电子枪(EBG-203UB6S)纳入调整手册

電子槍（EBG-203UB6S）納入調整手冊

日本電子DATUM株式會社

産業機器維修部

〈注意事項〉

因使用高電壓，注意[觸電]事項

·在真空槍體内，有大氣時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。 ·安裝測定器時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。 ·調整電子束時，必須把控制盘安裝在電子槍電源上。

電子槍（EBG-203UB6S）、電子槍電源（JST-3F、10F、16F）納入調整時，请按照下列程序，進行操作。

（1）電子槍的接線 ① 地線的確認

·確認地線與真空槍體的連接情況。

·地線的接地電阻值爲［10Ω以下（A種）］ ② 確認端子接線部位線圈導線的連接情況 ·線圈的線色如圖所示 黑、紅…X掃描線

蓝、黃…Y掃描線

③ 低壓導入端子和電子槍的連接情況

·低壓導入端子的軟管不能阻礙住鎢絲的交換或其它機器的正常作業。 ·使用E圈，把低壓導入端子的軟管固定在連接部位封套上。 ·切斷低壓導入端子底部的白色、綠色兩根導線。

·低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。 ·不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。

·安裝接線部位的封套時，注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。

端子連接圖 端子連接圖

不要夾住不要与其 与本體間它顔色的端子接線 的連接 端子接觸 部位 ④ 高壓導入端子和電子槍的連接

·確保高壓導線（銅線）之間的距離爲3mm以上。

·確保高壓導線（銅線）与高壓密封套間的距離爲10mm以上。 ·儘量保持壓着端子、高壓導線（銅線）与電子槍之間的距離。 ·連接銅線于高壓導入端子時，使用兩把螺絲鉗使其擰緊。（參照右圖） ⑤ 高壓密封套的確認 高壓導入端子 ·高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。

※關於高壓密封套的形狀，请參照操作說明書（P4-6） ·確認高壓密封套的材質爲非磁性體（SUS、鋁等） ·確認電子槍与密封套之間沒有空隙

※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位（高壓導入端子、銅線），是常導致放電的原因，請注意。 ·保持高壓部位（高壓導入端子、銅線）与高壓密封套之間有足夠的距離。（10mm以上） ·安裝高壓密封套時，確認高壓部位与密封套間無接近部分。

（2）電子槍的確認

① grid assembly的確認

·確認(N18)的擰緊狀況（參照下圖）

※为防止由熱帶來的，N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。（N18最後稍微回轉） ·確認Grid assembly固定用的小螺釘（N14）的擰緊情況（參照下圖） ※旋緊扭矩爲50N/cm（注意不要旋得過緊） ·確認不要傾斜安裝grid assembly。

＜Grid assembly＞

N18 固定用螺釘 (N14)

② 磁極片的確認

·使用規尺等確認FIL側的磁極片（N61）的平行度。 ·使用規尺等確認Hearth側的磁極片（N106）的平行度。

規尺 規尺 磁極片 （N61） 平行度的確認 ③ 磁力的調整

·安裝磁性調整棒（以下列數量爲基準） ACC 6KV時 …安裝￠14的磁性調整棒 ACC 5KV時 …安裝￠11的磁性調整棒 ACC 10KV時 …安裝￠7.5的磁性調整棒 ·磁性調整板維持現狀 ④ 冷卻水的確認 磁性調整棒 磁極片

（106） 平行度的確認

磁性調整板·確認冷卻水口左側爲IN，右側爲OUT。（參照下圖） ·確認冷卻水的上水道（水溫在30℃以下）、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。

※實際上，根據冷卻水配管徑，冷卻水在10升/min時，無流水現象。通常，即使在6升/min時也沒關係，因燈絲等導致內部加熱時，必須規定冷卻水量爲（10升/min）。 （參考：出力爲1KW時，冷卻水量必須爲1升/min）

因燈絲等導致內部加熱，而冷卻水量不足時，O型密封圈会燒焦而漏出水，请注意。 ·真空槍體排气時，務必放出電子槍的冷卻水。

·因燈絲等導致內部加熱時，即使槍體内存有大氣时，也放出電子枪的冷卻水。

IN

OUT

⑤ 擋板位置的確認

·確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。 ·確認擋板的材質（非磁性體） ⑥ 維護保養空間的確認

·由於鎢絲的交換，確認从電子槍側面的鎢絲交換口有80mm以上的空間。 ·確認磁性調整棒有交換的空間。 ⑦ 電子槍周邊的確認

·確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。

·確認在反射電子的情況下，沒有容易溶解的物質。 ⑧ hearth位置的確認

·確認hearth位置的正常性。

·Hearth回转軸每回轉一次，確認hearth移動一个位置。 ⑨ 放入試用材料到hearth時，確認槍體内的真空。

（3）電子槍電源的點檢

① 停止固定電子槍電源本體。 ② 拆卸電子槍電源的控制板。 ③ 加強固定電子枪電源内各組件。

·在EB電源左側P部件内，加強扭緊部品（繼電器、電容、二極管等）。

·在EB電源左側P部件内，確認安裝部品（二極管、電阻、變壓器等）的支架。 ·在EB電源内，加強扭緊電力回路部品（繼電器、調節阀、SCR部件等）。 ·在EB電源下部，加強扭緊高壓回路部品（變壓器、調節阀、電容等）。 ·在EB電源下部，確認烘焙板上安裝電阻（10W、1/2W）的支架。 ·在EB電源下部，加強扭緊天板上固定着的螺絲釘。

·在EB電源下部，加強扭緊二極管固定在天板上的螺絲釘。

·在EB電源下部，確認二極管与空心電阻器的連接的銅線的安裝情況。 ·在EB電源的ST-AS10F内，加強扭緊氖气電纜的連接部分。

（4）電子槍電源的連接 ① 連接入力電源

·把入力電源連接于電子槍電源的端子盤[R][S][T]。

·確認入力電源（3相200V）的配電盤上安裝的電流斷路開關的容量。

JST- 3F… 40A以上 ＜HV電纜的連接圖＞ JST- 10F… 60A以上

高壓導入端子 JST- 16F… 100A以上

② EB電源与EB操作盤間的連接情況 ·連接導線[W1]与導線[W2]。

·連接操作盤用的地線（5.5sq綠色）。 ③ EB電源与真空槍體間的連接情況 ·把COIL電纜連接到低壓導入端子。 ·連接EMSN回路線（22sq紅色）。

·把高壓電纜（W4）連接於高壓導入端子。 Cover ※不要把高壓電纜与其它信號的電纜束在一起。 （白色） HV電纜 ※不要忘記安裝高壓導入端子的白色密封圈。

④ 連接EB操作盤与真空槍體的控制盤。 ·連接聯鎖裝置的電纜。（參照下圖） ·連接GUN ON電纜。（參照下圖） ※ 有關聯鎖裝置、GUN ON電纜的連接情況，请參照操作說明書（P4-32）。

＜聯鎖裝置連接圖＞ ＜GUN ON連接圖＞

·連接外部信號接線柱（EXTⅠ、EXTⅡ、EMISSON）。

※有關外部信號接線柱的連接情況，請參照操作說明書（P4-32、33）。 ⑤ 確認地線的連接情況

·確認地線与真空槍體的連接情況。（接地電阻10Ω以下）。

·確認EB電源与真空槍體間EMSN導線（22sq紅色）的連接情況。 ·確認EB電源与EB操作盤間地線（5.5sq綠色）的連接情況。

※ 有關地線的連接情況，请參照下頁接線圖与操作說明書（P4-12）。

＜地線連接圖＞ EB電源（背面）

EB操作盤（背面）

真空槍體

接地點

接地點 電子槍

地線 （5.5sq綠色） EMSN回路線（22sq紅色） 接地點 地線 （接地電阻10Ω以下） ＜電子槍電源(背面)＞

⑥ 全部安裝EB電源的控制板。

拆下[COIL]

的接線柱 （5）確認低壓的接線

① 拆卸電子槍電源背面的[COIL]接線柱。 ② 測量線圈的電阻值

·拆下EB電源背面的[COIL]接線柱，使用万用表測量接線柱間的電阻值。 ·接線柱的插頭編號[C]~[D] …大約1Ω ·接線柱的插頭編號[E]~[F] …大約1Ω ·接線柱的插頭編號[C]~[A][B][E][F] …無限大 ·接線柱的插頭編號[E]~[A][B][C][D] …無限大 ※電阻值異常的狀況下，请檢查下列情況

a.檢查線圈的接線部位是否有与其它顔色導線的壓着端子接觸。 b. 檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。

ＧＵＮコイルケーブGUN線圈電纜 ルテスターＧＵＮコイルケーブル オームレンジ

③ 測量線圈与地線間的電阻值情況

·拆下EB電源背面的[COIL]的插座，使用万用表檢測接線柱插頭与地線間的電阻值。 接線柱的插頭編號[C]~地線

接線柱的插頭編號[D]~地線 全部都是無限大 接線柱的插頭編號[E]~地線 接線柱的插頭編號[F]~地線

※電阻值異常的狀況下，請檢查下列情況

a. 檢查線圈接線部位的壓着端子是否有与密封套接觸 b. 檢查密封套是否有夾住与電子槍本體間的接線。 c. 檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。 ＧＵＮコイルテスターチャンバーケーブル オームレンジ

電子銃

アース端子、又はビス等、金属部

電子槍電源（前面）

（6）通電測試 A部件 ① 電流斷路開關調爲ON。

·配電盤的電流斷路開關調向ON。 ·電子槍電源前面的NFB調向ON。 ·NFB爲ON後，確認下列項目 白色指示燈 c. 確認電子槍電源前面的白色指示燈的點燈情況 d. 確認電子槍電源前面的紅色指示燈的點燈情況 紅色指示燈 e. 確認電子槍電源的A部件的[OFF]的指示燈的點燈情況 f. 確認電子槍電源的FAN的整個回轉情況

※ 電子槍電源前面的紅色指示燈不點燈時，由於入力電源 的相弄錯，交換入力電源的[R]相与[T]相。

NFB調爲ON ② A部件[POWER ON]

·電子槍電源A部件的[POWER ON]的開關調向ON。

·開關調向ON後，確認[POWER ON]指示燈的點燈情況。

·開關調向ON後，確認EB操作盤的[OFF]的指示燈的點燈情況。 ③ 確認聯鎖裝置的動作情況

·確認EB操作盤的[PS]指示燈的點燈情況。

[PS]指示燈滅燈時，確認電子槍電源A部件的[FUSE(P)][FUSE(MG)][DOOR]的點燈情況。 ·確認EB操作盤的[V]指示燈的點燈情況。

[V]灭燈時，確認槍體内真空的聯鎖裝置情況。 ·確認EB操作盤的[W]指示燈的點燈情況。

[W]指示燈滅燈時，確認電子槍冷卻水的聯鎖裝置的情況。 ·確認EB操作盤的[AUX]指示燈的點燈情況。

[AUX]指示燈滅燈時，確認槍體的控制板等的聯鎖裝置的情況。 [PS] [V] [W] [AUX] EB操作盤

ACC FIL

0FF

④ 設定FIL切換開關

A部件的FIL選擇[￠0.8]（上側）的開關（紅色）。

A部件内的開關

＜A部件＞

FIL選擇SW（紅色） …上側

⑺光束的調整 ① 槍體的確認

·確診槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。 ·確認電子槍、hearth的冷卻水的流量。 ② EB操作盤的確認

·EB操作盤的ACC ADJ-VRA（VR-15）完全向左旋轉。 ·EB操作盤的EMI-VR旋轉到最小值（0）。 ·EB操作盤的X、Y位置旋轉到中央的位置。 ·EB操作盤的X、Y掃描完全向左旋轉。

·EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[INTL]側。 EMI-VR（0） X、Y位置的旋扭（中央） ＜EB操作盤＞

EXT/INTL ACC 切換開關 FIL

0FF [INTL]側 RANGE[Ⅱ] X、Y位置的旋扭（最左邊）

③ FIL動作測試

·EMI電流表的RANGE切換開關選擇爲[Ⅱ]。 ·EB操作盤[FIL]旋扭旋轉爲ON。

·慢慢旋轉EMⅠ-VR， EB操作盤EMⅠ電流表設定爲150mA，3-5分鐘鎢絲退火如果，放出grid部的氣體。

·慢慢旋轉EMⅠ-VR到MAX，確認EB操作盤EMⅠ電流表的指示大約在270mA。 ※EMⅠ電流表指示在0~約180mA時，A部件的FIL的切換開關變爲￠0.55側（下側）。 那時，A部件的FIL切換開關切換爲￠0.8側（上側）。

·FIL動作確認後，必須把EMⅠ-VR由最小值（0）調爲[OFF]。 ④ FIL動作的確認

·EMⅠ-VR旋轉到0~MAX時，確認FIL警報器無點燈。

※FIL警報器點燈時，需考慮爲FIL回路斷線，檢查銅線（壓着端子）、grid assembly（钨鎢絲安裝部位）的鬆弛程度。

·EMI電流表的指示值爲200mA以上時，確認實質上鎢絲點燈的明暗度。 ※EMⅠ表振動而實質上鎢絲的明亮度不够時，需考慮爲EIL回路的短路，檢查銅線、grid assembly

的安裝情況以及鎢絲的變形狀況。 ⑤ ACC動作檢測

·負責人確認使用的是加速電壓（ACC）。

金屬系列物質的情況下使用-10KW，而氧化物的情況下使用-6KW比較多。 ·再次確認槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。 ·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[ACC]。 ·EB操作盤[ACC]調爲ON。

·把電流表調爲任意值（如：10KW），調整EB操作盤ACC ADJ-VR。 ·EB操作盤調爲ON後，確認ACC警報器無點燈加速電壓正常。（EMⅠ電流表無偏轉） ※ACC警報器點燈的情況下，檢查高壓部分（銅線、grid assembly）的狀況。 ⑥ ST-AS10F部件的檢測 ·EB操作盤[ACC調爲ON。

·確認ST-AS10F部件的[POWER]指示燈（綠色）的點燈情況。 ·確認ST-AS10F部件的[E-REV]指示燈（紅色）無點燈。 ⑦ 預熱電流的調整

·確認EB操作盤的EMⅠ-VR調爲最小值（0）。

·選擇EB操作盤的EMI電流表RANGE切換開關爲[I]。 ·EB操作盤[ACC][FIL]調爲ON。

·EB操作盤的EMⅠ-VR爲0時，調整EB操作盤的VR-16，使光束稍微偏移。 ※出貨時ACC＝10KV，調整預熱電流爲1mA。

注意事項：因爲，在ACC＝6~8KV時,VR-16在調整前預熱電流電流量大。[特別是低功率的材料（MgF2等）

（8）光束位置的調整

① EB操作盤的X、Y位置旋扭旋轉到中央。

·EB操作盤的X、Y掃描旋扭旋轉到最左邊（最小）。

·EB操作盤ACC、FIL調爲ON，光束稍微偏出，確認光束的位置。 ② 光束位置比hearth中心偏向內側時 ·加強磁性 …選擇細的磁性調整棒

擴大磁性調整板与本體間的空隙 ③ 光束位置比hearth中心偏向FIL侧時 ·减弱磁性 …選擇粗的磁性調整棒

縮小磁性調整棒与本體間的空隙

※光束位置調整要領

首先，變更磁性調整棒，使光束位置与hearth中心附近保持一致， 然後，調整磁性調整棒，使光速与hearth中心保持一致。 ＜X位置動作幅度＞

（9）位置的調整

① X位置的動作確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[XP]。

·EB操作盤的X位置的旋扭向右旋轉，光束向FIL側（前面）移動。

FIL 那時，確認電流表上指示值由0~右（+）側偏移。

X位置·EB操作盤的X位置的旋扭向左旋轉，光束向向內側移動。

的旋扭 那時，確認電流表上指示值由0~左（-）側偏移。

② X位置動作幅度的調整 最左邊 中央 最右邊

·EB操作盤的X位置旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（前後方向）運動時，調整EB操作盤VR-11（XP-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的X位置的旋扭回復到中央位置。 ③ Y位置的動作確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[YP]。

·EB操作盤的Y位置的旋扭向右旋轉時，光束向右側移動。 那時，確認電流表的指示向右（+）側移動。

·EB操作盤的Y位置的旋扭向左旋轉時，光束向左側移動。 那時，確認電流表的指示向左（-）側移動。 ④ Y位置動作幅度的調整

·EB操作盤的Y位置的旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（左右方向）運動時，調整EB操作盤VR-13（YP-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的Y位置的旋扭回復到中央位置。

＜Y位置的動作幅度①＞ ＜Y位置的動作幅度②＞

Y位置 Y位置ＦＩＬ的旋扭 ＦＩＬ的旋扭

中央 最右邊 最左邊 中央 ＜X掃描動作幅度＞

（10）掃描振幅的調整

① X掃描動作的確認

·選擇EB操作盤MODE-SELECT開關[XS]。

X掃描·EB操作盤的X掃描旋扭由0~向右完全旋轉。

的旋扭 那時，確認電流表的指示由0~右側偏轉。

② X掃描振幅的調整

·由於光束向X方向（前後方向）擴展，如擴展到hearth端， 調整EB操作盤VR-12（XS-GAIN）。

最左邊（最小） 最右邊（最大） ·調整後，EB操作盤的X掃描旋扭回復到最左邊（最小）。

③ Y掃描動作的確認

·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[YS]。

＜Y掃描動作幅度＞

·EB操作盤的Y掃描旋扭由0~右完全旋轉。 那時，確認電流表的指示由0~右側偏移。 ④ Y掃描振幅的調整

·由於光束向Y方向（左右方向）擴展，如向hearth端擴展， 調整EB操作盤VR-14（YS-GAIN）。

·調整後，EB操作盤的Y掃描旋扭回復到最左側（最小）。

Y掃描

的旋扭

最左邊（最小） 最右邊（最大）

EMI-VR X、Y掃描的旋扭 ＜EB操作盤＞

ACC FIL

0FF

VR-11（XP-GAIN） VR-13（YP-GAIN） X、Y掃描的旋扭

VR-12（XS-GAIN） VR-14（YS-GAIN）

（11）功率的測試 ① 槍體内狀況的確認

·確認擋板的有無、打開与閉合的狀況

·確認铝製环圈等覆蓋在光學控制器、擋板轴、防護封套、傳感器、燈絲等的無污染情況。 ※因加大EMI電流，蒸鍍材料溶解，而槍體内就变髒。 ※加大EMI電流時，務必由負責人確認 ② 功率的測試

·旋轉EB操作盤EMI-VR時，確認EMI電流表的指示值向上，試用材料被加熱。

ＥＭＩ-ＶＲ ０.０ １.０ ５.０ １０.０ ＥＭＩ電流(3F) ０ｍＡ ８０ｍＡ ４００ｍＡ ８００ｍＡ ＥＭＩ電流(10F) ０ｍＡ １００ｍＡ ５００ｍＡ １０００ｍＡ ＥＭＩ電流(16F) ０ｍＡ １６０ｍＡ ８００ｍＡ １６００ｍＡ

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