01工艺说明 - 图文

旧底图总号 ZDGF 工艺说明 名称 图号 晶体硅太阳电池 ZDGF200.007GGS 编 号 丝网印刷及烧结 1. 丝网印刷及烧结工艺规程编制说明 丝网印刷和烧结的目的：在已形成pn结和镀膜后的硅片上进行电极的印刷和烧结，从而使由于光照产生的载流子被顺利的导出 ，实现太阳电池的光电转化。 文件规定了： ⑴ 丝网印刷机的操作规程。 ⑵ 烧结炉的操作规程。 ⑶ 太阳电池片电极制作所要实施的工艺规范。 2. 丝网印刷机的操作规程 2.1 丝网印刷机控制面板说明 2.1.1 电源和启动部分 ? 主电源：根据旋转箭头旋转可开启和关闭总电源（向上旋转为开，向下为关）。 ? Activated Voltage (启动电压)：在主电源开启时，该灯就会发亮，表示电源已接通。 ? Auxiliaries starting (激活程序)：打开机器的应用。 ? Alarm rest (警报取消)：用来取消机器发出的报警声音。 ? Man step autom (手动/自动)：手动或自动模式选择，在机器停止时旋转调动。存在于显示系统两侧，分别对印刷机和烘干机进行控制。 ? JOG+ JOG- :在手动模式时，执行手动命令。 ? Cycle Rest (系统复位)：存在于显示系统两侧，对印刷机或烘干机进行复位，重新开启机器或设备故障解决后需复位。 ? Cycle start(系统开启)：存在于显示系统两侧，开启印刷机或烘干机。 ? Cycle stop (系统停止)：存在于显示系统两侧，停止印刷机或烘干机。 ? Paper Change（台面纸更换)：在台面不平或台面纸污染时，需及时更换台面纸张。在控制面板上，按 “Cycle stop”键使机器停止后，按此按钮可将顶柱顶起，以便于换纸。换好纸后再按此按钮一次将顶住放下，完成操作。 ? Pallet change (载片盒更换)：此按钮仅在背面电极印刷机有，用于手动更换载片盒。 ? 急停按钮：在紧急情况下停止机器运转。 2.1.2 气源控制部分 压缩空气：开关阀门位于印刷机后端，旋转与气管平行开启，垂直关闭。 真空：开关阀门位于印刷机后端，旋转与气管平行开启，垂直关闭 。 2.1.3 应用软件操作界面 底图总号 数量 更改单号 签 名 日 期 拟 制 审 核 标准化 批 准 日期 签名 更改标记 中电电气 （南京） 光伏有限公司 第 1 页 共 15 页 描图： 描校：

旧底图总号 ZDGF 工艺说明 名称 图号 晶体硅太阳电池 ZDGF200.007GGS 编 号 丝网印刷及烧结 2.1.3.1 软件打开时视图界面 ? 界面中的菜单栏简述： 1-File 文件：用于打开或创建一个工艺程序 2-Machine 机器：机器在工艺方面的一些功能和参数 3-Owen 烘箱：反映烘箱的一些参数 4-Axis 轴：设备参数 5-Vision 视图（此项会在后面加以详述） 6-Utilities 应用：设备的一些应用功能 7-Password 密码 8-Diagnostic 警报信息：设备或工艺异常时刻电击此按钮察看相关信息 9-Help 帮助 在Open 中选择所做硅片的型号，同时调整行走臂距、网板型号即可更换硅片型号进行印刷。 ? 快捷键。在菜单栏下方依次排列有六个使用方便的快捷按钮，它们分别相当于： Open、Save、21-Cycle、22-Print Parameters、24-Operator Page、8-Machine Diagnostic、9-Help 对最常用的C、P两个快捷功能，会有详细说明。 ? 在窗口的底部是命令栏： F4=Screen Lock 锁定和解锁网版：在更换网版时，需解锁以取下旧网版，换上新网版后重新锁定 F5=Raise Screen 升高网版：有时需将网版抬高以进行一些手动操作（如更换网版） F7一般不用 Progr. 显示实际正在使用的程序名 数量 更改单号 签 名 日 期 拟 制 审 核 标准化 批 准 底图总号 日期 签名 更改标记 中电电气 （南京） 光伏有限公司 第 2 页 共 15 页 描图： 描校：

旧底图总号 ZDGF 2.1.3.2 系统界面 工艺说明 名称 图号 晶体硅太阳电池 ZDGF200.007GGS 编 号 丝网印刷及烧结 界面上部列有一些多选框，执行以下功能： Enable magazine loader 使片子能从载片盒中传出：只第一道印刷机具有此项功能，电击选中则使push-bar将片子从盒中推出上料 Enable printing 使印刷机能够印刷 Enable wafer alignment 保证硅片位置正确 Enable screen Alignment 保证网板位置正确 Enable Flip-over 执行翻转：只在第二道使用，将片子翻转 Enable Oven Heating 使烘箱加热 Enable Bypass Oven 使直接通过烘箱 Check Breakage Before 印刷之前检查片子是否完好 Check Breakage After 印刷之后检查片子是否完好 界面底部是三个功能按钮： Confirm 确定 Restore 恢复 Exit 退出 数量 更改单号 签 名 日 期 拟 制 审 核 标准化 批 准 底图总号 日期 签名 更改标记 中电电气 （南京） 光伏有限公司 第 3 页 共 15 页 描图： 描校：

旧底图总号 ZDGF 2.1.3.3 印刷参数 工艺说明 名称 图号 晶体硅太阳电池 ZDGF200.007GGS 编 号 丝网印刷及烧结 界面简介： PRINTING Alternate squeegee 单程印刷：刮刀向前运动印刷一片片子，向后返回印刷下一片 Double squeegee 两次印刷：对每一块片子向前印刷一次，再向后印刷一次 Squeegee and Flood 印刷后回料（常用） Flood and squeegee 回料后印刷 SCREEN Snap-off 网版间距 Park 停止位置 Speed upward 网板上升速度 SQUEEGEE Down-stop 刮刀位置 Park 停止位置 Pressure 刮刀压力 ADVANCEMENT Position1 刮刀起始位置 Position2 印刷后的返回位置 Position3 印刷后停止位置 Position4 印刷后开始返回时位置 FLOOD SUEEGEE Printing speed 印刷速度 Flood speed 回料速度 X ,Y, Theta piece offsets 网板位置在三个方向上偏移量：利用此三项参数控制印刷图形在片子上的位置，尽量使其居中 数量 更改单号 签 名 日 期 拟 制 审 核 标准化 批 准 底图总号 日期 签名 更改标记 中电电气 （南京） 光伏有限公司 第 4 页 共 15 页 描图： 描校：

旧底图总号 ZDGF 工艺说明 名称 图号 晶体硅太阳电池 ZDGF200.007GGS 编 号 丝网印刷及烧结 备注：这只是操作软件部分的一些主要内容介绍，可供基本工艺和操作使用。详细的内容可参考丝网印刷软件说明书《Automatic Printer Software menu File: 2004 1019 Software Menu.doc Ver 1.5》Item1,Item 2，Item 3；《Cognex 8100 vision system Software menu Vers. 10.0》。 2.2 丝网印刷机的操作规程 2.2.1 开机 ? 外围设备人员保证机器的动力供应、电气、压缩空气、真空等处于正常状态。操作人员检查是否达到要求。 ? 打开真空和压缩空气阀门。 ? 打开电源，“Activated Voltage”灯亮，显示电源接通。 ? 通电后需一段时间启动程序，待机器报警后拔出急停按钮。 ? 按动“Auxiliaries starting” 按钮，启动丝网印刷机应用软件。 ? 按“ALAM RESET”消除警报。 ? 按“CYCLE RESET”（显示屏两边）复位，显示屏给出复位提示窗口，鼠标点击“OK”机器进行复位，烘箱在复位过程中会出现警告窗口，直接观察烘箱内是否有硅片，确定无时点击“NO”键，否则点击“YES”键。复位完成后该按键不闪烁。 ? 复位完成后，“Cycle start”（绿灯）闪烁，按此键设备将运行。 2.2.2 关机 印刷结束后，需要关闭机器时： ? 按“Cycle stop”按钮停止印刷机工作，按F4键解除网板锁定； ? 把卸下的网板以及刮刀、回料板放置在操作台上，把浆料铲净,并用沾有酒精的抹布将之清洗干净； ? 将可用的网版安装上（按F4）锁定； ? 按下急停按钮，关闭主电源；然后关闭压缩空气和真空的气阀。 2.2.3 操作细则 （1）开机后，在印刷台上按要求贴上裁好的纸张。 （2）按工艺参数规范设置印刷速度、反料速度、丝网间距、刷头压力和烘干温度及时间。工艺参数设置参见本文件第4 条的表1、表2、表3及表4。 （3）将装载好硅片的载片盒移动到传送架上。 （4）用搅拌机将浆料搅匀。 （5）各道印刷工序点击“Cycle start”按钮，使机器运转起来。 （6）当硅片到达各印刷机时，机器首先将进行自动校点 (校点详细操作见2.3)，自动校点完成后，将搅拌好的浆料倒在丝网印刷网板上，注意浆料应将网版中心的图形覆盖，用纸试印，以保证印刷电极的完整和均匀，并调节印刷位置直到满足质量要求。 （7）在印刷过程中如果出现碎片、浆料不足等情况时，需按“Cycle stop”按钮停止印刷，处理好问题后，按“Cycle start”重新启动机器。 2.2.4 问题处理 （1）碎片：最常见的问题。整条线上都要注意碎片清理，以保持生产流畅，降低碎片率及网版损毁率； （2）粘片：多发生在第二道。发生偶然性粘片时及时停下机器，在网版下垫一张纸，用铲刀以小角度沿网版将粘上的片子铲下，作清理后继续运作；发生频繁粘片时，先检查浆料是否过稠或搅拌不够，若浆料正常，则需更改相关工艺参数以解决（需工艺员同意）； （3）印刷偏移：换上新网版时，通常都会发生印刷偏移。因此需先用纸进行试印，调整好后再生产。有时在生产中会发生某一个台面上印刷的图案偏移，而其他台面正常，这一般是由于该台面污染影响。从这一点上讲保持台面整洁性也十分必要。 数量 更改单号 签 名 日 期 拟 制 审 核 标准化 批 准 底图总号 日期 签名 更改标记 中电电气 （南京） 光伏有限公司 第 5 页 共 15 页 描图： 描校：

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