ESD控制作业标准书

杭州安费诺飞凤通信部品有限公司

作成日期：2013年12月24日

ESD控制作业标准书

承认 确认 作成 陈开奎 吴丕军 1、目的：

提供一个静电放电控制方案计划，包括行政及技术上的要求，以及建立、实施和维护静电放电控制方案。对ESD系统的计划、培训、符合验证以及静电放电控制方案计划的技术要求提供指引。通过本控制程序对各单位所涉及的静电放电控制提出具体要求。努力辨认和消除缺陷，并防止缺陷的出现从而达到减少与静电放电损害相关联的成本与危险。

2、范围：

适用于来料、制程、包装等过程。

3、定义：

ESD——Electrostatic Discharge 通过直接接触或通过静电场感应而产生的在带有不同电势的物体间的电荷转移现象。

ESDS——Electrostatic discharge sensitive device 在操作、测试或运输过程中有可能被静电电场或静电放电损坏的装置，包括单个的器件、集成电路或成品等。

EPA——ESD protected area 用于以可接受的静电放电损害风险水平操作静电敏感器件的区域 EBP——EPA ground bounding point

HBM——Human Body Model 人体模型

接地——潜在带电体与大地相连并使其处于同样的电位 接地点——可用于连接到地的接入点

导电材料——表面电阻≥1X102欧姆＜1 X105欧姆之间的材料（根据IEC 61340定义） 耗散材料——表面电阻≥1X105欧姆＜1 X1011欧姆之间的材料 绝缘材料——表面电阻≥1 X1011欧姆的材料

4、程序： 4.1培训

所有雇员都需要接受其本ESD基本介绍培训，包括不需要直接操作静电敏感器件的人员但有需要进入EPA并通过不同渠道接触到防静电敏感器件。此类人员包括管理人员、文职人员、维护保养人员、清洁人员及保安等。对直接操作静电敏感器件的人员应该接受如何安全、恰当地操作静电敏感器件的ESD培训，包括ESD基本介绍、ESD器件操作方法及防静电保护方法等。对设备安装及验证、培训部人员、ESD审核员、物料或设备采购人员应该接受包括ESD基本控制原理、ESD材料划设备的选择及测试、ESD20.20等培训。

4.2 EPA的ESD控制方法及要求

控制要求 静电压控制标准 封闭区域 防静电标识 防静电地板 防静电桌皮 防静电手腕带 防静电手套、指套 防静电工衣 防静电鞋 防静电椅 人体综合电阻测试 杜绝静电产生材料使用 非防静电包装拆封 离子静电消除器 防静电周转工具

EPA 级别 EPA区域 <2000V 要求 要求 要求 可选 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 区域外操作 可选 要求 4.3 ESD符合性验证

4.3.1ESD控制/测试设备

ESD控制/测试设备应定期校准以确保其处于有效使用状态下。使用中的ESD材料、设备需要定期进行维护及测试以使其满足表4.7.1的要求。

应该根据表4.7.1选用合适的设备进行测试。用于ESD验证的测试设备每年都应当进行校准，或根据设备制造商或校准实验室的指示进行校准。校准记录应当根据公司程序进行保存。 4.3.2符合性验证频率

表4.3.2符合性验证要求及频率表 项目 验证频率 负责部门 技术 制造 技术 操作员 操作员 技术 供应商 技术 工作台接地 每个季度 温/湿度 每4个小时 接地连续性 每个季度 以上项目在初次使用时需进行ESD确认 防静电手腕带 每天 防静电鞋 每天 手推车 防静电椅 每季度 物料架 防静电工衣 每次清洗后 防静电手套/手指抽检 套 以上项目在初次购买及使用前需进行ESD确认 防静电泡棉 防静电气泡袋 首件检查及 技术 屏蔽袋 每月抽样检查 防静电周转箱、工具盒 以上项目都需要在首次购买时进行首件检查 公司内部应定期对EPA区域内的静电防护情况进行内部审核,审核内容及方法可参考《EPA区域静电防护checklist》，相关测试结果记录在《接地电阻定期点检表》内，并存档保存。 4.3.3测试方法

测试方法参照表4.7.1及相应测试指引

4.3.4验证不符项记录

个人防静电防护设备，如防静电手腕带、防静电工鞋等测试不通过时应该直接向主管报告并在测试记录表上记录EPA内的设备如工作台、地板、手推车等有测试不良时应由测试员记录详细情况并发给相关部门要求限期改善。

4.4技术要求

4.4.1接地系统

所有处于EPA内的导体包括人都必须通过良好接地。 4.4.1.1工作台接地

工作台在设计、装配时就必须考虑到ESD保护问题，工作台所包括的所有部件，包括表面、电气设备的金属外壳和电动工具等都必须保持良好接地，使其对地电势差为零。每台工作台都应该分别接地，如果一张工作台上有多于一张防静电席在使用，则每张防静电席都应该分别接地。 4.4.1.2接地线

用于接地所用的接地线应该有足够强度，以不易于断裂或松脱为准。线与线之间的接合外应该用焊接或专用夹子进行连接。同时在安装接地线时应该考虑布线设计避免使用中的机械损伤。在接地线与接地点连接时应该使用足够稳固的连接方式，如香蕉头等。在设备、工作台或接地线与接地点的连接过程中不允许使用鳄鱼夹。 4.4.1.3移动设备接地

对需要经常移动的设备，如手推车等，可以使用接地链接地，接地链要求与地板接触长度不小于15厘米，并且接地链与设备的连接处必须使用邦定或焊接方式连接 4.4.1.4人体接地

当工作人员处于EPA时，必须时刻处于接地状态。当坐在工作台前操作时，应该使用防静电手腕带接地，站立操作的操作员可以使用防静电工鞋或防静电鞋带/套达到接地目的。进入EPA区域之前必须确认接地腕带以及静电鞋的有效性，确认方法参考《人体综合电阻测试仪SOP》。

备注1：防静电鞋、鞋带或鞋套只有在人员处于站立状态时才能充分发挥作用。当人员坐下时，因为人体施加于防静电鞋、鞋带或鞋套的压力减小导致与地板接触不够从而导致该种接地方式并不能完全起到防静电作用。所以，坐下时必须使用防静电手腕带。

备注2：无线防静电手腕带的作用距离与作用效果均与有线防静电手腕带相差甚远，并且无线防静电手腕带主要是通过与空气进行电荷中和的方式来进行ESD防护，所以在没有离子系统的情况下不建议使用无线防静电手腕带。

4.4.2 EPA（静电放电防护区）

所有开封后或没有适当防护装置的ESDS只能在受控的EPA中操作或处理。

4.4.2.1 ESDS处理区识别

警示符号或警告信息应在EPA入口处清晰可见。 4.4.2.2进入EPA

只有受过培训并正确着装ESD防护设备的人员才被允许进入EPA。当有访客需要进入EPA时，受过培训的人员同时应该将相关ESD信息向来访者进行传达并要求访客遵守ESD政策。 4.4.2.3湿度控制

EPA区域内的湿度应该被控制在系统要求的范围之内，EPA区域内的相对湿度建议保持在40%到70%之间。一量出现超标，应该马上采取措施使湿度恢复到可接受水平。 4.4.2.4个人防静电设备

进入EPA时必须使用下列ESD防护设备： 所有人都需要穿着ESD工衣

需要坐着操作的人员需要使用防静电手腕带

防静电工鞋、鞋套或鞋带（如地板为非防静电地板须使用防静电手腕带） 4.4.2.5必要的绝缘物操作 EPA内的绝缘物操作、使用是受限的。如果EPA操作区内使用的非导电材料的磨擦电压不能在当前接地系统中迅速耗散（2秒内由1000V耗散至100V），则应该考虑使用离子风机来中和电荷。如因实际需要操作中的绝缘物需要接近ESDS小于30厘米时，应该使用下列方法避免ESD损害： 换用静电放电安全材料 使用离子风机

在工作台上划定区域并以醍目的标记、警告信息提醒操作员注意潜在的ESD损害 4.4.2.6禁止事项

下列各项不允许在EPA中使用 饮品包装（如聚苯乙烯杯） 食品包装

个人物品（如随身听、手机等） 非防静电透明胶带等。 4.3.2.7ESD政策或警告

ESD政策或警告应张贴在进入EPA处的醒目位置

4.5防静电材料

用于直接与ESDS接触的材料，包括原材料、工具和包装材料等，应该使用导电材料或者耗散材料或者抗静电材料，下表所示为各种防静电材料的分类标准 表4.5.1 ESD材料分类 材料类型 静电导电材料 静电耗散材料 特征 参考标准 表面电阻 ≥1X102欧姆＜1 X105欧姆1 IEC 61340-5 表面电阻 ≥1X105欧姆＜1 X1011欧姆 磨擦电压小的材料，其表面电阻要求与静电耗散材料相同，主要表现为磨擦时产生的电荷NOKIA防静电要求 量很低，亦即几乎不产生静电或者产生的静电压很低不会对抗静电材料 （低电荷材料）

ESDS造成损害。 因此，衡量一种材料防静电与否并不只是与其电阻系数有关，还要求其静电耗散时间，对于1级要求其能够在2秒内将静电压耗散到<100V. 绝缘材料 屏蔽材料 表面电阻≥1 X1011欧姆 <50nJ或<30V IEC 61340-5 ESD20.20-1999

4.5.1防静电材料测试

表面电阻测试方法应该遵循ESD STM11.11的方法进行测试，可参照表4.7.1列出的值

4.6设备

4.6.1工作台表面

工作台表面最好使用静电桌皮进行防护。建议使用直接对地接地系统，接地系统中可能会在静电桌皮到接地点间使用电阻使其点对地电阻达到要求。其表面电阻应该在1X106欧姆到1X109欧姆之间，见表4.7.1

4.6.2防静电地板

防静电地板应该直接对地接地，点对地电阻应该满足表4.7.1要求，如地板不能达到防静电要求，也可以使用防静电地毡接地来满足使用要求。

4.6.3非固定工作椅

EPA中使用的工作椅应该使用导电轮或者拖地链接地，其各层对地电阻应该满足表4.7要求，对使用非金属轮的椅子必须使用拖地链接地。拖地链与地板接触的长度要求不小于15厘米。对于使用金属轮的椅子需要定期清洁轮子上的脏物，并建议定期在轴承中添加导电树脂。

4.6.4塑料工具

对于带绝缘手柄或使用绝缘材料的工具如切钱钳、尖嘴钳等，通常是依赖于接地的工作台面或操作员的防静电设备达到接地的目的，对于金属工具表面的塑料部件通常不作ESD问题考虑，因为其很难聚积电荷或造成ESD事故。如果需要在操作ESD敏感度为HBM<100V的ESDS，需要在使用前进行评估，通常在操作这些高ESD敏感度的元件时是限制使用此类工具的。

4.6.5周转箱

EPA内使用的周转箱类应该由导电材料或者永久性耗散材料构成。此类周转箱只能用于在EPA内进行ESDS的转运和临时存储。其表面电阻应该满足表4.7.1的要求。

4.6.6显示器

只允许使用不产生静电的显示器，多数LCD显示器能满足此要求。对于旧式CRT显示器可以表面喷涂防静电液。

4.6.7固定货架

固定货架需要直接接地，有的货架会使用塑胶部件来固定，对于此类货架必须每层接地。其点对地电阻应满足表4.7.1的要求。

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