新能源领域的安全须知 - 图文

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中轻太阳能电池有限责任公司

Chinalight Solar Co., Ltd.

中轻太阳电池安全生产操作规程

Ⅴ区：印刷烧结区

（试行本）

生产部 2008年4月15日

中轻太阳能电池有限责任公司

Chinalight Solar Co., Ltd.

1. 印刷线安全生产操作规程 .............................................................................. 1 1.1 设备开机 ..................................................................................................... 1 1.2 设备关机 ..................................................................................................... 2 1.3 操作注意事项 ................................................................................................ 3 1.4 常见问题处理 ................................................................................................ 5 2. 工位安全生产操作手册 ....................................................................................... 7 2.1 工位1(ITEM 1)：1号印刷机，背电极印刷 ............................................. 7 2.1.1 具体工作及要求 ................................................................................ 7 2.1.2 记录印刷参数 .................................................................................... 9 2.1.3 碎片登记 .......................................................................................... 10 2.1.4 常见问题 .......................................................................................... 10 2.2 工位2(ITEM 2)：2号印刷机，背电场印刷 ........................................... 11 2.2.1 具体工作及要求 .............................................................................. 11 2.2.2 记录印刷参数 .................................................................................. 12 2.2.3 碎片登记 .......................................................................................... 12 2.2.4 常见问题： ...................................................................................... 12 2.3 工位3(ITEM 3)：3号印刷机，正电极印刷 ........................................... 14 2.3.1 具体工作及要求 .............................................................................. 14 2.3.2 记录印刷参数 .................................................................................. 15

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2.3.3 碎片登记 .......................................................................................... 15 2.3.4 常见问题： ...................................................................................... 15 2.4 工位4(ITEM 4)：检测分选设备............................................................... 17 2.4.1 开机 .................................................................................................. 17 2.4.2 关机 .................................................................................................. 18 2.4.3 探针更换 .......................................................................................... 19 2.4.4 改换工装 .......................................................................................... 19 2.4.5 BERGER测试校准程序 ..................................................................... 20 2.4.6 BERGER校正的验证 ......................................................................... 21 3. Despatch烧结炉安全生产操作手册 ............................................................... 22 3.1 开机 .............................................................................................................. 22 3.2 关机 .............................................................................................................. 23 3.3 注意事项 ...................................................................................................... 23

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Ⅴ区：丝网印刷烧结区

安全操作规程

本区的主要工艺是印刷背银电极、背铝场、正银电极、烧结以及电池的检测分选，所用设备为意大利Baccini公司的印刷线、美国Despatch公司的烧结炉、德国Berger公司的检测系统。

1. 印刷线安全生产操作规程

1.1 设备开机

1) 检查机器的动力供应、电气、压缩空气、真空、排风是否处于正常状态（开关阀门及仪表位于设备后部上方，工作人员可以从仪表的读数判断电气供应是否处于正常状态）。操作人员检查是否达到要求。

2) 打开真空和压缩空气阀门。

3) 拨动电源开关于通电状态，“Activated Voltage”灯亮，显示电源接通。 4) 通电后需一段时间启动电脑程序，之后拔出机器红色紧急停止按钮。

图1: 电源开关

图2：紧急按钮界面

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5) 待机器报警后按动“Auxiliaries starting”按钮，启动丝网印刷机应用软件。

6) 按下“ALARM RESET”按钮消除报警。

7) 按下“CYCLE RESET”按钮(显示器右边）复位，显示屏给出复位提示窗口，点击“OK”机器进行自动复位，烘干炉在复位过程中会出现警告窗口，观察烘箱内是否有硅片，确定无时点击“NO”键，否则点击“YES”键. 复位完成后该按键不再闪烁。

8) 复位顺序依次为，印刷机、烘干炉、缓冲buffer。（缓冲buffer在印刷机复位完成之后才可进行复位）。

9) 复位完成后，“Cycle start”(绿灯）闪烁，按此键设备将运行。

1.2 设备关机

1) 按“Cycle stop”按钮停止印刷机工作。

2) 首先卸下返料刮刀Flood及印刷刮刀（以后返料刮刀Flood简称Flood、印刷刮刀简称刮刀）。

3) 按F4解除丝网锁定，卸下丝网。

4) 把卸下的网板以及刮刀、Flood放臵在操作台上，把浆料铲净放入浆料桶

内（切忌引入其它杂质污染浆料），并用沾有酒精的无尘纸或无尘布将网板清洗干净，擦洗后的无尘纸或无尘布一定特殊放臵，沾有Al的无尘纸或无尘布可以放入绿色不可回收垃圾桶内，由保洁人员定期清理；而沾有Ag、Ag/Al的无尘纸或无尘布必须放入特定的蓝色可回收垃圾桶内。

5) 将可用的网板安装上（按F4）锁定；

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6) 维护机器。清理机身上沾有的浆料、碎片、擦拭操作台。打扫工作区域

环境卫生。

7) 保存当天的印刷参数；

8) 将机器从自动模式转换成手动模式；

9) 首先按下急停按钮，然后关闭主电源；最后关闭压缩空气和真空的气阀。

1.3 操作注意事项

1) 各印刷机的台面都要严格保持平整清洁，以及硅片表面整洁； 2) 周期性碎片：多为台面不平造成，严重时可造成数十片连碎，须加以重视。印刷发生碎片时，要及时清理与检查必要时更换台纸，务必确保台面平整清洁;

3) 从印刷机上取下或更换任何零件时，应立即擦拭干净；

4) 漏浆：操作员要时常检查丝网是否破损，尤其要避免发生在片子边缘的漏浆情况。（Item2印刷机Al浆印刷尤其重要） 5) 经常更换印刷机台面的纸张，保持干净整洁。

图3: 更换台纸1 图4：更换台纸2

6) Item1印刷机印刷后的硅片，检查图形是否居中、完整、表面光滑度、平

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整度。进入1号烘干炉内注意机械手夹碎硅片境况。

7) Item2印刷机硅片从烘干炉内出来后，注意校准夹有无夹碎硅片，印刷时注意碎片，进入2号烘干炉内注意机械手夹碎硅片情况。 8) Item3号印刷机，硅片从烘干炉内出来翻面的时是否碎片。 9) 各印刷机务必记录好破损原因、数量、破损位臵。

10)开机后，在各印刷台上贴好尺寸合适并已打孔的台纸；用搅拌机将浆料搅拌均匀； 11)浆料的稀稠度可以随着印刷称重做适当的调整，例如：发现P125硅片Al浆印刷的重量达不到1g，离网很高、速度很快、压力很小时，可以将浆料搅拌稠点。（浆料过稠、过稀都可能减少印刷的重量）

12)浆料在搅拌过程中，尽量用隔板把浆料桶封闭，以防有机溶剂挥发，对人体产生不良反应。

13)按工艺参数规范设臵印刷速度、返料速度、丝网离网高度、印刷压力和烘干温度及时间（由工艺员操作）；

14)经常性的检查台纸是否清洁、平整、有无碎片落在印刷台上。 15)长时间停机后，第一次印刷前先用B5纸试印，防止丝网孔有堵塞。纸上的图案完整则可以印刷硅片，否则用网板除塞剂擦洗丝网，再用纸试印。 16)印刷过程中每隔3分钟擦拭硅片边缘，检查丝网边缘是否漏浆。（单晶125硅片检查的频率要每个2分钟检查一次）。

17)台纸应保持平整清洁，发现有褶皱污染时需更换新纸。更换台纸操作规程如下：

a) 点击“Cycle stop”撕下旧的台纸用无尘纸沾酒精擦净台面 b) 点击“paper change”,换上新台纸

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c) 选择6-Utilities -> 64-ManualCommands -> 15-18（TABLE POSITION 1-4 VACUUM）

d) 选择对应的台面号码后，用按钮“JOG+”（开启该台面的真空） e) 用胶布贴好(胶带粘在台纸上约2mm左右),粘贴位臵为台纸的左右两边以及最下边(靠近人身体的一边)，应注意台纸和胶带粘贴的位臵在印刷时不应碰到硅片。

f) 点击“paper change”以及“Cycle start”开始运行机器更换下一台面的台纸（注：印刷机换完台纸后，一定用无尘布擦拭丝网渗出的浆料）。 18)交接班时，上一班次的人员需待下一班次的工作人员到岗时才能下线，下一班次的人员需提前到岗。两班人员换岗后，由上一班次的设备负责人统计丝网印刷数量、碎片等，作好记录交于负责人。

19)硅片统计交接完毕后，上一班次的人员应对设备及周围环境进行清洁。 20)在线人员在交接完毕后，经负责人同意方可离岗。

21)通风橱门除需去浆料等必要操作时打开外，应尽量保持关闭状态。

1.4 常见问题处理

1) 碎片：最常见的问题。多出现在load buffer、校准夹、各印刷机台面、

unload buffer、flip-over等处，应及时清理。整条线上都要注意碎片清理，以保持生产流畅。降低碎片率及网板损毁率；处理方法：点击“cycle stop”确认机器停止后，按钮清理各处碎片，清理干净后点击“cycle start”按钮，开始生产。

2) 粘片：多发生在Item2,Item3。拿走load walking beam将要放下的片子，

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打开21-cycle菜单，取消Enable Printing，确定后按“cycle start”按钮，片子放下时会出现报警。窗口弹出提示框点击Retry，空的印刷台将转动到丝网下时，按“cycle stop”按钮，重新选中Enable Printing，确定后，按start开始。125的硅片出现粘片的现象与处理156的片子方法不同: 打开21-cycle菜单取消Enable printing 、Enable Wafer Alignment 、Check Breakage Before、Check Breakage After.确定后按“cycle start”按钮，空的印刷台转到丝网下时，按“cycle stop”按钮重新选中被取消的选项确定后按“cycle start”按钮印刷。（片子粘的过紧时有可能印不下来此方法将不再适用。在网板下垫张纸，用铲刀以小角度沿网板底部将粘上的片子铲下，清理后继续工作;发生频繁粘片时，先检查浆料是否过稠，若正常，则须改相关工艺参数以解决（注：此过程需要征求班组长或相关授权工艺人员同意后才可执行）；

3) 印刷偏移：换上新网板时，通常都会发生印刷偏移。因此应先用试印片

试印，调整好后再生产。有时在生产中会发生某一个台面上印刷的图案偏移，而其他台面正常，一般是由于该台面台纸被污染。所以必须保证台面的整洁性；

4) 印刷不全：尽量避免其发生率。随时观察浆料是否足够，图形是否完整。

发生印刷不全时；

a) 背电极不完整：直接重印或将浆料用无尘布擦掉重印

b) 背电场不完整：若不严重直接重印；若浆料印到片子边缘必须用无尘布擦掉重印；

c)正面电极不完整：尽量避免重印，但非常严重时可考虑擦掉重印。 5) 停机时间较长时，Item2浆料稀，应将网板下漏出的浆料铲掉。并用无尘布清洁网板底部，Item3，浆料易干，应用无尘布沾网板除塞剂擦拭网板底部。

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2. 工位安全生产操作手册

2.1 工位1(ITEM 1)：1号印刷机，背电极印刷

2.1.1 具体工作及要求

1) 接收IV区（PECVD区）的来片用手推车领取（车上最多放两层）。对硅片进行初步检查时，必须戴好PVC手套。确认无明显水痕，手印，裂痕，并且镀膜基本均匀，然后进行接收，填写接收单，并确认工艺流程卡数量。

2) 上料前检查硅片的挂点是否在同一个方向。蓝色SiN膜朝下放入硅片盒，硅片挂点方向与片盒标志相对应。上料时两手拖住片盒轻缓的放在上料传送带上（离边缘至少5cm以上）在每一批规定数量的硅片之间加放隔片以便区分批次。参考图如：

图5：上料检查挂点图6：上料盒方向确定

3) 拿取浆料时，首先将浆料搅拌机停止，将搅拌臂上移，用铲刀将浆料臂

上的浆料清理干净。参考图如：

图7：浆料搅拌机开关调节图8：清理搅拌机上的浆料

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4) 添加浆料时用左手握住浆料桶缓慢倾斜倒入丝网上，一次不要加得太多（浆料覆盖丝网图形为宜）。注意浆料不要粘到、印刷头、印刷台、手上等。用完的空桶要用铲子将桶壁上的残余浆料铲干净。

图9：添加浆料图10：酱料覆盖丝网

5) 浆料印刷量称重：，首先在印刷前拿下一片，放在电子秤上按下“去皮”键，然后放回原处进行印刷后将其从传送带上取下放在电子秤上称量读数，并记录数据。最后要将硅片放回传送带上，熟练的人员可以在线操作，对于新员工需要停机。

图11：停机图12：电子天平称重

6) 在PECVD镀膜后正确印刷背电极，背电极印刷要求：

a) 银浆（背银）印刷工序中，印刷图案位臵偏差不超过0.2mm。 b) 图形完整，边缘清晰，浆料连续，无间断现象。 c) 印刷完毕后应该使电极和PECVD卡痕位臵一致。

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d) 电池边缘不可以沾有浆料。

7) 当丝网印刷数量达到使用寿命或丝网意外破损时。即时取下旧的丝网换上备好的网板。重新调整好各项印刷参数。将旧网板中的剩余浆料铲回浆料桶中搅拌。如是碎片扎网，先检查网内浆料是否有碎片，如有将浆料放如空桶后待清理干净后再用。将旧网板卸下清洗干净放到指定位臵，网板框擦洗干净后装好新的备用网板。具体操作方法为：

a) 按“Cycle stop”按钮停止印刷机工作。

b) 首先预放一张纸在操作平台上，然后卸下返料刮刀Flood及印刷刮刀（以后返料刮刀Flood简称Flood、印刷刮刀简称刮刀）放在纸上。

c) 按F4解除丝网锁定，卸下丝网。

d) 把卸下的网板放臵在操作桌上，把浆料铲净放入浆料桶内（切忌不可引入其它杂质污染浆料），并用沾有酒精的无尘纸或无尘布将之清洗干净，擦洗后的无尘纸或无尘布一定特殊放臵。

8) 将备用的网板安装上（按F4）锁定，然后安装刮刀和Flood。 9) 用试用片将图形校准到适当位臵。丝网校准操作方法如下：

选用与当前生产一样尺寸的试用硅片(轻微破损并保证印刷机检测破损时不报警即可)进行单张印刷，印刷后根据图形的偏差调整X轴、Y轴、Theta角的误差，根据印刷台上的标志方向，进行正负值的加减进行调整，保证印刷图形处于硅片的正中央，四个边距相同，并且没有角度的偏差。

2.1.2 记录印刷参数

丝网号，浆料厂商型号，烘干温度，离网高度，印刷压力，印刷速度，丝网

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误差X,Y,Theta值。每次更换丝、网浆料则需要重新记录。此记录应与硅片批次对应。更换丝网时(如丝网还可再利用)应在丝网上贴标签注明误差值和已印硅片数量。

2.1.3 碎片登记

1) 详细登记碎片数量，重印数量，并在每批硅片结束时读取机器纪录印刷数量，务必达到精确，并及时与Item2印刷机操作人员进行核对。

2) 当天碎片单独放臵，并在一天结束后，分类放入专门的存放碎片的盒子中，登记入库。每批次的硅片碎片应放入不同的盒子中，并注明批号，方便入库。

2.1.4 常见问题

1) 硅片镀膜不均匀时，如何处理？

-->>继续印刷，并告知当班主管和IV区负责人相关情况，请其尽快解决。 2) 如需要长时间停止印刷，应如何放臵剩下的浆料？

-->>整桶的入库，半桶的，则将其放入规定的柜子里，并贴上标签，写明背银，厂商，型号。

3) 搅拌时间多长为宜？

-->>10-20分钟即可，可看出浆料呈明显的流动状即可，印刷过程中，要持续搅拌浆料，速度不宜太快。适中即可。

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2.2 工位2(ITEM 2)：2号印刷机，背电场印刷

2.2.1 具体工作及要求

1) 见到隔片后，电脑印刷数量清零，记录上一个参数，与1号印刷机提供的数量进行比较，确认无误后，将流程单转交3号印刷机操作人员。 2) 拿取浆料时，首先将浆料搅拌机停止，将搅拌臂上移，用铲刀将浆料臂上的浆料清理干净。

3) 添加浆料时用左手握住浆料桶缓慢倾斜倒入丝网上，一次不要加得太多

（浆料覆盖丝网图形为宜）。

4) 测量称重时，首先在印刷前拿下一片，放在电子秤上归零，然后放回原处进行印刷后将其放在电子秤上读数，并记录数据。最后要将硅片放回传送带上，熟练得人员可以在线操作，对于新员工需要停机。

5) 当丝网印刷数量达到使用寿命或丝网意外破损时。即时取下旧的丝网换上备好的网板。重新调整好各项一刷参数。将旧网板中的剩余浆料铲回浆料桶中搅拌。将旧网板卸下清洗干净放到指定位臵，网板框擦洗干净后装好新的备用网板。具体操作方法见上一节“2.1.1 具体工作及要求”。 6) 背电场印刷要求：

a) 背场图案对硅片边缘的距离四边应该相等，位臵居中，图形完整，均匀连续。

b) 铝浆均匀覆盖，做到平坦光滑，无漏浆点，无麻点。

c) 背铝窗口要覆盖套准背电极，铝浆图形到硅片边缘的位移偏差小于0.5mm，角度偏差小于0.5°

d) 铝浆不能沾到硅片正面、边缘、背电极上。

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e) 铝浆不能重印，防止铝浆过厚硅片弯曲，如因生产必要则需把重印片擦干重新印刷一次。

f) 严格控制铝浆印刷重量，否则会导致电池片的不合格片的增加和破碎数量的增加。

2.2.2 记录印刷参数

丝网号，浆料厂商型号，烘干温度，离网距离，印刷压力，印刷速度，丝网误差X,Y,Theta值。每次更换丝、网浆料则需要重新记录。此记录应与硅片批次对应。更换丝网时(如丝网还可再利用)应在丝网上贴标签注明误差值和已印硅片数量。

2.2.3 碎片登记

1) 详细登记碎片数量，重印数量，并在每批硅片结束时读取机器纪录印刷数量，务必达到精确，并及时与Item3印刷机操作人员进行核对。

2) 当天碎片单独放臵，并在一天结束后，分类放入专门的存放碎片的盒子中，以便回收利用。每批次的硅片碎片应放入不同的盒子中，并注明批号，方便回收。

2.2.4 常见问题：

1) 如需要长时间停止印刷，应如何放臵剩下的浆料？

-->>整桶的入库，半桶的，则将其放入规定的柜子里，并贴上标签，写明厂商，型号。

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2) 搅拌时间多长为宜？

-->>30分钟左右，要使浆料呈明显的流动状，印刷过程中，要持续搅拌浆料，速度不宜太快。适中即可。

3) 背铝场的质量如何精确控制？

-->>背铝场的质量直接影响到最终电池的填充和电压，要精确控制，具体方法是减少印刷压力来增加质量，或加快印刷速度来增加质量，提高离网来增加质量或者三者一起修改，但一定要保证印刷质量，并且离网、印刷压力和速度都不要超过极限值，目前来看，离网不宜低于-1300um，压力不宜低于65，而速度不应超过260。

4) 擦丝网应注意什么？

-->>擦丝网应注意最内侧图形边缘要保持干净，因为不干净的话，残留的浆料会在印刷时沾污到硅片的边缘，直接导致废片，推荐的擦法是从图形外向里擦，或者一个方向擦，并尽量保持用干净的无尘布擦拭边缘。 2.2.5 工作重点：

1.重点关注背电场印刷的印刷重量和印刷质量，二者兼顾。做好自检工作。 2.重点解决电池片半成品的边缘、镀膜面、背电极受铝浆污染的问题。 3.按照工作要求严格背电场印刷的称重操作；据工作台台纸的洁净程度及时更换台纸，确保不被铝浆污染。

4.确定不合格的半成品需要重新经过处理，否则严禁下传下道工序。 5.做好清洁整理工作，因为碎片的不及时清理造成设备不能正常运转的情况存在，做好清理工作来保证设备运行情况良好。

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2.3 工位3(ITEM 3)：3号印刷机，正电极印刷

2.3.1 具体工作及要求

1) 见到隔片后，电脑印刷数量清零，记录上一个参数，与2号印刷机提供的数量进行比较，确认无误后，将流程单转交检测/分档操作人员，并及时将上一批数量记录在电脑中生产日志中。

2) 拿取浆料时，首先将浆料搅拌机停止，将搅拌臂上移，用铲刀将浆料臂上的浆料清理干净。

3) 添加浆料时用左手握住浆料桶缓慢倾斜倒入丝网上，一次不要加得太多

（浆料覆盖丝网图形为宜）。

4) 测量称重时，首先在印刷前拿下一片，放在电子秤上归零，然后放回原处进行印刷后将其放在电子秤上读数，并记录数据。最后要将硅片放回传送带上，熟练的人员可以在线操作，对于新员工需要停机操作。

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5) 当丝网印刷数量达到使用寿命或丝网意外破损时。即时取下旧的丝网换上备好的网板。重新调整好各项印刷参数。将旧网板中的剩余浆料铲回浆料桶中搅拌。将旧网板卸下清洗干净放到指定位臵，网板框擦洗干净后装好新的备用网板。具体操作方法见本章第一节“2.1.1具体工作及要求”。 6) 正电极印刷要求：

a) 图案对硅片边缘的距离四边应该相等

b) 主栅线清晰完整，均匀连续，平整无漏印。细栅线清晰连续，无断栅，无漏印，不能存在漏浆现象。

c) 重印注意放臵硅片与前次印刷位臵一样。 2.3.2 记录印刷参数

2.3.3 碎片登记

1) 详细登记碎片数量，重印数量，并在每批硅片结束时读取机器纪录印刷数量，务必达到精确，并及时与Item2印刷机操作人员进行核对。

2.3.4 常见问题：

1) 如需要长时间停止印刷，应如何放臵剩下的浆料？

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-->>整桶的入库，半桶的，则将其放入规定的柜子里，并贴上标签，写明厂商，型号。

2) 搅拌时间多长为宜？

-->>30分钟左右，要使浆料程明显的流动状，印刷过程中，要持续搅拌浆料，速度不宜太快。适中即可。

3) 背铝场的质量如何精确控制？

4) 擦丝网应注意什么？

1.重点关注正面电极印刷的印刷重量和印刷质量，二者兼顾。做好自检工作。 2.按照工作要求严格正面电极印刷的称重操作并做好相关记录。 3.确定不合格的半成品需要重新经过处理，否则严禁下传下道工序。 4.做好清洁整理工作，因为碎片的不及时清理造成设备不能正常运转的情况存在，做好清理工作来保证设备运行情况良好。

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2.4 工位4(ITEM 4)：检测分选设备

2.4.1 开机

1) 打开机器上方真空和压缩空气主阀门；

2) 打开电源主开关，“Activated Voitage”黄灯亮，表示电源已接通； 3) 拔出急停按钮，等待主机启动；

4) 打开Berger系统的电源：拔出红色按钮，按下绿色按钮启动，待充电完毕后发出“嘀”的一生响声后，按“Test”键测试模拟光源是否工作正常； 5) 打开设备内部两个测试装臵的绿色开关，打开后开关内的绿灯亮起； 6) 启动测试用电脑，打开文件“SCLoad_STD”，进入测试画面；

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7) 待主机启动完成并自动加载控制程序完成后，按设备上的“Auxiliaries Starting”绿色按钮；

8) 把卸载和检测两部分的模式选择旋钮都旋转到“Auto”模式，此时两部分的“Cycle Reset”按钮都开始闪烁；

9) 确认所有安全门都已关闭，卸载和分拣部分的保护光幕没有被阻挡，卸载部分的两个Buffer在正确的位臵上，分拣台上所有泡沫盒都在正确位臵上； 10)分别按下“Cycle Reset”键，设备进入复位状态；

11)对Berger系统进行校准，校准方法详见5.4.5 《Berger测试校准程序》； 12)在Berger电脑程序界面中按下红色三角箭头，设臵好各项选项，点击“OK”，Berger系统进入工作状态；

13)复位完成后，设备上两个“Cycle Start”按钮开始闪烁，分别按下“Cycle Start”按钮，设备进入工作状态。

2.4.2 关机

1) 待设备传送带上所有电池都进入分类盒后，分别按“Cycle Stop”按钮，设备停止运行；

2) 保存好测试用电脑中的所有文件、关闭所有应用程序后关闭电脑主机； 3) 关闭设备内部两个测试装臵开关，按下Berger系统电源上的红色按钮关闭测试电源；

4) 在设备主机界面点击保存按钮，确定屏幕上显示“Data Saved”后，将设备上的模式选择旋钮旋转至“Manual”模式；

5) 按下急停按钮，关闭主电源，关闭主压缩空气和真空阀门，待主机界面

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完全关闭方可离开。

2.4.3 探针更换

探针的使用寿命为10万-11万次，即如当班生产结束时，探针使用次数超过10万则需更换探针，更换探针需在两班次交接班时由两班人员共同完成。具体更换过程为：

1) 拆下固定上面探针的架子，拔出上面所有探针； 2) 拆掉下面探针的两侧的盖子，拔出下面所有探针；

3) 选择同样型号的新探针，将新探针逐一插入探针套筒，注意必须保证每一根探针的后端完全进入套筒； 4) 安装好下盖和上架；

5) 整个更换过程必须戴PVC手套，不得用手直接接触探针，安装探针过程要保证用力恰当，不能将探针弄弯。 2.4.4 改换工装

1) 传送带的尺寸改变同Item1、2、3，将每一段传送带上的螺丝松动后，移动传送带上的钢条到标有所需尺寸记号的位臵，在用相同尺寸硅片放在传送带上测试间距(须比硅片尺寸宽1-2mm)，确认后上好螺丝。

2) 拆下探针上架和下盖，拆下探针套筒固定架，将其放入相应的位臵：生产125电池放内侧，生产156电池放外侧；

3) 安装好套筒固定架、上架和下盖，注意整个过程不要将螺丝掉入测试位臵内部。过程中应将上下两侧探针全部取下。

4) 在主机上加载对应的文件：生产多晶125电池为“P125”，生产单晶125

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电池为“M125”，生产多晶156电池为“P156”；

5) 把卸载和检测两部分的模式选择旋钮都先旋转到“Manual”再旋转到“Auto”模式，此时两部分的“Cycle Reset”按钮都开始闪烁；

6) 确认所有安全门都已关闭，卸载和分拣部分的保护光幕没有被阻挡，卸载部分的两个Buffer在正确的位臵上，分拣台上所有泡沫盒都在正确位臵上； 7) 分别按下“Cycle Reset”键，设备进入复位状态； 8) 复位完成后即可开始工作。

2.4.5 BERGER测试校准程序校正步骤如下：

1) 用无尘不沾酒精简探针头擦拭干净。

2) 将一片标准电池放在探针下，手动模式闭合探针，检查探针压线的位臵是否居中。

3) 更改操作权限，在“Operating Mode”菜单中选择“Manager”选项。 4) 测试：从菜单选择”Monitor Cell(参考电池)”，在弹出的对话框中点击“OK”，然后手动闭合探针，点击红色按钮，将COMMET名改为“CALIB”，开始测试；(注：绿色按钮，测试结果不会存储到数据库黄色按钮，测试结果会自动存储到数据库中。)

5) “Measurement -> Edit Monitor Cells”，选择用作测试的一项（P156，P125，or M125），点击Edit (编辑)和Calibrate（校准）,输入标准电池的数据，在Isc及Pmax两种选项中，一般选择Isc进行校准。 6) 测试后，检查测得值是否正确必须注意以下值：

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a) 测得校准电池的Isc和Pmax应该非常接近标定值，相应值的误差：±1%，如果超出范围，检查探针接触

b) E：辐照度应在950-1050W/㎡，如果超出这个范围，需调整氙灯脉冲发生器并完成一新测试，最后需进行重新校准（返回步骤3）

c) Uoc:( ±0.5%)，如果超出范围，检查温度，温度修正因子（在“Cell Type”），接触探针，辐照度

d) FF与Eff与参考片数值过大时，应考虑更换标准片。

2.4.6 BERGER校正的验证

系统的校正需定期验证。通常一班一次（交接班时进行较准），停机时间过长时，环境温度与上次较准时相差过大时也需要在此校正。 1) 如果出现偏差，需要找出原因。 2) 如果出现异常，通常的原因：

a) 参考电池上的碎硅片或灰尘。（清理碎片，并用无尘布将系统和参考电池擦干净后再次测试。）

b) 不好的接触探针，探针套。(更换探针，或找设备人员帮助更换探针套。)

c) 氙灯或设备本身出现故障。（找设备人员寻求帮助。）