔再沸器（立） 3级2塔柱（立） 3级2塔冷凝器（卧） 3级2塔釜液罐（立） 3级2塔釜液输送泵 3级2塔釜液输送泵 3级2塔顶冷凝液罐（立） 4级1塔再沸器（立） 4级1塔柱（立） 4级1塔冷凝器（卧） 4级1塔釜液罐（立） 4级1塔顶液输送泵 4级1塔釜液输送泵 4级1塔釜液输送泵 4级1塔顶冷凝液罐（立） 4级1塔顶液输送泵 5级1塔再沸器（立） 5级1塔柱（立） 5级1塔冷凝器（卧） 5级1塔釜液罐（立） 5级1塔顶冷凝液罐（立） 5级1塔釜液输送泵 5级1塔釜液输送泵 5级1塔顶冷凝液罐（立） 5级1塔顶冷凝液罐（立） 4级2塔再沸器（立） 4级2塔柱（立） 4级2塔冷凝器（卧） 4级2塔釜液罐（立） 4级2塔顶液输送泵 4级2塔釜液输送泵 4级2塔釜液输送泵 4级2塔顶冷凝液罐（立） 4级2塔顶液输送泵 5级2塔再沸器（立） 5级2塔柱（立） 1.80 6.20 0.01 0.01 1.00 0.05 2.37 65.90 1.80 6.20 0.01 0.01 1.00 2.37 65.90 1.8 1.00 0.01 0.01 0.01 6.30 0.01 2.37 65.9 1.80 1.010 10.10 0.01 0.01 10.10 10.10 2.37 65.90 1.80 1.00 0.01 0.01 0.01 6.30 0.01 2.37 65.90 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 壳程 管程 管程 壳程 管程 壳程 管程 壳程 管程 壳程 管程

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1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 27

46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87

2.560 5级2塔冷凝器（卧） 2.561 5级2塔釜液罐（立） 2.562 5级2塔顶冷凝液罐（立） 2.563 5级2塔釜液输送泵 2.564 5级2塔釜液输送泵 2.565 5级2塔顶冷凝液罐（立） 2.566 5级2塔顶冷凝液罐（立） 2.568 2级TCS罐（立） 2.569 4,5级塔尾气再冷器（卧） 2.571 2级TCS输送泵 2.572 2级TCS输送泵 2.573 5级1塔顶液输送泵 2.574 5级1塔顶液输送泵 2.575 3,4,5级塔尾气再冷液罐（立） 2.576 3,4,5级塔尾气再冷液输送泵 2.577 3,4,5级塔尾气再冷液输送泵 2.679 8级塔柱（立） 2.680 8级塔再沸器（立） 2.681 8级塔冷凝器（卧） 2.683 8级塔釜液罐（立） 2.684 8级塔釜液罐（立） 2.686 8级塔顶产品罐（立） 2.687 8级塔顶产品罐（立） 2.688 8级塔顶产品罐（立） 2.689 9级塔顶冷凝液罐（立） 2.690 9级塔顶冷凝液输送泵 2.691 9级塔顶冷凝液输送泵 2.695 还原尾气回收料罐（卧） 2.696 还原尾气回收料罐（卧） 2.697 还原尾气回收料输送泵 2.698 还原尾气回收料输送泵 2.699 9 级塔进料预热器（立） 2.700 9 级塔柱（立） 2.701 9 级塔再沸器（立） 2.702 9 级塔冷凝器（卧） 2.703 9 级塔釜液罐（立） 2.704 9 级塔釜液罐（立） 2.705 9 级塔釜液罐（立） 2.706 9 级塔釜液输送泵 2.707 9 级塔釜液输送泵 2.708 9级塔顶冷凝液罐（立） 2.712 10 级塔柱（立） 1.80 1.010 10.10 0.01 0.01 10.10 10.10 3.26 0.96 0.01 0.01 0.01 0.01 1.92 0.01 0.01 43.80 2.37 1.80 1.92 1.92 10.10 10.10 10.00 16.40 0.01 0.01 24.40 24.40 0.01 0.01 0.72 65.90 2.37 1.80 10.10 10.10 10.10 0.01 0.01 16.40 43.80 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 0Cr10Ni10Ti 16MnR 316L 316L 316L 316L 0Cr10Ni10Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 壳程 壳程 管程 壳程 管程 管程 壳程

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1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 28

88 2.713 10级塔再沸器（立） 89 2.714 10 级塔冷凝器（卧） 90 2.715 10 级塔釜液罐（立） 91 2.716 10 级塔釜液罐（立） 92 2.717 10级塔釜液输送泵 93 2.718 10级塔釜液输送泵 94 2.720 10级塔顶产品罐（立） 95 2.721 10级塔顶产品罐（立） 96 2.722 10级塔顶产品罐（立） 97 2.723 8,10,12级塔尾气再冷器（卧） 98 2.724 氢化尾气回收料罐（卧） 99 2.725 氢化尾气回收料罐（卧） 100 2.726 氢化尾气回收料输送泵 101 2.727 氢化尾气回收料输送泵 102 2.728 11级塔进料预热器（立） 103 2.729 11级塔柱（立） 104 2.730 11级塔再沸器（立） 105 2.731 11级塔冷凝器（卧） 106 2.732 11级塔釜液罐（卧）(内冷) 107 2.733 11级塔釜液输送泵 108 2.734 11级塔釜液输送泵 109 2.735 11级塔顶冷凝液罐（立） 110 2.736 9,11,13级塔尾气再冷器（卧） 111 2.737 11级塔顶冷凝液罐（立） 112 2.738 11级塔顶冷凝液输送泵 113 2.739 11级塔顶冷凝液输送泵 114 2.740 12级塔柱（立） 115 2.741 12级塔再沸器（立） 116 2.742 12级塔冷凝器（卧） 117 2.743 12级塔釜液罐（立） 118 2.744 12级塔釜液罐（立） 119 2.747 12级塔顶冷凝液罐（立） 120 2.748 12级塔顶冷凝液罐（立） 121 2.749 12级塔顶冷凝液罐（立） 122 2.754 13级塔进料预热器（立） 123 2.755 13级塔柱（立） 124 2.756 13级塔再沸器（立） 125 2.757 13级塔冷凝器（卧） 126 2.758 13级塔釜液罐（立） 127 2.759 13级塔釜液罐（立） 128 2.764 13级塔顶冷凝液冷却器（立） 129 2.765 13级塔釜液罐输送泵

2.37 1.80 1.92 1.92 0.01 0.01 16.38 16.38 16.38 0.96 25.00 25.00 0.01 0.01 0.72 65.9 2.37 1.80 25.00 0.01 0.01 6.30 0.96 6.30 0.01 0.01 17.8 2.00 1.01 2.00 2.00 6.20 6.20 6.20 0.13 43.8 2.37 1.80 2.00 2.00 0.56 0.01 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 16MnR 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 16MnR 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 316L 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 0Cr18Ni12Mo2Ti 316L 管程 壳程 壳程 管程 管程 壳程 壳程 管程 壳程 管程 管程 壳程 管程

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1 49.30 0Cr18Ni12Mo2Ti 1 49.30 0Cr18Ni12Mo2Ti 1 0.01 316L 1 0.01 316L 133 1239.3 130 2.1.760 13级塔顶冷凝液罐（卧） 131 2.1.761 13级塔顶冷凝液罐（卧） 132 2.1.762 13级塔顶冷凝液输送泵 133 2.1.763 13级塔顶冷凝液输送泵 合计

氯化氢合成工序管道清洗清单

序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 合计 材质 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 规格 Φ18×3 Φ25×3 Φ32×3 Φ38×3 Φ45×3 Φ57×2.8 Φ57×3.2 Φ76×3.2 Φ89×3.2 Φ89×4 Φ108×3.5 Φ108×4 Φ108×4.5 Φ133×3.5 Φ133×4.5 Φ159×5.5 Φ219×6 Φ426×9.5 Φ812×6 氯化氢合成工序管件数量：385

29

长度（米） 35 201.2 224.67 8.91 88.76 55.2 95 40 47.3 475 91 380 30 66.9 32 110 24 40 35 容积（立方米） 0.004 0.057 0.119 0.007 0.106 0.114 0.191 0.152 0.253 2.446 0.729 2.983 0.236 0.834 0.368 1.891 0.807 5.227 17.584 34.108

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序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 合计 三氯氢硅合成工序管道清洗清单及管件数量 材质 规格 长度（米） 0Cr18Ni10Ti Φ8×1.4 330 0Cr18Ni10Ti Φ18×1.4 450 0Cr18Ni10Ti Φ18×3 240.5 0Cr18Ni10Ti Φ25×3 1255.5 0Cr18Ni10Ti Φ32×3 1740.8 0Cr18Ni10Ti Φ32×3.2 550 0Cr18Ni10Ti Φ32×3.5 88.45 0Cr18Ni10Ti Φ38×3 3570 0Cr18Ni10Ti Φ38×3.2 1100 0Cr18Ni10Ti Φ38×3.5 180.9 0Cr18Ni10Ti Φ45×3 1497.2 0Cr18Ni10Ti Φ45×3.5 650 0Cr18Ni10Ti Φ45×4 146.3 0Cr18Ni10Ti Φ57×2.8 534 0Cr18Ni10Ti Φ57×3.2 1345 0Cr18Ni10Ti Φ57×3.5 1005.5 0Cr18Ni10Ti Φ76×3.2 300 0Cr18Ni10Ti Φ76×4 141.8 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti 0Cr18Ni10Ti Φ89×4 Φ108×4 Φ108×4.5 Φ133×4.5 Φ159×5 Φ159×5.5 Φ219×6 Φ273×7 Φ279×7 Φ325×8 Φ377×9 Φ426×8 Φ426×9.5 Φ529×9 Φ630×9 443.7 410 676.8 153.9 193.6 430 991 226 9.2 68 16.5 33.1 160 26.2 110.2 容积（立方米） 0.007 0.082 0.027 0.356 0.924 0.283 0.043 2.87 0.862 0.136 1.788 0.737 0.157 1.107 2.703 1.973 1.141 0.515 2.285 3.219 5.207 9.672 3.374 7.394 33.334 11.901 0.507 5.097 1.67 4.368 20.806 5.370 32.401 162.316 管件数量：1224

30

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