扩散炉工艺文件

扩散炉工艺报告

一、太阳能电池板原理介绍：

太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，砷化镓，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅，形成P－N结。 当光线照射太阳能电池表面时，一部分光子被硅材料吸收；光子的能量传递给了硅原子，使电子发生了越迁，成为自由电子在P－N结两侧集聚形成了电位差，当外部接通电路时，在该电压的作用下，将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是：光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程： “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。

二、硅太阳能电池工作原理与结构：

太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应，正电荷表示硅原子，负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。

当硅晶体中掺入其他的杂质，如硼、磷等，当掺入硼时，硅晶体中就会存在着一个空穴，这个空穴因为没有电子而变得很不稳定，容易吸收电子而中和，形成P型半导体。 同样，掺入磷原子以后，因为磷原子有五个电子，所以就会有一个电子变得非常活跃，形成N型半导体。

P型半导体中含有较多的空穴，而N型半导体中含有较多的电子，这样，当P型和N型半导体结合在一起时，就会在接触面形成电势差，这就是PN结。

当P型和N型半导体结合在一起时，在两种半导体的交界面区域里会形成一个特殊的薄层，界面的P型一侧带负电，N型一侧带正电。这是由于P型半导体多空穴，N型半导体多自由电子，出现了浓度差。N区的电子会扩散到P区，P区的空穴会扩散到N区，一旦扩散就形成了一个由N指向P的“内电场”，从而阻止扩散进行。达到平衡后，就形成了这样一个特殊的薄层形成电势差，这就是PN结。

当晶片受光后，PN结中，N型半导体的空穴往P型区移动，而P型区中的电子往N型区移动，从而形成从N型区到P型区的电流。然后在PN结中形成电势差，这就形成了电源。

由于半导体不是电的良导体，电子在通过p－n结后如果在半导体中流动，电阻非常大，损耗也就非常大。但如果在上层全部涂上金属，阳光就不能通过，电流就不能产生，因此一般用金属网格覆盖p－n结，以增加入射光的面积。

另外硅表面非常光亮，会反射掉大量的太阳光，不能被电池利用。实际工业生产基本都是用化学气相沉积沉积一层氮化硅膜，厚度在1000埃左右。将反射损失减小到5％甚至更小。一个电池所能提供的电流和电压毕竟有限，于是人们又将很多电池（通常是36个）并联或串联起来使用，形成太阳能光电板。

三、扩散设备的工艺原理：

我们的扩散炉就是给硅片中掺入磷原子从而形成N型半导体，它的化学反应方程式为： POCL3在高温600℃时会分解成：

5POCL3=P2O5+3PCL5（PCL5对硅片有危害）

P2O5和Si, O2进行反应生成二氧化硅，磷，氯气：

4PCL5+5 O2= 2P2O5+10CL2 2P2O5+5Si=5SiO2+4P

最后给硅片上形成一层磷，从而形成N型半导体。

四、影响扩散工艺的有哪些因素：

1. 温区的温度：温度每升高或降低一度，硅片的阻值降低或升高1.5欧姆。 2. N2量：对硅片的一致性的影响以及炉管内气体浓度的影响。 3. 炉管内的压力：对硅片的一致性以及炉管内气体的流速有影响。

4. O2量和POCL3量：因为在这工艺的反应中最主要的就是O2和POCL3，所以它们

的流量会直接影响到硅片的阻值。

问题：

1. 影响工艺有那些因素：

温区温度，氮气量，炉内压力，氧气量，小氮量。 2. 氮气量的作用是什么？

氮气量会对

五、选择、编辑和更改工艺的方法：

可以通过Touch screen 和TSC-II computer 来进行选择、编辑和更改控制。

六、方块电阻一致性的算法：

1. Standard deviation(1 singma)=

2??X?X?n?1（其中X表示测出的数据值，表

示数据的平均值，n表示测量数据的个数）

2. Point/Point uniformity =

max(5points)?min(5points)2*average(5points)×100%

3. Wafer/Wafer uniformity =

max(waferaverage)?min(waferaverge)2*average(waferaverage)×100%

4. Run/Run uniformity =

max(laodaverage)?min(laodaverge)2*average(laodaverage)×100%

七、 工艺电阻的要求： （以55Ω/m为基准）

1. Point/Point 要求为：55±3.5(Ω/m2) 2. Wafer/Wafer 要求为：55±3(Ω/m2) 3. Run/Run 要求为55±3(Ω/m)

测试的区域为边缘9mm的四个点和中心点。如下图所示：

2

2

八、具体工艺的详解：

00 LOAD/UNLOAD

--(装载和卸载)

Message STANDBY [1]. Sonalert alarm No --(准备行动)

Normal recipe 00 Zone1 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone3 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min ,

profile table A --(温度存储在NR00, 第一区的温度为800℃，第二区的温度为800℃，第三区的温

度为800℃，第四区的温度为800℃，第五区的温度为800℃，拉温的数据存储在Table A中)

Boat to 10.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 10.0 mm/min. Variable Command: No

--(舟在home位置，loader head在高位，速度是600mm/min，) Gas N2 [1] at 5.0 [slm ] Variable Command: No --(大N2的流量是5L/min)

Gas O2-LOW [3] at 0 [sccm] Variable Command: No --(O2的流量是0ml/min)

Gas *EXHAUST [6] at 5 [Pa ] Variable Command: No --(炉管内的压强为5Pa)

Gas N2 POCL3 [7] at 0 [sccm] Variable Command: No --(小N2的流量为0ml/min)

Gas TMPPOCL3 [8] at 20.0 [degr] Variable Command: No --(POCL3的温度为20℃)

Set ramptime all output to 30 sec

--(设置所用输出上升时间为30秒)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command:No

--(数字输出,,, POCLOPEN=关闭,程序正常结束关闭，程序非正常结束关闭，R2LD=关闭)

Alarm Limit Setting for All Analog Output Channel at 0 % --(报警限制所有设置模拟量输出频道为0%)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 0 % (?0.0) --(报警限制模拟量输入的补偿氮为15slm)

Alarm on digital in N2 PRESS[1] = ON,AIRPRESS[2] = ON,DOORCLSD[3] = OFF,REAREXH[4] = ON,UPSPOWER[5] = ON,UPS LOW[6] = ON,TEMP SCR[7] = ON,OVERHEAT[8] = ON --(报警的数字量为氮气压力为打开，空气压力为打开，炉门关闭为关闭，酸排打开，UPS电源为打开，UPS低状态为打开，SCR温度为打开，过温保护为打开) Alarm on digital in FANSWTCH[9] = ON,TEMPPOCL[10] = ON,LEVLPOCL[11] = ON,CUSTALRM[12] = ON,HEATEXCH[13] = ON,R2DALARM[14] = OFF,*START[15] = OFF,*LDINR2D[16] = OFF

--(报警的数字量是风扇开关为打开， POCL3温度为打开， POCL3水平为打开，热排打开，R2D报警为关闭，*START状态为关闭，*LDINR2D状态为关闭)

01 LOAD IN --(载入)

Message BOAT IN [2]. Sonalert alarm No

--(进舟)

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No

--(时间为8分钟)

Normal recipe 01 Zone1 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone3 835.0癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min, profile table A

--(温度存储在NR 01 第一区温度为835℃，第二区的温度为835℃，第三区的温度为835℃，第四区的温度为835℃，第五区的温度为835℃，拉温的数据存储在Table A中)

Boat to 2600.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 10.0 mm/min. Variable Command: No

--(loader head在高位，速度为600mm/min, 到2600mm位置) Gas N2 [1] at 2.0 [slm] Variable Command: No

--(大氮的流量为2L/min)

Gas *EXHAUST [6] at -200 [Pa ] Variable Command: No --(炉管内的压强为-200Pa) Wait for boat to reach set point --(等待舟到达设定位置)

Branch on boat alarm to step BOAT RETURN UP. Sonalert alarm Yes --(舟如果报警就跳转到BOAT RETURN UP这步) Abort recipe 03

--(终止程序为Abort 03)

02 PADDLE OUT

--(浆出)

Message BOAT OUT [3]. Sonalert alarm No

--(舟出)

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No

--(时间为8分钟)

Boat to 10.0 mm at 1000.0 mm/min with oscillation speed of 0.0 mm/min. Variable Command: No

--(loader head在低位，速度为1000mm/min，舟到达home位置) Wait for boat to reach setpoint --(等待舟到达设置位置)

Branch on boat alarm to step BOAT RETURN DOWN. Sonalert alarm Yes --(舟如果报警就跳转到BOAT RETURN DOWN这步) Abort recipe 02 --(终止程序为Abort 02) 03 LEAKCHECK

--(泄漏检查)

Message TESTING [14]. Sonalert alarm No

--(检测)

Time: 000:01:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为1分钟)

Gas N2 [1] at 0.1 [slm ] Variable Command: No --(N2的流量为0.1L/min)

Gas O2-LOW [3] at 0 [sccm] Variable Command: No --(O2的流量为0ml/min)

Gas *EXHAUST [6] at -200 [Pa ] Variable Command: No

--(炉管内的压强为-200Pa)

Gas N2 POCL3 [7] at 0 [sccm] Variable Command: No

--(小氮的流量为0ml/min)

Alarm limit setting for Gas *EXHAUST [6] at 15 % ( ?150 Pa ) Variable Command: No --(报警限制为炉管压强为150Pa) Wait for gas *EXHAUST [6] --(等待炉管内的压强) 04 HEATUP

--(加热)

Message HEAT UP [6]. Sonalert alarm No --(加热)

Time: 000:30:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间30分钟)

Gas N2 [1] at 6.5 [slm ] Variable Command: No --(N2的流量为6.5slm)

Gas O2-LOW [3] at 0 [sccm] Variable Command: No --(O2的流量为0)

Gas [*EXHAUST [6]] at [5] [Pa ] Variable Command: Yes --(炉管的压力为5Pa)

Gas N2 POCL3 [7] at 0 [sccm] Variable Command: No --(小N2的流量为0)

Digital out [],,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: Yes

--(数字输出量POCL打开状态为关闭，R2D连接为关闭，可用命令为是)

Alarm on digital in N2 PRESS[1] = ON,AIRPRESS[2] = ON,DOORCLSD[3] = ON,REAREXH[4] = ON,UPSPOWER[5] = ON,UPS LOW[6] = ON,TEMP SCR[7] = ON,OVERHEAT[8] = ON --(报警的内容为数字量N2的压力打开，空气压力打开，炉门关闭打开，UPS电源打开，UPS低电压打开，温度可控硅打开，过温开关打开)

Alarm limit setting for Gas *EXHAUST [6] at 0 % ( ?0 Pa ) Variable Command: No --(报警限制在炉管压力为0时)

Branch on digital input REAREXH [4] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(酸排的输入数字量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input UPSPOWER [5] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(UPS电源的数字输入量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input CUSTALRM [12] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(CUSTALRM的数字输入量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input HEATEXCH [13] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(HEATEXCH数字输入量分支到COOLDOWN这步) Wait for temp 833 (癈) at load Zone --(等待第一区温度到达833℃) Abort recipe 01 --(Abort 程序为01) 05 PREPURGE

Message PREPURGE [9]. Sonalert alarm No

Time: [000:01:00] (hr:min:sec) Variable Command: Yes --(时间为1分钟)

Normal recipe 02 Zone1 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone3 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 835.0 癈 Slope 10.00 癈/min ,profile table A

--(温度存储在NR02, 第一区的温度为835℃，第二区的温度为835℃，第三区的温度为835℃，第四区的温度为835℃，第五区的温度为835℃,拉温的数据存储在Table A中) Gas [N2 [1]] at [6.5] [slm ] Variable Command: Yes --(N2量为6.5slm)

Gas [O2-LOW [3]] at [150] [sccm] Variable Command: Yes --(O2量为150sccm)

Gas [N2 POCL3 [7]] at [600] [sccm] Variable Command: Yes --(小N2量为600sccm)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 45 % (?13.5) --(报警限制为模拟输入量补偿氮小于15*45%)

Branch on digital input REAREXH [4] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(酸排的输入数字量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input UPSPOWER [5] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(UPS电源的数字输入量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input CUSTALRM [12] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(CUSTALRM的数字输入量分支到COOLDOWN这步)

Branch on digital input HEATEXCH [13] to step COOLDOWN. Sonalert alarm Yes --(HEATEXCH数字输入量分支到COOLDOWN这步) 06 POCL3 DEP

Message DEPOSITION [13]. Sonalert alarm No

Time: [000:30:00] (hr:min:sec) Variable Command: Yes

--(这步的时间为30分钟)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = ON,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: No

--(数字量的输出为POCLOPEN[12] = ON,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF)

Alarm limit setting for Gas N2 [1] at 5 % ( ?1.5 slm ) Variable Command: No --(报警限制为N2量的5%)

Alarm limit setting for Gas O2-LOW [3] at 5 % ( ?50 sccm) Variable Command: No --(报警限制为O2量的5%)

Alarm limit setting for Gas *EXHAUST [6] at 5 % ( ?50 Pa ) Variable Command: No --(报警限制在炉管压力的5%时)

Alarm limit setting for Gas N2 POCL3 [7] at 5 % ( ?50 sccm) Variable Command: No --(报警限制为小氮量的5%)

Branch on gas/pressure O2-LOW [3] to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(O2的压强分流到POSTPURGE这步)

Branch on gas/pressure *EXHAUST [6] to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(炉管的压强分流到POSTPURGE这步)

Branch on analog input N2ACTEXH 6 to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(O2的压强分流到POSTPURGE这步)

Branch on digital input REAREXH [4] to step CRITICAL STOP. Sonalert alarm Yes --(酸排的数字量输入分流到POSTPURGE这步)

Branch on digital input UPSPOWER [5] to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(UPS电源的数字量输入分流到POSTPURGE这步)

Branch on digital input CUSTALRM [12] to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(CUSTALRM的数字量输入分流到POSTPURGE这步)

Branch on digital input HEATEXCH [13] to step POSTPURGE. Sonalert alarm Yes --(HEATEXCH的数字量输入分流到POSTPURGE这步) 07 POSTPURGE

Message POSTPURGE [11]. Sonalert alarm No

Time: 000:05:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(这步的时间为5分钟)

Gas *EXHAUST [6] at -10 [Pa ] Variable Command: No --(炉管内的压强为-10Pa)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: No

--(数字量输出为POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF)

Alarm Limit Setting for All Analog Output Channel at 0 %

--(报警的设置为所有的模拟量在0%)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 0 % (?0.0) --(报警的设置为模拟量补偿氮为0%时)

Branch on digital input UPS LOW [6] to step CRITICAL STOP. Sonalert alarm Yes --(数字量输入UPS LOW分流到CRITICAL STOP) 08 COOLDOWN

--(降温)

Message COOLDOWN [7]. Sonalert alarm No

Time: 000:30:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为30分钟)

Normal recipe 00 Zone1 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone3 800.0癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min ,profile table A --(温度存储在NR00, 第一区的温度为800℃，第二区的温度为800℃，第三区的温度为800℃，第四区的温度为800℃，第五区的温度为800℃,拉温的数据存储在Table A中) Gas N2 [1] at 7.5 [slm ] Variable Command: No --(N2为7.5slm)

Gas O2-LOW [3] at 0 [sccm] Variable Command: No --(O2为0)

Gas N2 POCL3 [7] at 20 [sccm] Variable Command: No

--(小氮量为20sccm)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: No

--(数字量输出为POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF)

Alarm Limit Setting for All Analog Output Channel at 0 %

--(报警设置为所有模拟量为0%)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 0 % (?0.0) --(报警的设置为模拟量补偿氮为0%时)

Branch on digital input UPS LOW [6] to step CRITICAL STOP. Sonalert alarm Yes --(数字量输入UPS LOW分流到CRITICAL STOP) Wait for temp 810 (癈) at centre Zn --(等待第三区的温度为810度) 09 PADDLE IN

--(浆进)

Message BOAT IN [2]. Sonalert alarm No --(舟进)

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为8分钟)

Boat to 2600.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 0.0 mm/min. Variable Command: No

--(舟在低位速度为600mm/min进入到2600这个位置) Gas N2 [1] at 2.0 [slm ] Variable Command: No --(N2量为2.0slm)

Gas *EXHAUST [6] at -25 [Pa ] Variable Command: No --(炉管内的压力为-25Pa)

Gas N2 POCL3 [7] at 0 [sccm] Variable Command: No --(小氮量为0sccm)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: No --(数字输出为POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF)

Alarm Limit Setting for All Analog Output Channel at 0 % --(报警设置为所有的模拟量输出为0%)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 0 % (?0.0)

--(报警的设置为模拟量补偿氮为0%时)

Alarm on digital in N2 PRESS[1] = ON,AIRPRESS[2] = ON,DOORCLSD[3] = OFF,REAREXH[4] = ON,UPSPOWER[5] = ON,UPS

LOW[6] = ON,TEMP SCR[7] = ON,OVERHEAT[8] = ON

--(报警为数字量输入N2压力为打开，空气压力为打开，炉门为关闭，酸排为打开，UPS电源为打开，UPS低电压为打开，SCR温度为打开，过温度为打开) Wait for boat to reach setpoint

--(等待舟到达指定位置)

Branch on boat alarm to step BOAT RETURN DOWN. Sonalert alarm Yes --(舟报警分流到BOAT RETURN DOWN这步) Abort recipe 02 --(Abort 程序为02) 10 LOAD OUT

--(载出)

Message BOAT OUT [3]. Sonalert alarm No

--(舟出)

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为8分钟)

Boat to 10.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 10.0 mm/min. Variable Command: No

--(舟为高位速度为600.0 mm/min到达home位置) Wait for boat to reach setpoint --(等待舟回到设置点)

Branch on boat alarm to step BOAT RETURN UP. Sonalert alarm Yes --(舟报警分流到BOAT RETURN UP这步) Abort recipe 03 --(Abort 程序为03) 11 RETURN

--(返回)

Branch always to step LOAD/UNLOAD. Sonalert alarm No --(通常分流到LOAD/UNLOAD这步) 12 CRITICAL STOP

--(急停)

Message STANDBY [1]. Sonalert alarm No --(准备)

Normal recipe 00 Zone1 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 800.0 癈

Slope 10.00 癈/min Zone3 800.0癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min ,profile table A --(温度存储在NR00, 第一区的温度为800℃，第二区的温度为800℃，第三区的温度为800℃，第四区的温度为800℃，第五区的温度为800℃，拉温的数据存储在Table A中) Boat to 10.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 10.0 mm/min. Variable Command: No

--(舟在高位速度为600mm/min回到home位置) Gas N2 [1] at 0.0 [slm ] Variable Command: No --(N2量为0)

Gas O2-LOW [3] at 0 [sccm] Variable Command: No --(O2量为0)

Gas *EXHAUST [6] at -200 [Pa ] Variable Command: No --(炉管内-200Pa)

Gas N2 POCL3 [7] at 0 [sccm] Variable Command: No --(小氮量为0)

Gas TMPPOCL3 [8] at 20.0 [degr] Variable Command: No --(POCL3的温度为20℃)

Digital out ,,,POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF Variable Command: No

--(数字量输出为POCLOPEN[12] = OFF,,*FINNORM[14] = OFF,*FINABNO[15] = OFF,*RDY2LD[16] = OFF)

Alarm Limit Setting for All Analog Output Channel at 0 %

--(报警设置为所有的模拟量输出为0%)

Alarm limit for analog input N2ACTEXH 6 at 15.0 slm at 0 % (?0.0) --(报警的设置为模拟量补偿氮为0%时)

Alarm on digital in N2 PRESS[1] = ON,AIRPRESS[2] = ON,DOORCLSD[3] = OFF,REAREXH[4] = ON,UPSPOWER[5] = ON,UPS

LOW[6] = ON,TEMP SCR[7] = ON,OVERHEAT[8] = ON

--(报警为数字量输入N2压力为打开，空气压力为打开，炉门为关闭，酸排为打开，UPS电源为打开，UPS低电压为打开，SCR温度为打开，过温度为打开) Alarm on digital in FANSWTCH[9] = ON,TEMPPOCL[10] = ON,LEVLPOCL[11] = ON,CUSTALRM[12] = ON,HEATEXCH[13] = ON,R2DALARM[14] = OFF,*START[15] = OFF,*LDINR2D[16] = OFF

--(报警为数字量风扇开关为打开，POCL温度为打开，POCL水平为打开，CUSTALRM为打开，HEATEXCH[13] = ON,R2DALARM[14] = OFF,*START[15] = OFF,*LDINR2D[16] = OFF) Wait for operator --(等待操作人员) 13 RETURN

--(返回)

Branch always to step LOAD/UNLOAD. Sonalert alarm No --(通常分流到LOAD/UNLOAD这步) 14 BOAT RETURN UP

Message BOAT OUT [3]. Sonalert alarm No

--(舟出)

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为8分钟)

Normal recipe 00 Zone1 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone3 800.0癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min ,profile table A --(温度存储在NR00, 第一区的温度为800℃，第二区的温度为800℃，第三区的温度为800℃，第四区的温度为800℃，第五区的温度为800℃,拉温的数据存储在TableA中) Boat to 20.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 10.0 mm/min. Variable Command: No --(打开炉门) Wait for operator --(等待操作人员)

Wait for boat to reach setpoint --(等待舟回到设置点) Abort recipe 03 --(Abort 程序为03) 15 RETURN

--(返回)

Branch always to step LOAD/UNLOAD. Sonalert alarm No --(通常分流到LOAD/UNLOAD这步) 16 BOAT RETURN DOWN

--(舟返回)

Message BOAT OUT [3]. Sonalert alarm No

Time: 000:08:00 (hr:min:sec) Variable Command: No --(时间为8分钟)

Normal recipe 00 Zone1 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone2 800.0 癈

Slope 10.00 癈/min Zone3 800.0癈 Slope 10.00 癈/min Zone4 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min Zone5 800.0 癈 Slope 10.00 癈/min , profile table A --(温度存储在NR00, 第一区的温度为800℃，第二区的温度为800℃，第三区的温度为800℃，第四区的温度为800℃，第五区的温度为800℃,拉温的数据存储在Table A中) Boat to 20.0 mm at 600.0 mm/min with oscillation speed of 0.0 mm/min. Variable Command: No --(打开炉门) Wait for operator

--(等待操作人员)

Wait for boat to reach setpoint --(等待舟到达设置点) Abort recipe 02 --(Abort 程序为02)

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