微电子技术新进展作业

微电子技术新进展

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（xxxxx大学 xxxxxx学院 学号：xxxxxxxx ）

摘要：随着信息产品市场需求的增长，尤其通过通信、计算机与互联网、电子商务、数字视听等电子产品的需求增长，世界微电子市场在其带动下高速增长。本文主要从半导体电子学、计算技术工程和通信工程技术方面的诸多研究成果进行综述，阐述了国际微电子技术的发展现状和发展趋势。 关键词：微电子；发展现状；发展趋势

1引言

微电子技术在过去几十年一直以摩尔指出的指数增长速度发展。随着微细加工技术的发展，器件特征尺寸不断缩小，工作速度不断提高，集成度不断增加，集成电路功能日渐强大，而集成电路的成本随之降低，性能价格比迅速提升。 根据国际半导体技术发展蓝图(ITRS Roadmap)的最新预测，目前这种发展速度至少可以持续到 2020 年，其器件的特征尺寸将缩小至 9 nm。 因此，在未来较长时期内，硅基集成电路仍将是主流的技术。 面对传统 IC 研究和生产所遇到的巨大挑战，基于不断缩小的微电子科学技术进入了至关重要的十字路口。 目前国内外针对未来5~15年超大规模集成电路持续发展所面临的关键科学与技术问题，围绕纳米尺度下集成电路进一步发展中所面临的速度、功耗、可靠性、可制造性、设计技术之间的突出矛盾，从器件、互连、材料、工艺、集成、模型、体系架构、设计技术等层面上进行了深入系统的研究，为硅基集成电路科学技术和产业的可持续发展奠定较好的基础。

2微电子技术面临的问题

据预测，至少到 2016年IC线宽依然会按“摩尔定律”变化，器件最小特征尺寸应在13nm左右。硅晶格常数是 5.43，即 0.5nm，13nm 意味着只有20几个原子那么大。到这种程度，线宽可能还会继续缩小，但缩小余地已非常有限。器件特征尺寸缩小使我们面临几个关键问题：如何制造如此小的器件；越来越严重的互连问题；传统结构不能满足要求。MEMS（Micro Electro-Mechanical System） 或 MOEMS（Micro-Optical Electro-Mechanical System）或包括DNA在内的生物芯片等被称为广义系统技术。广义系统技术是更多学科和工程综合，包括计算机、机械学、磁学、医学等。MEMS 将传感部分与电路部分集成，影响生活的方方面面。如汽车安全气囊可安装在很低档的汽车中，以前是不可以的。因为以前用的是机械式加速度计，成本相当高，而现在用的是硅技术制作出来的硅微加速度计，硅技术的重要特点是大批量、低成本。除此还有如微型飞机、微

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