三丰三坐标(CMM)错误代码表内容（中文） - 图文

2002.12.25 错误代码表 CMMC-1、1S、3、3S、5、6 UC100、200、300 错误关联信息

用户自定义错误 信息编号 Cd-P Cd-E Cd-C Cd-U Cd-G Cd-A 伺服调整模式 DIP SW补正的设置内容与用户自定义R(1)DIP SW设置错误 OM中的补正数据类型不一致 (2)补正数据录入错误 (3)用户自定义ROM异常 ※非错误 用户自定义ROM的版本不相符 用户自定义ROM异常 CMM未连接 (限制开关全部关闭) 没有连接CMM 存在用户自定义ROM校验和错误 用户自定义ROM异常 内容 数据无法写入用户自定义ROM中 原因 用户自定义ROM异常 UC100错误关联信息

１．用户自定义 错误

发生用户自定义错误，UC100面板上的LED指示灯将显示P、E、C、U或是A。同时，J/S BOX的START指示灯闪烁。 信息编号 P E C U A 伺服调整模式 用户自定义ROM的版本不相符 用户自定义ROM异常 ※非错误 CMM未连接 (限制开关全部关闭) 没有连接CMM 存在用户自定义ROM校验和错误 用户自定义ROM异常 内容 数据无法写入用户自定义ROM 原因 用户自定义ROM异常

2.其它错误

J/S BOX的R.STOP指示灯闪烁。 错误排除后，指示灯熄灭。

3.状态指示灯LED(数据处理装置 通信电路板内) 正常状态 ----- 绿LED指示灯点亮 错误状态 ----- 绿LED指示灯熄灭

4.接触信号测头与工件接触，或是没有正常恢复时J/S BOX的TS的指示灯闪烁。

5.UC100错误发生时在MAIN100的电路板上仅显示错误码的后一位。

术语解释 1)ADC ―――――― 模/数转换器 2) RT ―――――― 转台 3) DPRAM ―――― 双端口RAM 4) IE命令 ―――― 立即执行命令 5) S/B单元 ――― 信号发声器单元 6) J/S ―――――― 操纵杆 7) 特 ―――――― 有关订制品 8) CMMC ―――――― CNC三坐标测量机用控制装置 9) IT ――――――― 索引表 错误编号意义 E000类 －－－－－－ Reserved E100类 －－－－－－ 通信相关 E200类 －－－－－－ 订制品(其它) Recoverable error E300类 －－－－－－ 标准/扫描(其它) E400类 －－－－－－ 标准(其它) E500类 －－－－－－ 标准(其它) Unrecoverable error E600类 －－－－－－ 初始化(其它) E700类 －－－－－－ 通信(其它) E800类 －－－－－－ 标准(其它) Fatal error E900类 －－－－－－ 标准(其它)

#100 REC ERROR 编号 内容 原因 (1)通信线路中有杂波影响。 解决方法 请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 E100 GPIB校验和错误 在数据处理装置和控制器(2)通信CPU或电路板故障。 件的通信发生校验和错误。 (3)通信接口接触不良。 (1)通信线路中有杂波影响。 E101 GPIB格式错误 控制器从数据处理装置接(2)通信CPU或电路板故障。 收数据时，接收了数目不正(3)通信接口接触不良。 确的数据。 E102 命令错误 受了无法执行的命令。 E103 GPIB接收超时错误 (1)通信线路中有杂波影响。 (3)通信接口接触不良。 请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 控制器从数据处理装置接(2)电路板故障。 (1)在通信中关闭数据处理装置的请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支控制器在从数据处理装置电源。 误。 1秒) 未打开。 (4)通信CPU或电路板故障。 (5)通信线路中有杂波影响。 接收数据时发生了超时错(2)用GPIB连接的周边设备电源 持部门。 (数据间的超时时间大约为(3)通信接口接触不良。 E104 GPIB接收缓冲区溢出错误 (1)通信线路中有杂波影响。 控制器从数据处理装置接(2)通信CPU或电路板故障。 收数据时发现了定界符(终(3)通信接口接触不良。 止码)。 E105 发生不明GPIB插入。 部关闭) 请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 (1)通信CPU 的GPIB LSI 故请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 (2)通信CPU或电路板故障。 (GPIB LSI的插入状态全障。

编号 内容 原因 解决方法 E106 GPIB发送超时错误 (1)在通信中关闭数据处理装置的请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支控制器在向数据处理装置电源。 误。 1秒) 未打开。 (4)通信CPU或电路板故障。 (5)通信线路中有杂波影响。 发送数据时发生了超时错(2)用GPIB连接的周边设备电源持部门。 (数据间的超时时间大约为(3)通信接口接触不良。 E107 GPIB通信错误 存在。 (1)在通信中关闭数据处理装置的请重新连接通信电缆。 若经常发生请联系本公司技术支(2)用GPIB连接的周边设备电源持部门。 未打开。 (3)通信接口接触不良。 (4)通信CPU或电路板故障。 (5)通信线路中有杂波影响。 接收设备在GPIB总线上不电源。 E108 GPIB数据不相关 收的命令内的数据不合适。 (1)通信CPU的内存故障。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 控制器从数据处理装置接(2)控制器电路板故障。 E120 控制器初始化(ABS)时从数数据处理装置的处理异常。 据处理装置接受了无法执行的命令。 (初始化时有无法执行的命令) E121 命令队列缓冲区溢出错误 (1)数据处理装置异常。 从数据处理装置发出的命(2)控制器电路板异常。 令超出命令队列缓冲区的容量。 各控制器的命令缓冲区的容量不同。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 编号 内容 原因 解决方法 E122 数据缓冲区的溢出错误 冲区溢出。 各控制器输出数据用的缓冲区的容量不同。 E140 模式错误 不处于CNC扫描模式(FC60H)时接受了FC6AH、FC6BH、6FH命令。 E141 模式错误 不处于模式(FC70H)时接受了FC7BH命令。 数据处理装置的数据接受处理延若经常发生请联系本公司技术支持部门。 控制器内输出数据用的缓迟。 数据处理装置的命令错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 数据处理装置的命令错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 E142 GPIB数据缓冲区的溢出错数据处理装置的数据混合发生延若经常发生请联系本公司技术支误 在CNC扫描时通信CPU的测量数据缓冲区发生溢出。 E182 手动扫描、OP5测量中通数据处理装置的数据读取发生延若经常发生请联系本公司技术支信CPU的测量数据缓冲区迟。 溢出

#200 REC ERROR 编号 E232 模式错误 特 安装OP5的情况下无法执行的命令(MPP扫描等)。 E233 参数异常 特 从数据处理装置接受的OP5命令参数在参数范围外。 E234 OP5系统错误 特 OP5系统发生错误。 请确认OP5系统错误的原因。 请确认OP5系统错误的原因。 参数设置错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 内容 原因 (1)Geopak异常。 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 持部门。 迟。 持部门。 从数据处理装置接受了在(2)Geopak没有响应OP5。 在使用OTM激光测距仪的(1)激光测距仪故障 系统中，激光位移的变换没(2)激光测距仪的控制器故障 有在指定时间内完成时发生该错误。 E235 在OP5静止测量中，由于测量位置设置错误。 特 特 超出测量范围而无法测量。 因为超出测量范围而发送(2)OP5 激光路径无法保证 了 INVALID DATA。 E237 向不能使用OP5的系统传数据处理装置的命令错误。 特 送OP5用的命令。 E238 OP5未安装的情况下发送数据处理装置的命令错误。 特。 通过OP5进行测量的命令。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 请确认测量范围。 E236在OP5扫描测量中，可能(1)测量工件有5mm以上段差。 请确认工件的形状。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 请确认对方CMM发生的错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 数据处理装置发送数据处理装置的命令错误。 E240 双系统：特 双系统上无法使用的命令。 对方的CMM发生对方的CMM发生错误。 E241 双系统：特。 错误。 数据处理装置设置数据处理装置的命令错误。 E242 双系统：特 的探针(±XYZ)的长度长于干涉轴(Y)的半长时发生该错误。 由于测头长度改变(1)数据处理装置的命令错误。 E243 双系统：的干涉测头处于干涉状态。 的测头。 E250 数据处理装置向控制器一数据处理装置的命令错误。 特 次发送的公称值数据数量在范围之外(11以上)时发生该错误。 E251 数据处理装置向控制器发数据处理装置的命令错误。 特。 送的公称值数据的总数超过1000点时发生该错误。 E252 用数据处理装置向控制器数据处理装置的命令错误。 特。 发送的公称值数据，导致相邻两点的公称值数据距离小于100mm时发生该错误。 E253 公称值扫描命令的MEAS数据处理装置的命令错误。 特 URING RADIUS值在范围之外。 允许范围。 (10mm≦R≦1000mm)。 (1)请勿在将要干涉的位置更换更(2)若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 特。 为异常长度，与对方CMM(2)在将要干涉的位置更换更长长的测头。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 编号 内容 原因 解决方法 请确认数据处理装置的命令处理。 (请将MOVING WIDTH值设为允许值) E254 由公称值指定的扫描命令数据处理装置的命令错误。 特 的MOVINGWIDTH值在范围之外 允许范围 (10mm≦W≦2000mm) E255 由公称值指定的扫描命令数据处理装置的命令错误。 特 的MEASURING SPEED值在范围之外， 允许范围 (1.0m/s≦V≦10.0m/s) E256 由公称值指定的扫描命令数据处理装置的命令错误。 特。 的MOVING SPEED值在范围之外。 允许范围 (1.0m/s≦V≦25.0m/s) E257 由公称值指定的扫描命令数据处理装置的命令错误。 特。 的PROBE DISPLACEMENT值在范围之外。 允许范围。 (0.25mm≦D≦1.0mm) 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 E258 公称值指定的扫描命令使(1)数据处理装置的数据读取速(1)请提高数据处理装置的数据读特。 用于输出结果的DPRAM度缓慢时。 数据区充满。 (2)扫描速度过快时。 (3)公称值数据的间隔过小时。 取速度。。 (2)请降低扫描速度。 (3)请扩大公称值数据间隔。

内容 原因 E260 WIZProbe上执行点测量数据处理装置的命令错误。 时在测量位置没有被测件 编号 解决方法 (1)请将测量点设置在激光测量范围内的位置。 (2)若经常发生请联系本公司技术支持部门。 E261 未安装WIZProbe时发送(1)数据处理装置异常 WIZProbe用的测量命令 (2)控制器异常 E262 WIZProbe 上执行点测量PICS电缆接触不良、断线 时在测量位置移动无SYNC信号 用Metris 测头扫描测量时无SYNC信号 E263 数据处理装置发送无效测(1)数据处理装置异常 头ID (2)控制器异常 E264 WIZProbe的位移量未发(1)电缆接触不良、断线 送 (2)数据处理装置的设置错误 E266 用户自定义ROM中未进用户自定义ROM设置错误 行用于WIZProbe的设置 (NanoMaster1600) (1) Muchecker没未连接 E270 Muchecker未连接 (2) Muchecker未接通电源 (3) 电缆未连接 (4) 电缆接触不良 E271 (NanoMaster1600) FCE3H的Measure Pitch不正确 (1) 数据处理装置的命令错误 (2) 间距过细 请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 请联系本公司技术支持部门 (1)连接Muchecke。 (2)接通Muchecker电源。 (3)连接电缆。 (4)确认电缆的接触。 (1)若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)扩大间距 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支E281 QVP的自动对焦SPEED数据处理装置的命令错误。 范围之外。 允许范围 1≦V≦设备最高速度/10 E282 (1)用户自定义ROM中设(1)用户自定义数据设置错误 置的QVP自动对焦定位幅(2)数据处理装置的命令错误 度超出允许范围。 (2)数据处理装置发送的QVP自动对焦定位幅度设置命令(FCDEH)的值超出允许范围。 允许范围 1≦W≦255 E290 不可使用控制外部设备的数据处理装置的命令错误 特 Auxiliary Unit命令(FCE0H)的系统接受了数据处理装置的该条命令 E291 数据处理装置发送的Auxili数据处理装置的命令错误 特 ary Unit命令的Unit No.不正确 围之外 (FC2CH)的设置值在允许发送的测量速度值在前述允许范持部门 若发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (1) ATC盖板开关系统异常 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E292 数据处理装置发送的Auxili数据处理装置的命令错误 特 ary Unit命令的Command No.不正确 E293 ATC 盖板错误 特 未完全关闭 E294 Master Ball盖板错误 特 完全关闭 特 区外发出命令 ATC自动交换后ATC盖板(2) 盖板开关传感器异常 (1) Master Ball盖板开关系统异若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2) 盖板开关传感器异常 行许可区时，只可在该区域内执执行许可区进行回避处理 行该命令 (1) ATC unit开关时请将PH回复Master Ball测量后盖板未常 E295 在Auxiliary Unit命令许可在指定了Auxiliary Unit命令执执行Auxiliary Unit命令前，请在E296 ATC unit开关时的Probe 数据处理装置的命令错误 特 Head(PH)角度错误 为了防止测头和ATC的干涉，如到指定角度 为了防止测头和ATC的干果指定了ATC unit开关时的PH(2) 请确认光电传感器的光线是否涉，如果不是指定的PH角角度则将通过光电传感器检测是被遮挡 度则进行ATC unit开关动否处于该角度 作 (3) 光电传感器的光线被遮挡而发生错误时，可能是光电传感器的信号线断裂。 出现这种情况请联络我公司技术支持部门

#300 REC ERROR 编号 内容 (1)测头过重 (2)Option B'd不佳 原因 解决方法 (1)请减轻测头重量 (2)若经常发生请联系本公司技术支持部门 E302 不支持手动扫描(FC72H)数据处理装置的命令错误 的三坐标 E305 指示了MPP-10禁止命令 数据处理装置的命令错误 E306 未安装MPP-10的情况下(1) 数据处理装置的命令错误 指示了MPP-10测量命令 (2) MPP-10接触不良 E307 MPP-10命令参数设置错数据处理装置的命令错误 误 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E300 MPP的下限松动 E308 MPP-10的中立异常(发生测头断线、接触不良 1mm以上的移位) E311 RT轴的伺服轨道错误 (1)RT碰到障碍物 RT扫描时实际速度超出(2)RT滑行不良 了控制程序发出的速度命(3)RT轴的马达配线接触不良 令值允许的范围之外时发(4)RT伺服控制电路板接触不良 生该错误 (5)RT伺服控制单元故障 E312 在RT SCANNING REF数据处理装置的命令错误 ERENCE(FC6DH)中发生坐标设置编码异常时发生 坐标设置编码错误 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E313 RT SCANNING(FC6CH) (1)测量触头的公称直径较小也可在下面的条件下将较少发生。 在一类使用RT进行高度能成为发生该错误的原因。 (1)测量触头的公称直径较小。 一定的扫描中，以工件的(2)MPP测头的压入量的设置较――＞4mm以上 法线方向为基准控制RT大也可能成为发生该错误的原因。 (2)MPP测头压入量的设置 的扫描，如果工件的曲率(3)扫描的速度较快。 很大时，扫描无法进行，这时将发生该错误。 ――＞0.5mm以下 (3)扫描速度 ――＞3mm/s以下 编号 内容 原因 解决方法 E314 相对RT轴心T的工件轴心Zw的倾角(Θ2)较大(最大至45请重新设置工件坐标系的第3轴。度)时发生。 Zw T Θ2 Θ2 Yw Xw Z Y X 转台 X,Y,Z ：设备坐标系 Xw,Yw,Zw ：工件坐标系 T ：RT轴心 Θ1 ：在设备坐标系上的RT倾角 Θ2 ：RT轴心与工件坐标系第3轴的倾角 【原因】 RT扫描时，RT旋转轴与工件坐标系第3轴间的倾角超过45度，测量将无法进行。 E315 在RT SCANNING(FC6数据处理装置的命令错误 式设置成NORMAL以外结果数据输出格式只可使用NO的格式。 RMAL。 若经常发生请联系本公司技术支CH)中，结果数据输出格在RT SCANNING(FC6CH)中，持部门

内容 原因 解决方法 E320 检测出SP25的超出故障(1)测头接触工件等，位移量超出 (1)请避免与工件等的接触。 信号(位移量超出)。 (2)DSW2的第5、6号设置错误 (2)若经常发生请联系本公司技术(3)测头或是SP600板故障 扫描数据处理装置的命令错误 E321 (1)在FCC7H命令中，测头校正系数的校正次数不正确 1-3次之外 (2)在FCC7H命令中，一次命令中接受的校正系数多于30个 (3)在FCC7H命令中，指数部分的值在有效范围之外 -37 ≦ 有效值≦38 E322 (1)在FCC7H命令中，校正数据处理装置的命令错误 次数需要的校正系数的个数与实际接受的校正系数个数不一致 (2)在FCC7H命令中，接受的校正系数的总接受个数溢出错误 支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 若经常发生请联系本公司技术支持部门 原因 E330 锁定轴扫描(FC69H)中数据处理装置的命令错误 设置了两个轴以上的轴。 锁定轴只可有一个。 E331 锁定轴扫描(FC69H)或数据处理装置的命令错误 将逼进方向设置为禁止向在±45[度]以下或是135[度]以测量方向。 上时发生该错误。 两轴固定时禁止方向的范围被逻辑求和 60[度]范围内，可以请重新检查工作间的测量位置以E332 锁定轴扫描(FC69H)的3对于锁定轴±轴半径固定扫描中，超过进行扫描。此外的范围将发生错及测头的锁定方法。 了测量允许的范围。 误。 请确认测量移动路径 E333 进行锁定轴扫描中或是(1)MPP测头故障 固定移动中，固定脱落。 (2)锁定轴移动/测量中发生意外接触。 E340 在CNC扫描、手动扫描(1)无法向通信CPU传输测量数(1)请重新检查测量条件，再次测中，控制CPU和通信C据(接收数据而内存中没有空间)量。 PU间的通信生错误。 时发生。 置的扫描间距过小时发生。 (3)数据处理装置的数据接受处理延时。 E341 未安装扫描测头，却接受数据处理装置的命令错误 了有关扫描命令(FC60,62,68,69,6C,63,1B,D2)。 E342 扫描(CNC、手动)结束条(1)CNC扫描中设置的NORMAL若经常发生请联系本公司技术支件(坐标值或是角度)不正 AXIS参数在1到3米之外时发持部门 确 生。 (2)扫描(高度一定时)结束条件的坐标轴和NORMAL AXIS重合时发生。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)请确认数据处理装置是否正在(2)设置的扫描速度过快，或是设进行其它的处理。 编号 内容 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支静止点测量(FC1BH)中相对MPP测头锁定轴的测量方持部门 编号 内容 原因 解决方法 请重新设置允许范围的速度 E343 扫描速度(FC65H)的设数据处理装置的命令错误 置值在允许范围之外。 (1)MPP：0.1mm/s≦V≦15mm/s (2)SP600：0.1mm/s≦V≦50mm/s E344 扫描测头位移量超过允【MPP测头】 许范围。 m以上时命令移动(测量)。 准变位量) D/5≦MPP位移量≦9D/5 (3) CNC扫描以外时 MPP位移量≦1mm 【SP600测头】 (1) 扫描测头的位移量处于400mm以上时命令移动(测量)。 (2) CNC扫描中的允许范围 0.05mm≦SP600变位量≦1.4mm (3) CNC扫描以外时 SP600变位≦剩余行程 *0.8 E345 标准位移量(FC66H,FC2数据处理装置的命令错误 DH)的设置值超出允许范围发生该错误 允许范围 【MPP测头】 FC66H：0.25mm≦D≦1.0mm FC2DH：0.5mm≦D≦1.0mm 【SP600测头】 FC66H：0.25mm≦D≦1.0mm FC2DH：0.25mm≦D≦1.0mm (1)可能是创建组件程序错误。 ?错误计数? (3)扫描测量时根据工件的形状不同，扫描速度过快，或是标准位移量过小。 (4)阻尼器油缺少时请补充。(MPP测头) (1)扫描测头的位移量处于500m(2)可能是扫描测头的故障 (2)CNC扫描中的允许范围(D：标?固定机械故障 请正确进行标准位移量的设置 编号 内容 原因 解决方法 请正确进行扫描命令或是公称值设置决定的扫描参数(间距、缩进距离)设置。 手动)的测数据处理装置的命令错误 E346 (1)扫描(CNC、量间距不正确时发生该错误。 间距≧0.01mm MIN间距

编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支E354 SET CHECK LEN(FCD数据处理装置的命令错误 许范围之外 允许范围 0≦L≦20mm ?CHECK LEN：在CNC扫描中，扫描截面为陡斜面时，有时无正确计算进行方向，测头停留在相同位置。用于检查该状态的参数是CHECK LEN。 统都具备) 8H)设置的长度数据在允(该功能是特殊功能，不是所有系持部门 E355 指定方向扫描(FC68H)(该功能是特殊功能，不是所有系若经常发生请联系本公司技术支中在轴的方向上有误时统都具备) 发生该错误 (行进方向、回避方向) E356 MPP测长系数测量(FC6【所谓MPP测长系数测量】 轴压入了1.5mm以上。 机相同的光栅尺。 为了进行更高精度的测量，必须事先在X、Y、Z轴的每一轴上校正该光栅尺。 该错误在例如X校正过程中X轴以外的光栅尺上计数器发生变化时发生。(MPP的安装偏离90度等情况) (1)MPP测头的安装方向有误时发(2)MPP测头故障 3H)中，逼进方向以外的MPP测头内置了与三坐标测量生 持部门 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (1)若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)请确认工件的坐标系 E362 在公称值扫描中测头压入(1)数据处理装置的命令错误 (2)工件坐标系设置错误 过深 (1) 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)请确认工件的坐标系 或是扩大扫描间E363 公称值扫描的缓冲区溢出 (1)设置的扫描速度过快，或是设(1)降低扫描速度，置的扫描间距过小。 (2)数据处理装置接收数据延时。 距 (2)若经常发生请联系本公司技术(3)通信CPU异常 支持部门 或是扩大扫描间E364 公称值扫描缓冲区发送超(1)设置的扫描速度过快，或是设(1)降低扫描速度，置的扫描间距过小 时 (2)数据处理装置接受数据延时 距 (2)若经常发生请联系本公司技术(3)通信CPU异常 支持部门 E365 公称值扫描参数错误 (1)作为测量范围的角度(A)的设置在允许范围(0

持部门 编号 内容 原因 解决方法 请将逼进方向设置成相对于工件轴心垂直(90度)。 E375 FCE8H?FCE9H命令中，数据处理装置的命令错误 特 工件(齿轮)中心轴和逼进方向形成的角度(α)不在(90±5)度以内时发生该错误。 E376 FCE9H中，相对RT轴心T的工件轴心Zw的倾角(Θ2)过大。 特 允许值 1度以内 Zw T 请重新设置工件坐标系的第3轴 Θ2 Θ2 Yw Xw Z Y X 转台 X,Y,Z ：设备坐标系 Xw,Yw,Zw ：工件坐标系 T ：RT轴心 Θ1 ：在设备坐标系上的RT倾角 Θ2 ：RT轴心与工件坐标系第3轴的倾角 E377 FCE9H的RT齿轮扫描测特 量中，测头没有接触V漕的两面时发生该错误。 标准轴(逼进方向的反方向)和MPP位移方向的角度在允许值以上。 允许值 15度以内 (1) RT REFERENCE SYSTE(1)请重新设置坐标系 M(FC6DH)的坐标系信息可能不(2)极端小和大时有可能无法正正确。 (2)可能使用了与齿轮的V漕不适应的(间距径)测量触头。 常与V形漕的两面接触。 E378 在FCE8H?FCE9H中，设固定轴设置的轴方向部分必须请重新设置前进方向。 特 置的相对MPP固定轴的在Sin5度之内。 前进方向是禁止测量的方向时发生该错误。 编号 内容 原因 解决方法 请重新安装SP600测头 部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 PH10的角度或是测头不匹配――＞变更PH10的角度或是更换测头、重取中立点 若经常发生请联系本公司技术支持部门 下。 E390 没有安装SP600测头情况(1)数据处理装置的命令错误 关SP600测头的命令(FC.CBH, CCH, CFH)。 接受了不数据处理装置的命令错误 E391 在SP600测头中，支持的命令(FC.6CH, D2H)。 E392 SP600测头校准行列的组合数据处理装置的命令错误 命令的参数错误。 E393 SP600测头的中立状态的最PH10的角度或是测头不匹配 大插入量(较小剩余行程量)位于限值以下。 SP600测头：250mm以上 SP600-XE：300mm以上 66H或是FC2DH设置的标令错误。 准位移量超过现在角度的最大插入量(最小剩余行程量)。 E395 进行SP600校准测量所需(1)标准位移量(FC2DH)过大 要的剩余行程量(最大插入(2)PH10的角度或是测头不匹配 量)不够 下接受了数据处理装置的有(2)SP600测头没有完全安装到位 频繁发生时请联系本公司技术支持E394 使用SP600测头时，用FC操作者错误或是数据处理装置的命请将标准位移量设为最大插入量以(1)标准位移量(FC2DH)过大――＞请缩小标准变位量 (2)PH10的角度或测头不匹配――＞请使用别的角度或测头

#400 REC ERROR 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支E400 REFERENCE SYSTEM数据处理装置的命令错误 范围之外。 允许范围 | |A| -1 | < 1/32 E401 TIP INFORMATION(FC2数据处理装置的命令错误 0H)的指定值在允许范围之传送的触头直径为负数。 外。 允许范围 0≦T E402 SPEED(FC21H)的指定值数据处理装置的命令错误 阵数据中存在错误。 (FC27H)的指定值在允许工件坐标系变换时使用的变换矩持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支

在允许范围之外。 允许范围 1≦V≦设备的最高速度 传送的移动速度值在上述范围之持部门 外。 若经常发生请联系本公司技术支E403 MEASURE SPEED(FC22数据处理装置的命令错误 外。 允许范围 1≦V≦设备的最高速度/10 E404 R1(FC23H) 的指定值在允数据处理装置的命令错误 许范围之外。 允许范围 0≦R1 许范围之外。 允许范围 0≦R2 许范围之外。 允许范围 0≦E1 许范围之外。 允许范围 0≦E2 负值。 外。 H)的指定值在允许范围之传送的测量速度值在上述范围之持部门 若经常发生请联系本公司技术支传送的意外接触时的返回距离为持部门 若经常发生请联系本公司技术支E405 R2(FC24H)的指定值在允数据处理装置的命令错误 负值。 传送的J/S测量时的返回距离为持部门 若经常发生请联系本公司技术支E406 E1(FC25H)的指定值在允数据处理装置的命令错误 头的距离为负值。 意外接触后的返回中重新启动测持部门。 若经常发生请联系本公司技术支E407 E2(FC26H)的指定值在允数据处理装置的命令错误。 距离为负值。 测量后的返回中重新启动测头的持部门 编号 内容 (1)操作错误 原因 解决方法 E408 X轴 超出机器范围 移动指示三坐标测量机指示了向行程部分外移动时 的可移动范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2)在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，返回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 编号 内容 (1) 操作错误 原因 解决方法 E409 Y轴 超出机器范围 移动指示处于三坐标测指示了向行程部分外移动时 量机的可能范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 编号 内容 (1) 操作错误 原因 解决方法 E410 Z轴 超出机器范围 移动指示处于三坐标测指示了向行程部分外移动时 量机的可能范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 编号 内容 (1) 操作错误 原因 解决方法 E411 X，Y轴超出机器范围 移动指示处于三坐标测指示了向行程部分外移动时 量机的可能范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端

编号 内容 (1) 操作错误 原因 解决方法 E412 X，Z轴超出机器范围 移动指示处于三坐标测指示了向行程部分外移动时 量机的可能范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 编号 内容 (1) 操作错误 原因 解决方法 E413 Y，Z轴超出机器范围 移动指示处于三坐标测指示了向行程部分外移动时 量机的可能范围之外时发【解决方法】 请确认移动指示。 生。 (2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 编号 内容 (1) 操作错误 指示了向行程部分外移动时 原因 解决方法 E414 X、Y、Z轴 超出机器范围 移动指示处于三坐标测【解决方法】 请确认移动指示。 量机的可能范围之外时发(2) 在行程末端附近(4mm以内)由浮动状态转为锁定状态的场合(附生。 带浮动功能的设备种类) 【解决方法】 请在从末端起多于4mm的内侧进行锁定。 4mm AXIS +方向 4mm 之内 行程末端 (3) 由J/S驱动的测量中，在行程末端附近进行测量，收回时移动至行程部分以外时。 【解决方法】尽可能在内侧进行测量。 按下LOCK按钮 时的动作 返回 行程末端 P,Q,R的数据处理装置的命令错误 E415 在测量命令等中，指定值在允许范围之外时发生该错误。 允许范围 |P2+Q2+R2-1|<1/32 若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E418 SIMULATION(FC2BH)的数据处理装置的命令错误 特 移动距离的指定值在允许范围之外。 该功能模拟测量/移动的动作功能，设置移动/测量的距离。此时的距离在下述范围外时发生该错误。 允许范围 0≦L E419 设置MEASURE LIMIT L数据处理装置的命令错误 ENGTH的命令、L1?L2(F C28H)的指定值在允许范 围之外。 允许范围 50mm≦L1,L2 E420 NOP(FC00H)的数据为AS数据处理装置的命令错误 CII、不在20H以上时发生该错误。 E421 NOP(FC00H)的数据长度数据处理装置的命令错误 在允许范围之外。 允许范围 0≦L≦45byte 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E428 分度台(IT)的回转在非有效现在处于用户自定义ROM设置请移动到IT回转命令前用户自定 位置(X,Y,Z)发送了回转命的、或是数据处理装置其后设置义ROM中设置的、或是数据处理令。 的IT回转有效位置之外的位置装置其后设置的IT回转有效位置。 时，从数据处理装置发出IT回转命令。 E429 没有RT或是IT的系统上，数据处理装置的命令错误 接受了RT或是IT用命令。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 内容 原因 解决方法 E430 (1) RT回转角度指定值在(1)IT中指定角度不能被用户自若经常发生请联系本公司技术支 允许范围之外。 允许范围 0度≦θ≦360度 有的角度。 E431 没有浮动功能的系统接受数据处理装置的命令错误 了浮动命令。 Z值是现在的位置，所以无法测量。 E437 POSITIONNING FACTO数据处理装置的命令错误 R(FC95H)的指定值在允许范围之外。 允许范围 10mm≦P≦5000mm E444 超过MEASURE LIMIT L(1)测量命令的开始点上有错误。 (1) 测量命令的开始点上有错误。 ENGTH值也无法接触工(2)MEASURE LIMIT LENGTH－＞请重新确认位置。 件。 的设置过短。 (3)工件的位置不适当。 (2)MEASURE LIMIT LENGTH的设置过短。 －＞请确认指定值。 (3) 工件的位置不适当。 －＞请确认工件的位置。 E450 供给三坐标测量机的气压(1)空气源压力降低。 降低。 (2)空气调压器故障。 (3)空气管道泄漏。 (4)压力开关的设置偏离、故障 (5)压力开关电缆断线。 (6)MACHINE I/O电缆断线。 确认前述原因后仍不明时请与本公司技术服务部门联系。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 Y、数据处理装置的命令错误 E435 测量命令(G2?G5)的X、若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 定义ROM设置的最小分割角度持部门 完全分割时产生该错误。 (2)可能是数据处理装置的命令(2)命令了IT分度角度中没错误

编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E451 安装TP800的状态下接受数据处理装置的命令错误 了无法使用的命令(MPP扫描、浮动等)。 E452 在TP800上测量没有正确(1)测头信号电缆的杂波 执行。 的ERROR信号发生。 (CNC测量时最多重新测量5次。JS测量时在该点发生了E452。 但是数据处理装置设置了在FC42H上允许ERROR时，该错误不发生。) (2)震动 输入接触信号时，TP800等 E453 在TP800上，无法进行高(1)测量柔软工件时 精度的测量。 输入触发信号时，TP800的STRAIN信号发生。(CNC测量时，最多重新测量5次。 JS测量时在该点发生了E453。 但是数据处理装置设置了在FC42H上允许STRAIN时，该错误不发生。) (2)测量速度缓慢时 请提高测量速度。 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E454 (1)TP800自动交换命令(F数据处理装置的命令错误 C41H)中参数错误。 ?滑动轴和释放轴相同时。 ?L1≦0、L2～L5＜0 (2)TP200探针交换命令(FC46H)中参数错误。 E455 TP800(PI800)的误动作 (1)TP800(PI800)的误动作。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 输入触发信号(HALT)时，S(2)TP800电缆杂波。 YNC信号不处于工作状态 时发生该错误。 (1)驱动轴遇到障碍物。 E460 X轴 伺服跟踪错误发生。 (2)三坐标的滑动不良。 相对于控制程序的速度命(3)马达配线接触不良。 令值，实际的速度发生超出(4)伺服单元调整不良。 范围的偏差时发生该错误。 (5)伺服单元故障。 (6)光栅尺有污垢。 (7)前置放大器故障。 (8)编码器故障。 等 (1)驱动轴遇到障碍物。 E461 Y轴 伺服跟踪错误发生。 (2)三坐标的滑动不良。 相对于控制程序的速度命(3)马达配线接触不良。 令值，实际的速度发生超出(4)伺服单元调整不良。 范围的偏差时发生该错误。 (5)伺服单元故障。 (6)光栅尺有污垢。 (7)前置放大器故障。 (8)编码器故障。 等 频繁发生时请联系本公司技术服务部门。 频繁发生时请联系本公司技术服务部门。 编号 内容 原因 解决方法 频繁发生时请联系本公司技术服务部门。 (1)驱动轴遇到障碍物。 E462 Z轴 伺服跟踪错误发生。 (2)三坐标的滑动不良。 相对于控制程序的速度命(3)马达配线接触不良。 令值，实际的速度发生超出(4)伺服单元调整不良。 范围的偏差时发生该错误。 (5)伺服单元故障。 (6)光栅尺有污垢。 (7)前置放大器故障。 (8)编码器故障。 等 E463 RT轴 伺服跟踪错误发(1)驱动轴遇到障碍物。 生。 (2)三坐标的滑动不良。 (3)马达配线接触不良。 频繁发生时请联系本公司技术服务部门。 相对于控制程序的速度命(4)伺服单元调整不良。 令值，实际的速度发生超出(5)伺服单元故障。 范围的偏差时发生该错误。 (6)光栅尺有污垢。 (7)前置放大器故障。 (8)编码器故障。 等 E470 非测量时有测头的输入。 (1)触发信号测头 (触发信号输入) 信号电缆接头接触不良 请确认是否有操作错误(创建组件程序错误)。 (2)本体内触发信号电缆接触不良 其它情况请联系本公司技术服务(3)MACHINE I/O电缆接触不良 部门。 (4)操作错误(创建组件程序错误) (5)振动 (6)伺服参数调整不良 (7)RENISHAW公司自动测头交换器和旋转头部的控制器输出紧急信号 (可能是冲突等) 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 探针接触信号测头 E471 测头从被测件离开时， 的原点复位不良时发生该?测量力调整不良 错误。 ?劣化 ?测头破损 复位不良发生时，三坐标测 量机认为触发测头接触工(重试功能是特殊功能，所以有不支持该功能的系统。) 件、进行复位处理。 通常进行5次重试仍未复位时，将显示471(不是错误)，等待复位。一经复位，显示将消失，继续下一动作。(默认) 可能会从数据处理装置接受的命令导致错误发生。 执行了重试次数和指定的次数也无法复位时的处理(原样等待、或是发生错误)由来自数据处理装置的指示进行。 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E472 触发信号测头与工件接触数据处理装置的命令错误 时发生错误，而且在重置错误后指定了无法使用的命令(IE命令、参数设置命令、FC3EH以外的命令)。 进(1)测量速度缓慢时 E473 使用MTP1000测头时，入了HALT信号。 时无法正常输入触发信号、而继续压向工件的状态时发生该错误。 E474 处于ATC领域时，发送了数据处理装置的命令错误 使ACT限位有效的命令。 1H,52H,53H,54H)，由于坐标值输入、方向余弦输入的错误导致无法创建矩阵。 E480 圆弧移动/测量命令中(FC5数据处理装置的命令错误 良 请重新安装测头。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)MTP1000关联的电缆接触不 HALT在测头与工件接触(3)MTP1000 I/F单元故障 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门

编号 内容 原因 解决方法 E481 (1)圆弧移动/测量命令(FC51H,52H)中，线数为0、或是大于若经常发生请联系本公司技术支 5。 (2)圆弧测量命令(FC52H)中，前面命令无触返(正处于TF输入中)时，本命令中指定了线数1、有触返。 (通过触返回到当前点) 根据前面命令无触返的停止位置 持部门 touch back 根据L2(FC52H)，线数1、有触返的命令被指定后，以触返与工件接触。 【原因】数据处理装置的命令错误 E482 圆弧移动/测量命令(FC51H,52H,53H,54H)中，前面命令无触若经常发生请联系本公司技术支 返时，TF输入时的前进方向和本命令的脱离方向的角度在4持部门 5度以上的场合。 Θ≦45° TF输入 下一步移动 【原因】数据处理装置的命令错误 E483 在圆弧移动命令(FC53H)数据处理装置的命令错误 中，由设置的坐标值、方向余弦求出的理想轨道和现在位置的偏离达到全轨道1/2以上时发生该错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E484 在圆弧移动命令中(FC53数据处理装置的命令错误 H)，由设置的坐标值、方向余弦求出的移动角度为0度。 E490 CMM动作许可信号处于O(1)移动中CMM动作许可信号处请构建移动中CMM信号许可信FF状态。 于OFF状态。 挡。 因为重置错误导致的重置。 E497 RECOVERY STOP ERR按了J/S BOX的R.STOP按钮。 OR E498 RECOVERABLE EMER按了EMERGENCY按钮。 GENCY STOP (UC300) GPIB缓冲区溢出 (CMMC-1S) (1)通信线路中有噪声影响。 (3)通信接口接触不良。 OVERY STOP(FC85H)处理装置发送了(FC85H) 命令。 请确认通信电缆的连接。 持部门 的原因。 持部门。

#500 REC ERROR 编号 内容 原因 控制任务登录超出(E_TASK) 控制任务登录超出(D_TASK) 控制CPU的误操作 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E501 控制软件的误操作。 E506 控制软件的误操作。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E508 通信软件向控制软件发送(1)DPRAM故障 E509 控制软件的误操作。 的命令在范围外。 (2)内存故障 (1)命令无法执行的模式下或安装若经常发生请联系本公司技术支了无法使用的测头时发生。 持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)通信CPU或电路板的故障。 若经常发生请联系本公司技术支 因为重置错误导致的重置。 号不为OFF的系统。 (2)区域传感器、光线传感器被遮请确保移动中传感器不被遮挡。 数据请确认数据处理装置发送该命令E499 数据处理装置发送了REC(1) PHC9?10等错误引起， (2)数据处理装置停止了系统。 原因不明时请联系本公司技术支E500 控制软件的误操作。 E510 控制软件的误操作。 E511 控制软件的误操作。 E520 通信软件的误操作。 E521 通信软件的误操作。 E522 通信软件的误操作。 E525 监视器超时 任务处理未能在采样时间内结束。 E526 采样周期异常。 控制任务登录超出(IE_TASK) 控制任务登录超出(R_TASK) 控制任务登录超出(R_TASK) 控制任务登录超出(D_TASK) 控制任务登录超出(R_TASK) 控制CPU故障 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (1) 控制CPU故障 配。 若经常发生请联系本公司技术支(2)位置循环的目标位置设置不匹持部门 编号 内容 原因 解决方法 E529 发生不明中断。 在中断源检查中，非TF?FS?超速可能是控制CUP的故障。 或是ABS中的中断。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E533 EEPROM READ／WRIT数据处理装置的命令错误 E命令(FC9DH)的数据类型和数据长在允许范围之外。 允许范围 数据类型=0?1?2 0≦N≦44 E534 EEPROM READ／WRIT数据处理装置的命令错误 E命令(FC9DH)偏移地址和数据长间的关系异常。 允许范围 访问地址≦1FFFH E535 (1)COMP DATA(FCA1H)数据处理装置的命令错误 中、COMP COMMAND(FCA0H)没有发送。 (2)COMP DATA(FCA1H)中、数据数量允许范围之外。 允许范围 0＜N≦45 E536 (1)COMP DATA(FCA1H)数据处理装置的命令错误 中、校正间距在允许范围之外。 允许范围 用户自定义数据(一般三坐标时为10mm)的整数倍 (2)COMP DATA(FCA1H)中、校准间距过大、超过校准领域时发生该错误。 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 内容 原因 解决方法 被发送(1)EEPROM内的温度传感器的若经常发生请联系本公司技术支E537 (1)FCA3H,A4H中， 的空间校准数据参数数量分配数据异常。 异常。 义数据异常。 准，但空间校准无效时发生该错误。 E539 温度调节器故障。 (1)温度调节器接触不良或是破损 请确认温度计是否加电。 (2)温度计通信线路DSR为off状 态 (3)温度计断线或是电源关闭 E540 X轴 超速错误 (1)光栅尺表面有污垢 (2)检测器故障 (3)前置放大器调整不良或是故障 (4)三坐标本身电源的故障 (5)光栅尺信号电缆接触不良或是断线 (6)光栅尺信号中有噪声 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)空间校准参数异常。 (4)逆校准计算异常 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)有关温度计的用户自定(3)空间校准参数数量超出。 E538 DIP SW中设置了温度校DIP SW设置错误等 持部门 正常 异常 杂波干扰 【解决办法】若经常发生请联系本公司技术支持部门

编号 内容 原因 (1)光栅尺表面有污垢 (2)检测器故障 (3)前置放大器调整不良或是故障 (4)三坐标本身电源的故障 (5)光栅尺信号电缆接触不良或是断线 (6)光栅尺信号中有噪声 解决方法 E541 Y轴 超速错误 正常 异常 杂波干扰 【解决方法】若经常发生请联系本公司技术支持部门 E542 Z轴 超速错误 (1)光栅尺表面有污垢 (2)检测器故障 (3)前置放大器调整不良或是故障 (4)三坐标本身电源的故障 (5)光栅尺信号电缆接触不良或是断线 (6)光栅尺信号中有噪声 正常 异常 杂波干扰 【解决方法】若经常发生请联系本公司技术支持部门 编号 内容 原因 (1)光栅尺表面有污垢 (2)检测器故障 (3)前置放大器调整不良或是故障 (4)三坐标本身电源的故障 (5)光栅尺信号电缆接触不良或是断线 (6)光栅尺信号中有噪声 解决方法 E543 RT轴 超速错误 正常 异常 杂波干扰 【解决方法】若经常发生请联系本公司技术支持部门 E544 (1)MPP测头超速错误 (2)MPP测头断线错误 (1)测头异常 (2)固定单元异常(没有加电) (1) 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)请确认电源 E550 空间校准结果异常。 (校准量过大) (1)控制CPU误操作 若经常发生请联系本公司技术支(2)校准参数异常 持部门 E551 SP25,SP600,MPP10的测UC控制器工作不正常(软件不正若经常发生请联系本公司技术支常、RAM故障) 头变换矩阵处理中，校准次持部门 数无效(不在1次到3次之间) E552 SP25或是SP600测头中，(１)正在使用的测头故障(中立位(１)若经常发生请联系本公司技有效测量范围过小。 置发生大偏离)，或时SP600板故术支持部门 (２)请使用轻的探针。 测头的X、Y、Z轴的任意障。 一个中，剩余有效测量范围(２)探针过重。 在25um以下，继续测量将发生该错误。 E558 (1)装置MPP测头时气压低气压低下的情况 下。 ?空气源压力低下 (2)不使用测头交换命令而?空气调整器故障 将扫描测头取下时发生该?空气配管泄漏 错误。 ?压力开关设置偏离或是故障 ?压力开关电缆断线 ?MACHINE I/O电缆断线 (1)气压低下的情况 在确认上述原因后仍不明时请与本公司技术支持部门联系。 (2)操作失误 请使用测头交换命令。 编号 内容 原因 解决方法 E563 RT轴计数器溢出 持续发出向同一方向的旋转命令请尽可能在测量后进行回复到原时发生该错误。 点的处理。 【原因和解决方法】 (1)在测量物中探针以外部分碰实际动作 E565 在设置位置驱动轴无法到达。 速度(V) 理论值 撞。 ―＞请确认部件程序。 (2)三坐标的滑动不良。 时间(t) (3)伺服单元调整不良或是故障(调整扭矩) V=0 未能在10秒之内到达 移动命令 目标点 移动命令 10秒以内未能到达目标点200 um*的范围内 * Positioning Factor (FC95H) 上述(2)(3)的情况和频繁发生时请与本公司技术支持部门联系。 移动命令 目标点 移动命令 10秒以内未能到达目标点200 um*的范围内 E566 RT轴未到达错误 在设置位置驱动轴无法到达。 伺服单元调整不良或是故障(调整扭矩) 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (1)限位开关的安装位置偏离 E572 X轴的限位开关没有反应。 (浮动时没有发生错误) (2)限位开关故障 (3)限位开关自身内的信号电缆接触不良 (4)光线传感器安装位置偏离或是断线 (5)用户自定义ROM故障 (1)限位开关的安装位置偏离 E573 Y轴的限位开关没有反应。(浮动时没有发生错误) (2)限位开关故障 (3)限位开关自身内的信号电缆接触不良 (4)光线传感器安装位置偏离或是断线 (5)用户自定义ROM故障 E574 Z轴的限位开关没有反应。 (1)限位开关的安装位置偏离 (浮动时没有发生错误) (2)限位开关故障 (3)限位开关自身内的信号电缆接触不良 (4)光线传感器安装位置偏离或是断线 (5)用户自定义ROM故障 E575 被设为SEMAFOFULAG(1)DPRAM故障 U。 通信错误 没有空间) E581 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 通信错误 (接收中超时) (2)控制电路板故障 (2)J/S BOX误操作 E580 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 (控制CPU的发送缓冲区(3)电缆、接头接触不良或是故障 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支(2)J/S BOX误操作 持部门 (3)电缆、接头接触不良或是故障 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E582 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 通信错误 (溢出错误) 通信错误 (帧误差) 通信错误 (奇偶错误) 通信错误 据时) 通信错误 异常的数据) (2)J/S BOX误操作 (3)电缆、接头接触不良或是故障 (2)J/S BOX误操作 E583 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 (3)电缆、接头接触不良或是故障 (2)J/S BOX误操作 E585 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 (3)电缆、接头接触不良或是故障 (2)J/S BOX误操作 (4)噪声 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)J/S BOX误操作 (4)噪声 E586 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 (从J/S BOX接收了不明数(3)电缆、接头接触不良或是故障 E587 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 (从J/S BOX接收了校验和(3)电缆、接头接触不良或是故障 E588 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 通信错误 (无法进行数据连接) (2)J/S BOX误操作 (4)噪声 E589 控制CPU和J/S BOX间的(1)控制电路板/软件误操作 通信错误 (发送数据中发生超时) (2)J/S BOX误操作 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (3)电缆、接头接触不良或是故障 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (3)电缆、接头接触不良或是故障 (4)噪声

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