除钻污沉铜流程操作手册 - 柏宇

原理简介

除钻污/ 沉铜生产线包括除钻污工序和镀通孔（孔金属化） (PTH)工序。

除钻污工序是孔壁化学金属化前去除钻孔时所产生之树脂钻污。由于钻孔时造成的高温 树脂超过Tg值，而形成融熔状，终致产生胶渣。除钻污工序包括溶胀、氧化除胶和还 原步骤。

溶胀机理：溶胀剂首先将环氧树脂表面溶胀，软化树脂，降低聚合物的键合能，使得高锰酸钾更容易咬蚀而去除环氧树脂钻污。

除胶原理：环氧树脂在碱性高锰酸钾溶液中被氧化分解。高锰酸钾在反应中被还原为锰酸钾，再转化成不溶于水的棕色的二氧化锰。为使锰酸钾转回高锰酸钾及防止二氧化锰形成，因此在工序中需使用再生器 (Oxamat P) 以保持浓度。

中和目的：中和剂是除钻污工序中最后的一个步骤，目的是中和孔壁内残留的高锰 酸钾，去除孔内附着二氧化锰，促进孔内的活化作用。

调整目的：调整剂是镀通孔工序的第一个步骤，能清洁及调整板面和孔壁，使孔壁呈正电性，以利活化缸负电离子团吸附 。

微蚀作用：铜面的微蚀能活化及除去铜层表面的氧化膜，增加铜基层或内层铜环与镀层之间的结合力。

预浸目的：线路板在进入活化剂之前，为避免微蚀形成的铜离子带入活化槽，必须先浸入预浸剂以确保去除杂质及保护活化剂，有利于孔壁表面接受钯催化剂。(线路板由预浸剂进入活化剂时，中间无需过水。

活化的目的：是在基材表面吸附一层催化性的金属钯粒子，从而使整个基材表面顺利进行化学铜反应。

速化处理目的：钯胶体吸附后必须去除锡，使胶体钯曝露出来，如此才能在未来无电解铜中产生催化作用形成化学铜 。

化学铜机理：利用孔内沉积的钯催化无电解铜与甲醛作用, 使得孔壁及板面会形成一层金属化的铜层，有利于基础铜的电镀。

1

2． 工艺流程 缸号 药槽类别 操作时间 滴水时间 （min） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 膨胀槽 水洗 水洗 除胶渣槽 水洗 中和洗 水洗 水洗 中和槽 水洗 水洗 清洁/整孔 热水洗 水洗 水洗 5-7 3-4 2-4 10-15 1-2 1 2-4 2-4 4-6 2-3 2-3 6-8 2-4 2-4 1-3 （秒） 15-25 5 10 10-20 10 10 5 10 10-20 5 5 10-20 5 5 5

16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 微蚀 水洗 水洗 预浸槽 活化槽 水洗 水洗 速化槽 水洗 水洗 化学沉铜槽 水洗 水洗 缸号 药槽类别 操作时间 （min） 1.5-2.5 1-2 1-2 1-2 5-7 1-2 1-2 2-3 1-2 1-2 16-25 2-4 2-4 滴水时间 （秒） 10-20 5 10 15-25 20-30 5 10 10-20 5 10 10-20 5 10 3． 药液生产操作条件

3.1. 药液生产配槽及更换

3.1.1. 药液生产配槽及更换 (除钻污) 名称 膨胀 除钻污 配槽成份 膨胀剂1101 氢氧化钠 高锰酸钾 氢氧化钠 H2O2（35%） H2SO4 (98%) 中和剂1102 H2SO4 (98%) 用 量 20% 30g/L 55 g/ 35 g/L 2% 3% 10% 8% 温度 (?C) 70– 74（72） 76 – 80（78） 室温 40 – 45 (43) 更换频率 800ft2/L 300 ft2/L 每周一次 125 ft2/L或 Cu2+≥1500ppm 中和洗 中和

备注：膨胀缸建议使用250 g/l的氢氧化钠水溶液或先溶解好再添加.

2

3.1.2. 药液生产配槽及更换（沉铜线） 名称 整孔 微蚀 预浸 配槽成份 调整剂1203A 调整剂1203B 过硫酸钠 硫酸 (98%) 预浸剂1204 或预浸盐1204 纯水 预浸剂1204 或预浸盐1204 活化剂1205A 加速剂 1206A 加速剂 1206B 化铜剂1207B 化铜剂1207A 化铜剂1207D 化铜剂1207E 37%甲醛 用 量 60 g/L 5% 80 g/L 2% 75% 200 g/L 余量 75% 200 g/L 2% 10 g/L 2% 5% 6% 2.5% 0.2% 0.5% 温度 (℃) 50-60（55） 23-28（25） 28-32（30） 更换频率 200 ft2/L 每天一次 130 ft2/L或 Cu2+≥300ppm 活化 加速 沉铜 30-35（32） Cu2+≥1000ppm ， 铁含量≥100 ppm ， 或一年 48-52（50） 27-32（30） 100 ft2/L或 Cu2+≥150ppm 当槽液比重≥1.12g/cm3，排掉20%的槽液同时补充新液，维持槽液 寿命 1、每次换缸请做好记录。

2、钯缸棉芯必须每班更换.每两周翻槽清洗时,槽液须抽至钯缸后的两个水洗槽中(先洗静),再清洗钯缸中淤泥。 3.2. 药液生产操作条件

3.2.1. 药液生产操作条件 (除钻污) 名称 控制成份 控制范围 最佳值 分析频率 面积添加(千尺耗量) 膨胀 膨胀剂1101 17-23% 20% 每班一次 膨胀剂1101 2.0 Lit 氢氧化钠 23-38g/L 30 g/L 每班一次 氢氧化钠 0.3 Kg 除钻污 高锰酸钾 45-60 g/ 55 g/ 每班一次 高锰酸钾 0.6 Kg 氢氧化钠 30-40 g/L 35 g/ 每班一次 氢氧化钠 0.35 Kg 锰酸钾 〈20 g/L 每班一次 中和双氧水 每班一次 双氧水 2.0 Lit 1-3% 2% 洗 硫酸 每班一次 硫酸 0.8 Lit 2-4% 3% 中和 中和剂1102 8-12% 10% 每班一次 中和剂1102 1.0 Lit 硫酸 每班一次 硫酸 0.8 Lit 6-10% 8% 1． 建议除胶渣速率控制 20 –80mg/dm2， (除胶渣速率会因应不同 板料而变化，故要根据实际环境而定. 由不同Tg板料，根据实验确定过一次或二次Desmear). 2． 上述补充量是参考经验数据而定的，必须再根据实际消耗量而调整。

3

3.2.2. 药液生产操作条件 (沉铜线) 名称 控制成份 控制范围 整孔 微蚀 预浸 活化 加速 沉铜 调整1203A 过硫酸钠 硫酸 (98%) 微蚀速率 Cl- 活化1205A Cl- 氯化亚锡 加速剂1206B pH 铜离子 氢氧化钠 甲醛 稳定剂 沉积速率 比重 45-60 g/L 60-100 g/L 1.5-2.5% 30-70μ,, 2.75-3.25N 1.6-2.4% 2.85-3.35 N >3.8 g/L 1.8-2.2% 8.25-9.25 2.8-3.2 g/L 7-9 g/L 4-6 g/L 最佳值 分析频率 面积添加(千尺耗量) 55 g/L 每班一次 调整1203A 0.5 Kg 调整1203B 0.5 Lit 80 g/L 每班一次 过硫酸钠 8.0 kg 每班一次 硫酸 1.5 Lit 2% 50μ,, 每班一次 3.0N 每班一次 分析添加（见5.6.1） 2.0 3.1N 2% 8.6 每班一次 活化1205A 0.2 Lit 每天一次分析添加（见5.6.1） 每天一次 分析补加1205B（见5.7.2） 每班一次 加速剂 1206A 0.1 Kg 每班一次 加速剂 1206B 0.1 Lit 8小时/次 8小时/次8小时/次 8小时/次 8小时/次 每天一次 化学铜1207A 15Lit 化学铜1207B 3.0Lit 化学铜1207C 10Lit 化学铜1207E 80ml Cu2+、NaOH、HCHO浓度结合分析添加（见5.9） 3.0 g/L 8.0 g/L 5 g/L 0.064-0.072M 0.068 M 10-26μ,, <1.12 g/L

备注：1、上述补充量是参考经验数据而定的，还须再根据实际消耗量而调整。

2、沉积速率会因应不同板料而变化，故要根据实际环境而定。

3、建议生产时按每一千尺补加一次，每班分析后按分析添加到最佳值。

4．新药槽的清洁处理及药液配制步骤

4.1 新药槽及有关设备的清洁处理方法

4.1.1. 新药槽清洁处理方法

1）清理槽里的杂物; 用碎布擦洗槽壁的灰尘，用清水冲洗干净。

2）用2%氢氧化钠浸槽 4 – 8 小时，期间开启循环及过滤泵; 排去，用清水冲洗。 3）将镀槽注满清水，开启循环及过滤泵半小时排去，用清水洗。

4）用2%硫酸溶液浸槽 4 – 8 小时，期间开启循环及过滤泵; 排去，用清水冲洗干净。 5）将镀槽注满清水，开启循环及过滤泵半小时排去，用清水冲洗。 6）将镀槽注满清水备用。 4.1.2. 过滤芯及过滤袋的清洁方法

1）用2%氢氧化钠浸泡 4 – 8 小时，然后用清水冲洗。 2）再用2 %硫酸溶液浸泡 4 小时，然后用清水冲洗。

4.2. 新药液配制方法

4.2.1. 膨胀

1）注入 1/3 缸去离子水。

4

2）加入所需膨胀剂1101，搅拌均匀。

3）再加入所需的氢氧化钠(预先溶解)，并搅拌均匀。 4）注入去离子水至工作水位。

5）开启循环过滤泵，待搅拌均匀并加热至温度控制范围即可使用。 4.2.2. 除胶渣

1）注入 2/3 缸去离子水，并开启搅拌器。 2）加入所需的氢氧化钠，搅拌均匀。 3）加入所需的高锰酸钾，搅拌均匀。 4）注入去离子水至工作水位。

5）搅拌均匀并加热至温度控制范围即可使用。

备注: 每次配槽前，用3%硫酸及2%过氧化氢 (30% 体积比) 清洗槽壁及再生器上的 二氧化锰 (MnO2) 沉积物。 4.2.3. 中和洗

1）注入半缸去离子水。

2）加入所需3%硫酸，搅拌均匀。

3）再加入2%的双氧水，加满水至液位。 4.2.4. 中和

1）注入半缸去离子水。

2）加入所需硫酸，搅拌均匀。

3）加入所需还原调节剂1102，搅拌均匀。 4）注入去离子水至工作水位。

5）开启循环过滤泵，搅拌均匀并待温度达到要求范围即可使用。 4.2.5. 整孔

1）注入半缸去离子水。

2）加入所需的调整剂1203A和1203 B，搅拌均匀。 3）注入去离子水至工作水位。

4）开启循环过滤泵，搅拌均匀并待温度达到要求范围即可使用。 4.2.6. 微蚀

1）注入半缸去离子水。

2）加入所需的硫酸，搅拌均匀。

3）再加入所需的过硫酸钠，搅拌均匀。 4）注入去离子水至工作水位。

5）开启循环过滤泵及打气，搅拌均匀并待温度达到要求范围即可使用。

4.2.7. 预浸

1）注入1/5缸去离子水。

2）慢慢加入所需的预浸剂1204。

5

3）开启循环过滤泵，搅拌均匀。

4）待预浸剂全部溶解完后，注入去离子水至工作水位。 5）待搅拌均匀即可使用。 4.2.8. 活化

1）注入1/5缸去离子水。

2）慢慢加入所需的预浸剂1204。 3）开启循环过滤泵，搅拌均匀。 4）再加入活化剂1205A。 5）注入去离子水至工作水位。 6）待搅拌均匀即可使用。 4.2.9. 速化

1）注入3/4缸去离子水。

2）加入所需的加速剂 1206A，开启循环过滤泵，搅拌均匀。

3）待加速剂 1206A全部溶解完后再加入所需的加速剂 1206B，搅拌均匀。 4）注入去离子水至工作水位。

5）搅拌均匀并待温度达到要求范围即可使用。 4.2.10. 化学沉铜

1）注入1/2缸去离子水，然后打开循环泵和加热器。

2）当温度达到操作温度时，关掉循环泵和加热器，放掉一部分水。 3）打开空气循环（包含副槽），

4）加入所需的化铜剂1207B和化铜剂1207A，开启轻微打气，充分搅拌均匀。 5）加去离子水到刻度，打开循环泵和加热器。

6）当化铜前30分钟，再慢慢加入所需的化铜剂1207D、化铜剂1207E和所需的甲

醛（1207D添加的过程打气常开以保证充分搅拌均匀）。

7）开启循环过滤泵，待搅拌均匀15分钟以后，把空气搅拌调节到均匀细碎状态，使

槽液均匀一致。

8）分析槽液浓度和温度，做必要的调整和补充添加。 9）为了提高新配槽液的活性，需要做4挂dummy板处理。

5．化学分析方法及维护

5.1. 膨胀

5.1.1. 膨胀剂 1101 A、试剂 1）氢氧化钠, CP级 B、步骤 1）冷却药水样品到室温。

2）放置 50.0 ml样品入 100 ml的有塞量筒。 3）加入 10.0 g氢氧化钠并剧烈摇摆至完全溶解。

6

4）静置量筒 15 分钟让液体分层。

C、计算

膨胀剂1101 (%) = 上层液体体积 (ml) x 3.08 D、浓度维护：

膨胀剂1101补充量 (L) = [20% - 分析结果(%) ] X 缸体积(L) 增加1%的膨胀剂1101，补加10ml/L膨胀剂1101 5.1.2. 氢氧化钠

A、试剂

1）酚酞指示剂

2）盐酸 (HCl) 滴定溶液, 0.50 N

B、步骤

1）从缸里面取出药水到室温。

2）吸取 10.0 ml样品放入250 ml圆锥瓶。 3）加入 50 ml去离子水。 4）加入 2-3 滴酚酞指示剂。

5）用 0.50N 盐酸滴定至无色终点。 C、计算

氢氧化钠(g/l) = N 盐酸x V (ml) x 40 / 取样体积 D、浓度维护：

氢氧化钠补充量（Kg） = [30 - 分析结果(g/L) ] X 缸体积÷1000 增加1 g/L，补加1 g/L的氢氧化钠

5.2. 除钻污

5.2.1. 氢氧化钠(配合pH计) A、试剂 1) 氯化钡 (BaCl2) 溶液, 1.0M 2) 盐酸 (HCl) 滴定溶液, 0.10N B、步骤

1) 吸取 2.0 ml样品放入 200 ml烧杯。

2) 加入 90 ml去离子水。

3) 加入 5.0 ml 1.0M 氯化钡 溶液。 4) 静置溶液 5 分钟。

5) 放入pH计电极,用 0.10N 盐酸滴定至pH 8.2。 C、计算

氢氧化钠 (g/l) = 0.10N 盐酸用量 (ml) x 2 D、浓度维护：

氢氧化钠补充量 (kg) = [35- 分析结果(g/L) ] X 缸体积÷1000 增加1 g/L，补加1 g/L的氢氧化钠

7

5.2.2. 高锰酸钾 (KMnO4) & 锰酸钾 (K2MnO4)

A、试剂

1) 氢氧化钡 (Ba(OH)2) 饱和溶液（80克Ba(OH)2溶解1升水15min） 2) 氢氧化钡 (Ba(OH)2) 溶液, pH 12.9 3) 用 pH 10 缓冲液校正 pH 计

4) 用去离子水 加入 Ba(OH)2 饱和溶液中调至 pH = 12.9

5) 6) 7) 8)

錪化钾 (KI) 溶液, 10% 重量比 硝酸 (HNO3) 溶液, 20% 容积比 淀粉指示剂

硫代硫酸钠 (Na2S2O3) 滴定溶液, 0.10N

B、步骤

1) 吸取 2.0 ml样品放入 50 ml烧杯。 2) 加入 10 ml氢氧化钡饱和溶液及摇匀。 3) 用玻璃滤纸将溶液过滤到 250 ml圆锥瓶。

4) 用 pH 12.9 的 氢氧化钡溶液清洗烧杯，一并加入过滤。 5) 用 pH 12.9 的 氢氧化钡溶液清洗滤纸直至呈灰色。 6) 将滤纸连同沉淀物放入另一个 250 ml圆锥瓶。 7) 将步骤 '5' 和 '6' 的溶液分别记作 'A' 和 'B'。 8) 各加入 20 ml 20% 硝酸溶液及摇匀。

9) 各加入 20 ml 10% 碘化钾溶液摇匀，样品 'B' 内的沉淀物会溶解。 10) 各加入 1.0 ml淀粉溶液。

11) 用 0.1N 硫代硫酸钠滴定溶液滴定样品 'A' 由紫色至无色，记下用量为 a ml。 12) 用 0.1N 硫代硫酸钠滴定溶液滴定样品 'B' 至无色终点，记下用量为 b ml。 C、计算

KMnO4 (g/l) = a ml x 硫代硫酸钠浓度(N) x 15.7 K2MnO4 (g/l) = b ml x 硫代硫酸钠浓度(N) x 24.6 D、浓度维护：

高锰酸钾补加量（Kg）= [55- 分析结果(g/l) ] X 缸体积÷1000 增加1 g/L，补加1 g/L的高锰酸钾

5.3. 中和洗与中和

5.3.1. H2O2的分析

A．试剂

1）0.1N的硫酸铈溶液

2）25%的硫酸

3）Ferroin indicator指示剂（1,10-邻二氮杂菲硫酸亚铁盐）

B．方法

1）取1ml槽液于250ml锥形瓶中，加入25mlDI.水于瓶中。

2）加入20%的硫酸10ml 。

8

3）滴加5滴Ferroin indicator，用0.1N的硫酸铈溶液滴定，滴定至蓝绿色为终 点，记录终点。

C．计算

35%H2O2 (% )=( ml 硫酸铈)×（N 硫酸铈）×4.1 / 取样体积

D、浓度维护：

35%H2O2 补加量（L）= [3% - 分析结果(%) ] X 缸体积（L） 每增加1%的35%H2O2，补加10ml/L的35%H2O2。

5.3.2 中和剂 1102 A、试剂

1）硫酸 (H2SO4) 溶液, 20% 容积比 2）硫酸铁氨 (NH4Fe(SO4)2?12H2O)

3）高锰酸钾 (KMnO4) 滴定溶液, 0.10N (3.1607 g/l) 4）浓磷酸（H3PO4） B、步骤

1）吸取 5.0 ml样品放入 250 ml圆锥瓶，加入25ml纯水。 2）加入 6-7g 硫酸铁氨溶液。 3）加入 10 ml 20% 硫酸。

4）加热至沸点并保持 5 分钟，冷却后，加入5ml浓磷酸。 5）用 0.1N 高锰酸钾溶液滴定由黄色至粉紫色。 C、计算

中和剂1102 (%) = N （KMnO4）x V（KMnO4）x 4.63 D、浓度维护：

中和剂1102补充量 (L) = [ 10% - 分析结果(%) ] X 缸体积(L)

每增加1%，补加10ml/L中和剂1102

5.3.3. 硫酸（中和洗和中和缸） A、试剂

1）甲基橙指示剂 2）0.10N氢氧化钠 B、步骤

1) 吸取 1.0 ml样品放入 250 ml圆锥瓶。 2) 加入 100 ml去离子水。

3) 加入 2 – 3 滴甲基橙指示剂。

4) 用 0.1N 氢氧化钠滴定溶液滴定由红色至黄色。 C、计算

硫酸 (%) = N (NaOH) x V(NaOH) x 2.77 取样体积 D、浓度维护：

9

中和洗：硫酸(98%) 补充量 (L) = [ 3% - 分析结果(%) ] X 缸体积 (L)

还原缸：硫酸(98%) 补充量 (L) = [ 8% - 分析结果(%) ] X 缸体积(L)

每增加1%，补加10ml/L硫酸

5.4. 整孔

5.4.1 调整剂1203A

A、试剂 1) 0.10 N 盐酸

2) 溴甲酚绿 (Bromocresol green) 指示剂 B、步骤 1) 吸取 5.0 ml样品放入250 ml圆锥瓶。 2) 加入100 ml去离子水。

3) 加入 2 – 3 滴溴甲酚绿指示剂。

4) 用0.10N 盐酸滴定由绿色至黄色。 C、计算 调整剂1203A (g/L) = N盐酸 x V盐酸x 165/取样体积

D、浓度维护：

1）调整剂1203A (Kg)补加量 = [ 55 - 分析结果(g/L) ] X缸体积（L）÷1000 2）每补加1 g/L调整剂1203A，同时补加1ml / L调整剂1203B。 5.5. 微蚀

5.5.1 过硫酸钠 A、试剂 1) 硫酸 (H2SO4) 溶液, 20% 容积比 2) Ferroin 指示剂

3) 硫酸亚铁氨 ((NH4)2?Fe(SO4)2?6H2O) 溶液, 0.20N 4) 硫酸铈 (Ce(SO4)2?6H2O) 滴定溶液, 0.10N

5) 高锰酸钾 (KMnO4) 滴定溶液, 0.10N (3.1607 g/l) B、步骤 A 1) 吸取 1.0 ml样品放入250 ml圆锥瓶。

2) 加入 50 ml去离子水。 3) 加入 10 ml 20% 硫酸。

4) 用移液管加入 10.0 ml 0.2N 硫酸亚铁氨滴定溶液，放置5 分钟。 5) 加入2 – 3 滴Ferroin 指示剂。

6) 用0.1N 硫酸铈滴定由橙色至浅绿色.(用量 Va)。 7) 用去离子水代替样品, 重复以上步骤.(用量 Vb)。 步骤 B

1) 吸取1.0 ml样品放入250 ml圆锥瓶。 2) 加入50 ml去离子水。 3) 加入10 ml 20% 硫酸。

4) 用移液管加入10.0 ml 0.2N 硫酸亚铁氨滴定溶液，放置 5 分钟。

10

5) 用0.1N 高锰酸钾 滴定溶液滴定至粉红色. (用量 Va)。

6) 用去离子水代替样品, 重复以上步骤. (用量 Vb)。 C、计算

过硫酸钠 (g/L) = (Vb - Va) x N x 119 D、浓度维护：

过硫酸钠补加量(kg) = [ 80 - 分析结果(g/L) ] X 缸体积（L）÷1000

每增加1 g/L，补加过硫酸钠1 g/L

5.5.2 硫酸 分析方法同5.3.2. 5.6. 预浸

5.6.1. 氯离子 A、试剂

1） 酚酞指示剂

2） 0.1 N NaOH 3） 铬酸钠指示剂 4） 0.1 N AgNO3

B、步骤

1）从预浸缸中取10ml 溶液于100ml容量瓶中，加纯水至刻度，摇匀。 2）从容量瓶中取5ml样品于250ml锥形瓶中。 3）加入10ml纯水和3滴酚酞指示剂于锥形瓶中。 4）用0.1 N NaOH溶液滴定，颜色从无色至粉红色。 5）再加入3滴铬酸钠指示剂于锥形瓶中，搅匀。 6）用0.1 N AgNO3滴定至颜色红褐色为终点。

C、计算 Cl –浓度（N）= N (AgNO3) × V (AgNO3) ×2

D、浓度维护：

预浸剂1204（L）= [ 3.1 - 分析结果(N) ] X 缸体积（L）X 0.25

或预浸盐1204（Kg）= [ 3.1 - 分析结果(N) ] X 缸体积（L）X 0.067 每增加0.1 N，补加25ml/L预浸剂1204或6.7g/L预浸盐。

5.7. 活化

5.7.1. 钯离子(比色法和紫外线光谱仪法) A、试剂

1）75%的预浸剂1204 2）标准活化剂1205A B、标准液配制

1）取2.0ml活化剂1205A于100ml容量瓶中。

2）往容量瓶中加入配制好的75%的预浸剂1204，充满至刻度，摇匀，记为A液。

3）用上述稀释好的溶液制作标准液，如下表格：

11

活化剂1205A（%） 3.33 3.00 2.66 2.34 2.00 1.67 1.34 1.00 0.66 A液 （ml） 5 4.5 4 3.5 3 2.5 2 1.5 1 75%的预浸剂1204（ ml ） 95 95.5 96 96.5 97 97.5 98 98.5 99

C、比色法

1）取3ml工作液于于100ml容量瓶中。

2）往容量瓶中加入配制好的75%的预浸剂1204，充满至刻度，摇匀，记为B液。 3）用同样类型和大小的比色管取B和A液进行颜色比较，颜色最相近的为B液对

应的浓度。

D、紫外光谱法

1）取3ml工作液于于100ml容量瓶中。

2）往容量瓶中加入配制好的75%的预浸剂1204，充满至刻度，摇匀，记为B液。 3）将紫外光谱仪工作波长设定在425nm，按其操作规定进行操作。

4）测定将上述配制标准液（75%的预浸剂1204作参比），记录各吸收强度值，绘

制标准直线图。

5）测定样品的吸收强度。

6）根据标准直线图确定工作的浓度。 E、浓度维护：

活化剂1205A补加量（L）= [ 2% - 分析结果(%) ] X 缸体积 (L) 每增加2ml/L活化剂1205A浓度增加0.2%。 5.7.2. 氯化亚锡

A、试剂

1） 0.1N 碘标准液 2） 淀粉溶液

B、步骤

1) 从活化缸取10ml溶液于250ml锥形瓶中。 2) 加入100ml纯水和7ml淀粉溶液。 3) 用0.1N 碘标准液滴定至蓝色为终点。 C、计算

氯化亚锡（g/L）= N(碘) x V(碘) x 9.49

D、浓度维护：

12

1205 B补加量（L）= [ 5 - 分析结果(g/L) ] X 缸体积 (L)÷100

1）新鲜的开缸液含氯化亚锡4.0 g/L以上（即2%活化剂1205A开缸）。

2）补加5ml/L活化剂1205 B相当于氯化亚锡增加0.5g/L，每次补加≤5ml/L。 5.7.3. 氯离子

分析方法同5.6.1. 5.8. 速化

5.8.1加速剂 1206B A、试剂

1) 10%KI溶液。 2) 0.1N 硫代硫酸钠

3) 浓盐酸 4）淀粉溶液 B、步骤

1) 吸取5.0 ml样品放入 250 ml圆锥瓶。 2) 加入50 ml去离子水。 3) 加入20ml 10%KI溶液。 4) 加入5ml浓盐酸。

5）用0.1N 硫代硫酸钠滴定至淡棕色。 6）加入5ml淀粉溶液。

7）继续用0.1N 硫代硫酸钠滴定至无色为终点。 C、计算

加速剂 1206B（%）=N (Na2S2O3) x V (Na2S2O3) x 2.16

D、浓度维护：

1）加速剂 1206B补充量 (L) = [ 2% - 分析结果(%) ] X 缸体积(L) 2）每补加2ml / L加速剂1206B，同时补加加速剂1 g/L 1206A。 3）当速化缸pH超过9.25时,通过慢慢补加20%盐酸0.03%,达到降低pH的目的。

5.9. 化学铜

5.9.1 化铜剂 1207A A、试剂

1）硫酸 (H2SO4) 溶液, 20% 容积比 2）碘化钾 (KI) 溶液, 10% 重量比 3） 淀粉 (Starch) 溶液指示剂

4） 硫酸氰钾 (KCNS) 溶液, 10% 重量比 5）硫代硫酸钠 (Na2S2O3) 滴定溶液, 0.10N B、步骤 1） 吸取 10.0ml样品放入250 ml圆锥瓶。

2） 加入 25 ml 20% 硫酸, 加入 25 ml 10% 碘化钾溶液。 3） 摇摆均匀1min，加入40ml纯水。

4) 加入 20 ml 10% 硫酸氰钾溶液，摇摆均匀。 5) 加入 5ml 淀粉溶液。

13

6) 用0.1N 硫代硫酸钠滴定溶液滴定至蓝色消失。

C、计算

铜离子（g/L） = N (Na2S2O3)x V(Na2S2O3) x 6.35 D、浓度维护：

1207A补加量（L）= [3.0 - 分析结果(g/L) ] X 缸体积(L)÷50 1）铜离子浓度控制在2.8-3.2g/L 2）每补充2ml/L化铜剂1207A则铜离子升高0.1 g/L，同时甲醛浓度升高0.1 g/L。 5.9.2 甲醛与氢氧化钠(PH计法) A、试剂

1) 无水亚硫酸钠

2) 盐酸 (HCl) 滴定溶液, 0.50N B、步骤

1) 开启PH计。

2) 用标准液, pH 7 和 10, 校正PH计。

3) 吸取 20.0 ml样品放入150 ml烧杯。 4) 加入 70 ml去离子水。

5) 用 0.5N 盐酸滴定至pH 10.5，记录0.5N 盐酸的用量 (Va)。

6) 继续用 0.5N 盐酸滴定至pH 10.0 (这一步骤的0.5N盐酸用量不需记录)。 7)

加入约1 -2g无水亚硫酸钠，令 pH 回升，待pH稳定3-5min。

8) 再用 0.5N 盐酸滴定至 pH 10.0，记录0.5N 盐酸 的用量 (Vb)。 C、计算

氢氧化钠 (g/L) = Va (HCl) x N(HCl) x 2

甲醛 (g/L) = (Vb (HCl) x N(HCl) ) x 30 / 20 D、浓度维护：

1207C补加量（L）= [8 - 分析结果(g/L) ] X 缸体积(L)÷300

1207F（甲醛）补加量（L）= [5- 分析结果(g/L) ] X 缸体积(L)÷400 1）氢氧化钠浓度控制在7.0-9.0 g/L。

2）每补加1.7ml/L化铜剂1207C增加氢氧化钠0.5 g/L。 3）甲醛浓度控制在4.0-5.0 g/L。

4）每补加1.25ml /L浓度为37%的甲醛则浓度增加0.5 g/L。

5）补加化铜剂1207C和甲醛需慢慢加入缸中，边加边搅拌。 5.9.3 化铜剂1207B

A、试剂

1）骨螺紫指示剂

2）0.01M硫酸铜（2.5 g/LCuSO4.5H2O） B、步骤

1）取10ml样品于150ml锥形瓶中。 2）加入50ml纯水。

3）加入小粒骨螺紫，溶解后溶液颜色为紫色。

14

4）用0.01M硫酸铜滴定至深绿色为终点。

C、计算

化铜剂1207B = N（CuSO4）x V（CuSO4）/10 + 溶液中铜离子含量Cu2+(g/L) / 63.5 D、浓度维护：

1207B补加量（L）=[0.068 - 分析结果(M) ] X 缸体积(L)÷1.25

1）化铜剂1207B浓度控制在0.064 - 0.072M。

2）每增加0.8ml/ L化铜剂1207B则浓度增加0.001M。

5.9.4 化学铜各浓度总的维护

A 按工作面积补加

1）化铜剂1207A、1207B、1207C按每ft2及不同镀铜厚度添加。如下： 生产面积（1ft2） 化铜剂1207A 25μinch 3.5ml 化铜剂1207B 0.6ml 化铜剂1207C 2.4ml 15μinch 2.3ml 0.4ml 1.6ml 2）化铜剂1207A中含有甲醛，但是，甲醛的量根据实际情况分析补加。

3）化铜剂1207B和化铜剂1207C的浓度每班次化验，根据化验结果添加调整。 B 沉铜速率的维护

1）当所有的成分在正常的范围时，沉铜速率为每15min沉积铜20μinch。 2）当主要成分在控制范围而沉铜速率较低时，适当提高温度会加快沉铜速率。

3）当主要成分在控制范围而沉铜速率较高时（沉积铜颜色变暗），此时需要需慢慢

补充1207E，每次补加量为0.5ml/L，每补加一次后测定沉铜速率一直到正常的

沉

积速率为止（此时沉积铜变为紫色）。

4）如果停机48小时，需要关掉加热器和减少打气。

6．测试科目

6.1 沉铜速率

A 试剂 1) 双氧水

2) pH 10 缓冲液 (55 g 氯化氨 + 350 ml浓氨水稀释至1Lit)

3) 甲醇

4) PAN 指示剂

5) EDTA 滴定溶液, 0.10M B 步骤 1) 切 5cm X 5cm 试板, 进行沉铜工序 (不经过除钻污工序)。 2) 放试板入 600 ml烧杯，然后加入 30 ml pH 10 缓冲液。 3) 加入 2 – 3 滴双氧水摇晃直至所有沉铜溶解。 4) 加入 70 ml去离子水。 5) 加入 30 ml甲醇溶液。

6) 加入 2 – 3 滴PAN指示剂。

7) 用0.1M EDTA 滴定溶液滴定至苹果绿色。

15

C 计算

沈铜厚度(?m) = 0.1M EDTA 用量 (ml) x 0.136

沉铜厚度(?”) = 0.1M EDTA 用量 (ml) x 0.136 x 39.37 D 注意事项

测试板不能放入除胶渣段，除胶会咬蚀基板。 6.2 背光测试

A．背光测试介绍

背光测试是用来测试化学铜在孔壁上的覆盖情况，它是一种破坏性的试验，将通孔切开，在孔的背面透过一道强光，在放大镜的正面去观察孔壁化学沉铜层的沉积情况，已经化上铜的地方不会透光，化铜不好的地方将会有光线透过，我们可以通过看到的亮区的多少划分等级来鉴别化学沉铜的好坏。 B．测试步骤

1．化学铜后在板上的切片孔处截取有通孔的切片。 2．用研磨机把所切取片磨到一排孔的中心线。

3．用研磨机研磨另外一边（不要用剪）使切片厚度减薄（通常小于1/8英寸），将切

片对着光看可以呈现半透明6。

4．把切片放在放大镜的光源上面，方便光线从下面透上来。

5．在10-50倍放大镜下去观测孔内沉积层的覆盖情况，至少观察6-7个孔以上，最后

到1到10级去区分沉铜情况。

C．评定标准

1．背光级别在8级或8级以上都是合格。

2．背光级别低于8级以下，需要立刻分析原因并进行调整。 6.3 除胶速率 A．步骤

1．取一块铜箔基板，将表面的铜完全蚀刻掉。 2．将其裁成10cm×10cm英寸大小。 3．在120℃烘箱中烘烤30分钟。

4．冷却后，用分析天平称重W1克（精确到万分之一）。 5．从膨胀缸开始，走完除胶渣流程后取出，立即吹干。

6．在120℃烘箱中烘烤30分钟。

7．冷却后，用分析天平称重W2克（精确到万分之一）。

B．计算

蚀胶速率（mg/dm2）= (W1- W2)×1000

C．注意事项

1．蚀胶速率用的基板最好采用同一厂家同一型号基材。 2．蚀胶速率试片只用一次。

3．如生产特殊的基材，如HTg、无卤素等，生产条件需作相应调整。与我公司联系。 4．因为高锰酸钾槽蚀胶量一定，如果前制程产生胶渣过多，则造成蚀胶不干净，为 了避免产生此问题，建议每批板走化学铜前，进行首件作业。

5．有些无卤素的基材不能走碱性的除胶渣制程，所以每生产新物料时都要试验后才

16

能进行量产以免报废。

6.4 微蚀速率 A．步骤

1．取一块铜箔基板，将其裁成4英寸×4英寸大小。 2．表面无需作任何处理，在120℃烘箱中烘烤15分钟。 3．冷却后，用分析天平称重W1（精确到万分之一）。 4．从清洁整孔缸开始，走完微蚀水洗后取出，立即吹干。 5．在120℃烘箱中烘烤15分钟。

6．冷却后，用分析天平称重W2（精确到万分之一）。

B．计算

微蚀量（微英寸）= (W1- W2)×223.95

C．注意事项

微蚀量太高会造成反回蚀的问题，因此异常停机时，要优先将微蚀缸的板件提出

到水洗槽。

7．除钻污再生器操作

7.1 再生器的作用(阳极反应)

环氧树脂在碱性高锰酸钾(KMnO4)溶液中会被氧化分解，而高锰酸钾在反应中被还原成锰酸钾(K2MnO4)，再转化成不溶的棕色的二氧化锰(MnO2)。再生器是利用电解原理在阳极将锰酸钾氧化回高锰酸钾，降低锰酸钾的浓度，减少二氧化锰的形成。 7.2 操作条件

1）外围的不锈钢为阳极，而中间的不锈钢柱为阴极。

2）每个再生器操作时最大电流为150安培，过大的电流会导致电缆熔化。

3）在正常操作时，使用150 安培电流，电压在6 – 9 伏特范围内，另外 每个再生器

正

负极电流应相同，或十分接近。 7.3 维修保养

1）在操作时，再生器的网壁会有二氧化锰的沉积，而影响再生器的工作效率，因此需

要定期保养，清除沉积物(每次配槽时)。

2）关掉电源，拆去电缆，取出再生器(阳极和阴极)，用清水冲洗。 3）将阳极和阴极浸在3%硫酸和2%双氧水的溶液内，直至所有沉积物清除干净，再用 清水冲洗。

4）电缆接触位及再生器座架，重新安装，连接电缆。 5）接上电源，检查电压及每个再生器两极的电流。

8．生产时注意事项

1） 检查控制箱及机械操作是否正常。

2） 检查机械摇摆，打气及震动器操作是否正常。

3） 检查各加热器、过滤泵是否正常，如果滤蕊失效，流量缓慢，需作清洗或更换。 4） 检查各水洗缸供水量，是否正常。

5） 检查各缸液位是否正常 (达到液位线或要比相邻水缸正常液位低1～1.5寸)

17

6） 取养分析，根据化验结果，调整药液浓度至标准值。

7） 补充药液时，必须核对药液的名称和份量，以免出错。 8） 检查补充桶内药液是否足够，否则需作补充。 9） 每天定时检查生产线之操作及各设备的情况。 10）记录所有故障的发生时间及其原因。

11）每两小时做一次背光测试，若背光小于8级，需从PTH清洁开始返工此批板。

9．换班时注意事项

1）当没有生产板在生产线内，开启化学沉铜主缸的打气。 2）检查自动加药缸的液位及作出适当补充。 3）分析及补充各药液。

4）检查各药液的温度。

5）生产前，关掉化学沉铜主缸的打气。

10．再生产前注意事项

10.1. 停止生产

1） 关掉各缸的加热器（高锰酸钾槽除外），打气，入水开关及自动加药器。 2） 降低高锰酸钾槽温度50℃，再生机电流降低到日常工作电流的一半。

3） 关闭加热冷却、天车、震动、摆动、鼓风机、过滤泵和开启沉铜缸备用鼓风机。 4） 加入0.4ml/L的1207E到化铜槽主缸和副缸中，并确认主缸和副缸打气正常。 5） 关闭各药槽的循环泵（高锰酸钾槽除外）。 6） 放走需要更换的药液及各水缸的清水，并清洗各缸，更换滤蕊。 7） 将沉铜液泵到已清洁的备用缸并开启打气。 8） 用硫酸及双氧水清洗沉铜缸。

9） 根据药液开缸指示，更新到达换缸周期的药液。 10）所有水洗缸重新注入清水。

◆11）停机超过48小时，所有药水缸需要密封，以防止落尘和其他污染物。

◆12）停机超过一星期以上，补加8-9ml/L浓盐酸（CP）调整化铜缸pH值10.5以下。 10.2. 开始生产

1）调整药液的浓度，特别留意沉铜药液。

2）检查各药液的温度及液位。

3）生产前，先行拖缸板，才行生产板，首缸生产板必须背光测试OK方可继续生产。生产中每两小时做一次背光测试。

4）一般短暂停产2-4 小时，沉铜主缸开打气，并保持循环。停产4-24 小时，沉铜 主缸开打气，并保持循环。 10.3. 沉铜换缸，洗缸及再使用步骤

1）放走备用缸的水，并用清水冲洗干净。 2）关掉旧缸的温度控制， 循环泵，加药系统。

3）用5 – 10 ?m 过滤泵将沉铜液抽到备用缸，并开启轻微打气。

4）清除感应器上的积铜，将它和补充喉、洗净的过滤袋安装在新的沉铜缸。 5）加入净化水至适当水位，开循环泵及温度控制。

18

6）待药液均匀后，分析浓度及补充成份。

7）生产前先行三至四缸摸拟电镀板(拖缸板)，拖缸板需是清洁纤维板。生产时关掉主

缸的打气(副缸、循环缸不论在任何情况下，都要维持轻微打气)。

8）放掉旧缸剩余药液，注满清水，加入双氧水及硫酸，开循环泵及打气。

9） 清净缸壁的积铜后关掉循环泵及打气，放掉溶液。如果过滤袋过黑，应另浸在 5%

双氧水及 5% 盐酸液中清洗。

10）用水冲洗缸壁，注满水，开循环泵10分钟后关掉，放水，再注满清水。 10.4. 过滤芯更换频率 药液名称 中和 调整 活化 速化 化学沉铜 滤芯类型 10 ?m 棉芯 10 ?m 棉芯 10 ?m Polyspun 10 ?m 棉芯 过滤袋 清洗频率 - - - - 每两天一次 更换频率 每星期二次 每星期一次 每班二次 换缸时更换 注: 所有过滤棉芯须预先浸在2%氢氧化钠溶液4-6小时，再用清水冲洗，方可使用。

沉铜缸的过滤袋需要用过硫酸钠/硫酸溶液蚀清沉积在袋上的铜粉，再用清水冲洗干净；如果滤袋还是黑色，应再浸在5%盐酸和5%双 氧水溶液，然后用清水冲洗。

11. 故障时处理措施

1）如果在正常生产当中机械发生故障而未能实时修妥，需要进行长时间维修工作， 将经过活化剂工序的生产板尽可能用人手控制吊车完成剩下的工序。 2）抽出的板需放入清水缸中浸洗；

3）若需要，可关掉总入水掣(清水及净化水)及控制箱电源。

4）尽可能保持化学沉铜缸打气，若总电源关上则打气泵会停止操作。 5）若维修超过三小时，需加入 0.25 ml/l (化铜)稳定剂1207E。 6）除了从沉铜缸落的板之外，其它板应再做一次沉铜。

7）若发现已沉铜的板背光测试不合格，则需再做一次沉铜工序。

19

12. 除钻污沉铜工艺问题处理简表 问题 除钻污 1. 除钻污不足 浓度不足 温度偏低 药液过期副产品增加(如MnO2) 不同树脂基材 前松化反应不足 2. 过度蚀胶 浓度及温度过高 膨松反应过久 不同树脂基材 3. 氧化残物未除尽 中和剂条件不对 槽液失效 温度低 问题 沉铜速率低 温度太低 沉积速率偏低 沉铜速率高 化铜缸温度高 化铜缸浓度高 沉积速率过高

原因 槽液各成分浓度低 确认各组分浓度并调整 测量槽液温度并调整 用dummy板激发活性 测量槽液温度并调整 确认各组分浓度并调整 加大稳定剂的添加量 对策 原因 分析并添加。 升高温度。 更换槽液，检查再生器。 加强前松化反应 检查并调整 检查并调整 检查作业时间及温度 检查膨松及蚀胶条件 注意浓度及浸业时间 更换新液 冬天时要留意 对策

2

问题 结合力不良 沉铜层与板面铜层 NPS微蚀不足 水洗流量不够 原因 由水缸混沌程度而定。 严格执行浸酸。 对策 检查NPS浓度及作业时间，微蚀铜厚度低于1um 沉铜后板没有立即浸在稀酸中 因故障板在PTH线中放置过长令板面钝化 机件故障时，视情况而翻做沉铜工序。 板面有严重的氧化物或其它污物(例如胶渣) 沉铜前检查板面，保证板面清洁。 沉铜层与板料基材 树脂未完全固化 钻孔渣留在孔壁及内层铜壁 孔壁的树脂面太光滑 切片的水晶胶收缩力过强 孔壁粗 钻孔渣留在孔壁上 平板电镀液有铜粉 参考“板面粗” 沉铜层变为黑暗 化铜槽温度太低 化铜槽NaOH浓度太高或太低 化铜槽稳定剂太低 凹陷 活化后水洗有藻类 镀前刮伤 电镀铜缸遭污染

检查树脂硬化条件、 钻孔前加焗板工序 改善压板钻孔及除胶渣条件、加强磨板的高压 水洗、加超音波震洗 双层板加除钻孔污工序、改善钻孔条件 改用无收缩力的水晶胶 改善钻孔条件、加强磨板后高压水洗、加超音波震洗 改善电镀条件，加强过滤及保养工作。 检查参数并调整 如沉积速率为稳定持续的高沉积，则补加0.2ml/L的1207E 沉铜速率低参照沉铜速率低的处理办法 检查水质 检查原因并改善 检查电镀制程

2

问题 孔壁破洞 原因 钻孔条件差，孔壁粗糙 沉铜前处理差，整孔、活化及速化 前处理的药液过期或被污染 气泡留在孔壁 稽查钻孔工序 对策 分析及调整所有药液浓度在控制范围内 开新药液及防止问题重现 检查震动器操作 不同基材或树脂未完全硬化导致除钻污过度 分析除胶渣速度 沉铜速率慢、板面灰暗及沉铜液少气泡产生： 温度低 调高沉铜温度到30度 浓度低特别是还原剂及添加剂 分析及补充 稳定剂过多(缸面有过多泡沫) (负荷量)低、落板 少及板面积少 循环缸的打气过强 背光不良在树脂或玻纤上 整孔不足 速化不足 活化不足 化铜沉积速度过低 板面粗 NPS 和钯水改用混沌的水洗。 钯水缸混沌。 沉铜缸的过滤差。 自配250克/升氢氧化钠溶液混沌。 沉铜缸反应过快，浓度及温度过高， 稳定剂补充不足

2

暂停加稳定剂 平均每架板的面积 减弱打气 分析调整各操作参数 分析调整各操作参数 分析调整各操作参数 生产前做好dummy板激发活性 尽量用 DI 水清洗 检查滤蕊安装是否恰当，更换新的过滤泵。 检查滤袋是否塞，并更换 开药前检查其质量、使用前，过滤泵循环过滤药液。 分析沉积速度、每次补加0.5ml/l 1207E、加强循环 缸的打气、 分析浓度及温度并调低。

问题 沉铜不稳定 碱或甲醛浓度太高 螯合剂太低 稳定剂过低 温度太高 补充添加有问题 工作量不对 槽液受污染 过滤不足 原因 对策 调整到操作范围 调整到操作浓度补加 加强温度的检查、检查温度控制器、冷却器的操作。 只能加纯药和纯水、要逐之分量加在循环缸过滤袋里、一次添加量不能大。 保持较稳定的工作量、板在槽液中要均匀放置。 由于水洗不足，速化液被带入，减少速化液的带入。 氢氧化钠液质量差和NPS的残液未冲洗干净。 长时间停产，槽液加盖减少灰尘落入，用前再过滤。 定期过滤槽液、清除槽壁上积铜，过滤芯应浸NaOH 溶液再清洗,方可使用。滤袋变黑，用H2O2/ HCl 浸洗。 加强空气搅拌 翻槽调整 加强循环 检查含胶量 氧化膜对机械外力的抵抗和抗酸性不足。 树脂湿润不良，压力升温加压太快，令胶流量不足， 氧化膜与流胶的亲合时间太短，树脂与黑氧层有微隙。 进力与退力太快，或偏转太大， 都会拉松孔壁的底材。 酸性药液的过份侵蚀，沉铜后浸酸时间过长。 空气搅拌不足或不均匀 比重太高 循环量太小 粉红圈 胶片含胶量不足 黑氧层的问题 树脂与黑氧层结合力不足 钻孔 湿流程

2

13． 柏宇专利化学药品名称及贮存条件

1、柏宇专利化学药品贮存条件 名称 比重(S.G.) 包装规格 贮存日期 贮存温度(℃) 膨胀剂1101 中和剂1102 调整剂1203A 调整剂1203B 预浸剂1204 活化剂1205A 活化剂1205B 加速剂1206A 加速剂1206B 化学铜1207A 化学铜1207B 化学铜1207C 化学铜1207D 化学铜1207E 1.035±0.01 1.10±0.01 / 1.00±0.005 1.165±0.015 1.40±0.05 1.14±0.01 / 1.15±0.05 1.108±0.008 1.25±0.01 1.26±0.01 1.26±0.01 1.00±0.005 20 L/桶 20 L/桶 20Kg/桶 20 L/桶 20 L/桶 5.0 L/桶 5.0 L/桶 20Kg/桶 20 L/桶 20 L/桶 20 L/桶 20 L/桶 20 L/桶 20 L/桶 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 一年 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～40 5～25 备注:药液应贮存于贮存仓库，不可暴露于阳光下照射。

2、产品说明

中 文

英文

Reduction Conditioner 1102 Cleane and Conditionerr 1203 Pre-dip Solution 1204 Activator 1205 Accelerator 1206 Electroless Copper 1207

膨胀剂1101 中和剂1102 调整剂1203 预浸剂1204 活化剂1205 速化剂1206 化学铜1207

Swelling Agent 1101

2

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/bnid.html