QA—3000型石英挠性加速度计的高性能试验结果

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加速度计的高性能试验结果 l

般，

摘要利用石英挠性支零技术 ( Fe已经开发出一个世界范围的石英挠性加速度计，9 1年 Q. i l9供赁量已达敷千套。QA一0 0型石英挠性加速度计的设计性能达到 -惯性短的新水平， 30 j还保持有竞争力的市场价格。实测性能数据表明， QA一 3 0 0 0的技术指标 .偏值和标度因数两特在征参数上都是优异的。长这三年的长期 l试数据给出 7在各种环境温度条件下的偏值和标度刹因数的重复性这些敷据展示了笠改进降低了误差的温度特性反应时间和韬熙数据提高了 位置检测器混合电路的性能 QA一0 0型石英挠性加速度计是按照森德斯坦特标准生产的买 30来即可用的产品。

引

言

森德斯坦特生产了一个世界范围的石英挠性加速度计，增长率超过了百分之二十的年它应用范围可从商业飞机的惯性导航系统 (Ns)卫星发射的制导系统和导弹的飞行控制系 1副统。

早期的石英挠性加速度计应用于导弹的中制导。 A一0 0石英挠性加速度计和环形激 Q 20型光陀螺一起，在商用飞机和军用飞机的惯性级导航系统领域，建立了新的可靠性标准。石英挠性加速度计在空间的应用有：天飞机机体转弯的测量、射制导、动控制、移轨道的速航发章转度关机，以及微重力的测量等。

导航与制导工业是具有强烈竞争性的。在振动，冲击、温度和辐照条件下，对参数的稳定性要求十分严格。两次校正测试之间的时间跨度要平稳地增加。接通电源引起的偏值漂移对系统精度和响应时间有影响。样影响引起的漂移的容许值在继续减小。年贮存之后，速度这多加计的性能仍应在指标要求以内。对 QA 3 0 0 0型石英挠性加速度计提出的设计要求是：到更达高的性能标准，仍保持大批量生产所具有的成本低的优点。而 2 7

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工作原理外加加速度引起了一个作用在检测质量组件上的力矩。检测器敏感相应的位移，生一个产

与之成比例的输出电压经放大和调节后，出信号反馈到和检测质量相固连的力矩器绕组。输 反馈电流流过位于永久磁场内的力矩器绕组时 .便产生一个和外加加速度引起的力矩大小相等、向相反的恢复力矩。该电流流过外接负载电阻，可得到一个和加速度成正比的输出电方就压。

石英挠性加速度计 Q— l表头 Fe xQ— l Fe x表头 ( 1采用石英挠性接头悬挂检测质量，图 )以避免通断电的滞后误差和振动整流误差。表头是于式的 .件敬伊少，零目前尚不清楚其磨损模式。 QA一0 0表头设计水准的提 30高 .益于二十年来在材料和工艺上的不断改进和完善。自动化的表头测试与筛选装置确保得全了一个具有良好的性能/格比的假表的生产价表头是一个单轴、量线加速度测

的机电装置 .以下主要元件组成：由 一

个摆式悬挂的检测质量 . 只

有绕表内一个经过精细加工过的轴转动的自由度； 一

个传感器 .以敏感检测质用图 I典型的 Q-F e - lx组件

量绕其固定轴相对于绝对几何零位的微小位移； 一

个位于永久磁场内的，固连于检测质量的力矩器绕组当电流流过绕组时 .产生并可

作用力，其； l测质量上。将 N￣捡 J

技术说明

石英挠性加速度计是一个力平衡、闭环、眼线加速度计。它的特点是有一个经蚀刻的石伺英挠性检测质量悬挂系统 .以实现全弹性的、孵损的悬挂。这个检测质量系统和一个专门设不计的固体混合集成电子模块被装入一个用激光焊接密封的组合件内。

表头结构在石英挠性表头的设计中 .测质量中在一个方向上是高度柔性的。是通过在一块熔融检这二氧 t硅毛坯上 .特种工艺形成挠性接头和检测质量来实现的。该石英摆片零件见图 I匕用。在石英薄片上加工出一条环形槽，成了一个中心圆盘。中心圆盘通过两根薄而窄的平形桥，接到一

个完整的外圈上薄的平桥可以挠曲，外圈作为其支承结构。通过真空淀积金连而

属薄膜的方法，在中心圆盘上形成导电层.用作差动电容检测器的电极板在两根挠性平桥上， 通过同样的真空淀积金属薄膜的方法 .成检测器信号和力矩器驱动电流的导流线。矩器绕形力组粘接于中心圆盘上，电气连接。中心圆盘与力矩器绕组构成检测质量元件。该挠性/测并检磕量组件被夹紧在两个对称的磁回路结构之间。 QA一 0 0表头比 QA 2 0 30 0 0表头要长 0】寸个增加的长度是为了提高性能而进行的 .英这

改进设计为了互换性，部分长度加在安装凸缘上部，安装凸缘以下部分的加速度计外罩这而

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尺寸仍和 QA一 0 0相同。QA一0 0的基本外形尺寸和电气连接关系示于图 2 20 3￣ 0。在检测质量和磁结构的两个基准表面之间，成两个小而精密的空气隙，成了整动电容形构传感器。隙内空气运动可提供阻尼，用充液这种结构就可实现高阻尼。上常用的伺服电气不加路后，阻尼因电路的阻尼而增强。 Fe该 Q— l x的低信号相移，对

于高性能捷联惯导系统来说是十分重要的。

混合伺服电路伺服电路的功用是产生一个与传感器信号成比例的电流加到力矩器绕组，产生的电磁力正好和惯性厦作用力相平衡。于是，流过力矩器的电流即是加速度的精确测量。囤 2中引蠖拉砷用

I

1信号输出 -2电漶自试骚

6置鹿传{转出 -‘霉7电压自试验

3一 l~~ lv直漉电潭 8地 . 3 8 . 4十 1~+】 V直漶电源 9~ lV直洼 t簪出 . 3 B . 0

5童端 .

】. l v直漶电辖出 0+ 0

QA一0 0伺服电路是第五代的设计，利用森德斯坦特 30它研制的混合电路，可直接安装在表头的结构上。电路和表头

之间的连接，采用激光焊接并密封。伺眼电路使加速度计构成‘ 闭环，供常规的电流输出 (图 3。提见 )伺服电路包括：激励振荡器、密差动电容位移幢测器、精 伺服放大器和反馈伺服补偿电路。荡器/测器

给出直流输振检图 2 QA一0 0外形圈 30

出电压，电压和检测元件的线位移成正比。电路的设计可以将失真，器件公差和温度等影该元

响降低到罪小 .移柱 i器的增益很高，位 j ! l可以将伺眼放大器的输入失调电压和失调电流的髟响降低到晟小。检测器信号经放大器加烈力矩器以及与之串联的加速度计外接读出电阻上。回路增盏和通壤带形状受伺服放大器的电流反馈所控制。频率响应、态量程、动整动振流噪声和回路的稳定性由反馈络决定。 反馈网络的设计使电压标度因数 (出电 C读

阻)有一个很宽的变动范围，外加滤波对伺服电路的特性或表头的性能不产生影响。

可靠性在大多数商业飞机上采用的三重环形激光陀螺捷联惯导系统中，干块石英挠数性加速度计已经累计飞行了几百万小时 图 3 QA一 00伺服电路功能方块图 30继续在表明这种加速度计的平均无故障工作时间已经超过 5 0 0 0 0 0小时。

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一

性能指标

其中特别值得注意的是它的标度因数和偏值的综合重复性。由于 QA一0 0继承了许多先 30前的石英挠性加速度计的设计、料和加工工艺，以，前加速度计的优异品质和可靠性试材所先验数据对于 QA一 0 0是适用的。根据先进人马座火箭发射制导程序的订单， 30也 QA一 0 0已进 30

行了广的设计验证试验表 1是 QA一 0 0速度计的主要性能指标。 30加

试验结果在良好的不通电贮存条件下和在逼真的工作环境条件下，完成了大量的试验测试工作，累积了短期稳定性和长期稳定性的数据。

表 1 QA一0 0性能指标 30典O A2 0 00

QA3 0 00一 O1 0

QA3 0 QA3 0 00 00— 00 2—00 3

倔值综☆哦复性

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1 80

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6 0

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l 60

8 0

伺服电路设计的优异对称

性 .得通电温度梯度

引起的电使路零漂减小到最低限度。图 4为加速度计输入轴处于水平，通即常为 0毒时，电后因温度趋 g禽入通于稳定引起的输出漂移。加速度计内部温度传感器的输出反映了内部功耗引起的温升过程。未进

衍鹰闪敷鹰模1 0 0 70 ^ 0

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5t H z ) 0

奸补偿时，升将引起一个很小的输出漂移。应该指出，用厂家提供的温度模型系数进行温温利 I『,么，偿后的输出漂移实际上已不复存在。 、那偿补

地震环境表 2给出了在非工作振动环境

下的短期稳定性共计有】 9块 QA一0 0表头进行了标度因数和~ 30 偏值的测试。然后， 5g下冲击 3蟋 在 0

驰m m舯㈣0,

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树

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次， 1m,个正交轴， I翟每次 0s6共计 8次冲击。接着，行 8 9 r s均方，进 .gi ( n根值 )随机振动，个轴振动的每6s 0。振动谱见图 5。

一 一

最后，输入轴进行 1. gi 沿 3 3r s nf方根值 ) 8s的随机振动，均 l 0完成了环境试验全过程。振动谱见图6

—

时间【 ij m n国 d QA3 0 0 0低的通电/加热漂秽

每次试验中全部漂移的绝对平均值和累计漂移的绝对平均值 .见表 2。

3 O

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辐照试验OA一 0 0特殊设计丁一个新的、 30专利的位移检测器 .有耐高辐照剂量的具

表 2 QA—0 0环境稳定性 S0冲。 随机振动8 8 m￣ 1 . B 9r 3 3 m

累计漂移

优性能。9 9年下半年 .德斯坦特试 I8森验了两块 OA一 0 0混合电路耐中子照 30射的稳定性试验。这两个电路的编号为}和 2分别放置在 I 1和 2 5× ,× 0 .度 W敬螵移

5 8. 2 0 1

监 .m 8

1 2

9

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1中子教/ m。。结果 . 0 c处两个电路都轻

偏伉攥移8

易地

承受了辐照试验，只有很小的偏值漂移，移量低于测试分辨率。当时间和漂

温度影响不大时+其漂经约在 1 g以下。这表明， 0 它的性能至少是这个水平。在辐照试验前，个电路和一个每 OA一 0 0表头配套再进行翻滚试验求 20出标度因敬和偏值。辐照试验后 .各在在种情况下用同一个表头重复上述的翻滚试验。并在环境温度附近测量了这个表

/’.一

头的标度因数与偏值的温度系数，别分为 7 p m/和 1/。 7p℃ s℃ 0

y\ \:: C

在辐照试验前的 I8 9 9年 7月 2 5日 .行了标度因数和偏值的测试。试进测结果见表 3标度因敬读敬良好的重复。性表明，验期间的环境温度条件是稳试2 D 9 0:3 :

定的。由于该表头标度因敬的温度系敬

图 5 OA 3 0 0 0加速度计的振动谱

为 7p m/所以，际的试验温度变化应小于 0℃, 7 p C,实 I叉因该表头偏值的温度系数为 1./C. g '由温度变化引起的偏值漂移约为 Ig 0 。为此，指标的偏值差 2,补偿偏值差为 7g经2它代表了辐照试验前两个混合电路之间的实际偏值差。 8g, 上述辐照试验前对两个混合电路的测试是在森德斯坦特完成的。而中子辐照试验是 18 9 9年 1在远离森德斯坦特的一 0月个地方进行的。混合电路 1射量为 1 照×J,一

;一 !j .— L .,J

、、

1 0中子数/m,合电路 2 c混的照射量为2 5 1”中子敬/ m。由于试验地点遥 .× 0 c远.没能取得试验中间的数据。距离试验远同样会引起处理误差和时间漂移误差 .这

/粤

一0{ jc 2;

就限制了试验的分辨率辐照试验后于 18 9年 1 9 0月 3 0日进行了标度因数和偏值测试，果见表 1结。此外 .据标度因数良好的重复性可以推算根

| .图 6 OA一 0 0加速度计的振动谱 30 31

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出环境温度条件是稳定的 .应于温度的变化小于 0 2。引起偏值的温度变

化约为 2 g因相 .℃这 。

此，补偿前偏值差 2 8g补偿后偏值差 3 p。这代表了两个电路在辐照试验后的实际偏值差。 0g, 表 5辐照试验柏数据 表 4辐照试验后数据标度数( mA/ S1S/ l NS/ 2 N

伯值( g) u29 52 2 a

杯度旧数( A ) mS/ l N 1 2B1,5 . 1 4

伯值(g¨23 2

l们 6^ 2 21们 64 .2 9 0 O 00 .0 0 7

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2 042 8

A

2 7

( op ) 6 m

(4 p ) 1pm

初看起来，台电路 l混和 2在辐照试验后 . 偏值漂移分别为一 2 g 7g和一 2 p。但这中间 8g

还含有表头偏值温度系数、表头偏值热滞后、时间漂移和测量误差的影响。混合电路对标度因数的漂移的影响机理尚不清楚。已知标度因数的温度系数为 7 pm/, 7p℃表头内装有一个温度传感器，以用来补偿表头偏值的温度误差。可经偏值△s/ l N S/ 2 N — 2 7— 2 B

表 5温度修正后的偏值漂移信值

A 缸鹰2. 0 1 9 .

修正

宴标偏值 A

过温度补偿或修正后的数据表明，l电路的偏值漂移为 7g,电路的偏值漂移为一 9g p 2 。详见表 5。

2 O l 9

— 7 — 9

由于存在有较大的试验误差 .际性能很实可能要比上面给出的漂移好得多。头温度滞后的影响，间漂移 .及测量误差等难以确定，表时以 其大小可能和给出的漂移一样大。因此，要测定 QA一0 0合电路的优异性能，要进行更高 30混需精度的试验。

时间稳定性森德斯坦特采用试验和分析两种方法来鉴别 QA一0 0型加速 30度计的性能精度等级。图 78 9和、、1 0是借助计算机得到的一系列温E

样弭

度翻滚试验 (的性能参数图。 T) a在这一系列试验之前，些假表已经这

蟑

进行了 4 8次温度循环，度范同温为： 5一6℃~ l 1 -在每个极端温 2", C度上保温 l时。一个数据点都小每是在从一 5℃到+ 9

"间进行 5 5C之士l g翻滚试验所取得的，样就这图 7标度因数重复性佃.

。。

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可以用来确定温度模型的系数。

图7图8和分别描述三块典型的 Q一 0 0 A 3 0型加速度计 (三块表分属三个精度等级一0 1 0、一

0 2一0 3在三个月期间标度因敦和偏值测量的结果。这三个精度等级的稳定性都非常 0和 0)

高。图 9和图】分别是它们标度因数温度滞后和偏值温度滞后的类似曲线。 0温度滞后的大小随加速度计所在处的温度最大值而改变 QA 30 0 0的设计已将这些影响降低到晟小程度。如

3 2

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上所见， QA一0 0的标度因数和偏值的温度{很小，且很稳定 30带后而图 I~图 2 l 6为 QA一0 0加速 30度计长达三年的优异的长期稳定性 敦据。图中记录了 8块被试加速度计中每一块的标度因数 ( F)标度 S、因数温度系数 (F S TC)、偏值 (I BAS),以及偏值温度系数 ( T。每次试验期间，速度计 B C)在加都经受两次全温度范宙 ( 5℃~一 5+9℃ )温度循环。在两次试验 5的而

之间，们都处在良好的贮存环境它国 8偏值重复性中这样，较好地评价它们的温度特性，为试验提供了接近于真实情况的场地条件。可并

从来补偿的原始数据曲图 1 8线( 1 )~1可以看到外部案件带来的附加髟响。这些曲线表明，在整个试验期间存在共模漂移， 这种漂移不能归结于加速度计的误差清楚，种长期稳定的基本特很这性可以撵除任何批次性的因素，否则就可能认为是加速度计本身的误^

4}。t2 D

嚣偏值度盾 q¨ I取 i温滞子0月o准霉旨

主} E晖 2f l‘口1叶

== =:翁掣窖， ! 6 .!t} , 4似 1’

差。因此，共模漂移可归结为试验站的误差，掩盖了加速度计的实际它

重复性。谨慎地提取出 QA一 0 0的实 30际重复性曲线在图 l~2 g 6的补偿

嚣 -— f ! — 坐. ! !二 .罂¨ t 1 m 1碑。忙挂} f%硝濞≈| f转

国 9偏值温度滞后重复性

后的曲

线图中给出。这些图是这样产生的：

首先，建立试验站的误差模型，用来代表任何一天的测量误差在这里取 d十或 4以上个的数据点作为共模影响的近似值。试验结束时的数据归一化为零。取每组数据的平均值代表试验站的误差。

同时，必须观察数据中的异常修正的适用性。好几个这样的数据

m I“ f

标虞数温度子啤 1 O取雀茸后 1 H 日l

值，否则，些异常值可能髟响误差 i埘f这

来是太突出了，故必须剔除。 予以系列编号为 X U9的加速度计在某天

可此弃，有一据看鬈— ,— _. - -萨扫能因而舍只个数 喀 — - _ -——一 ;f7

。

。

它加速度计看变化正好 到的趋势相反。因此，中给出了这一点，谪图但

测中樽标因值所其： 口/,/抽 l7试测的度数和有 田帕 舶 J,三 r 钾—蒜 l _’ 5

—

J

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离了补偿图。 圈 1标度因数温度滞后重复性 0从每个仪表的测量数据中，击试验站合成的误差模型，减便可求得加速度计真实性能的一阶近似

接着，利用最/ -乘法对试验站的误差模型作线性拟合这需要对每~个点进行计算， b并

3 3

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加到校正后的加速度计数据 E。补偿 .除丁趣 f试点明娃的异常数据 .保持加速度计 消测而

长期删试敬据的有效性~。= T=]X‘ l 、

0【一.

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囤】束补偿的标度因数温度泉数 3。

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图 I未补偿的标皮因数 2^r 5■● ‘ ,1

圉¨未补偿的标度因数温度系系敷 2 H^f了 X2 M

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未补偿的偏值

图 I未补偿偏值温度系数 7I C2

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图 1 6

未补偿的偏值

表 6~表 9给出了每个加速度计一年性能的斜率 (LO E)三年晟坏情况下绝对平均值 S P、( o。三年的晟坏结果是： 3)标虚散 (S ) 2 p m F:7 7 p 偏怕

y ( IA t￣ S’3 u];35B度系数 ( T 0 1 _ B c1 . 7 g, ' (

标鹰数姒鹰系散 ( F S TC) 0 9 p m/ : 5 p ' C

-

3 1

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圉 2补偿后偏值 1

图 2补偿后偏值温度系数 6

由于补偿方案的限制，速度计的实际性能多半要比上述给出的好。因此 偿只能消除加补任何测量谋差的共模分量 .测量诤差仍包含在数据中。果给出了共模误差的大小 幺，机如那随

分量应表示为残余人为误差的重要误差源。若干个所观测的数据表明，们仍包含在已补偿过它的数据内。 YGL的早鞠数据+能含有同样大 r的试验测量误差，可】、 f园当时来和加速度计一旦是-

3 - 5

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这 起试验，以不能得到补偿。我们同样可以假设，是影响 XU9标度因教的共同的异常因素所

使它的温度系数更高，这个而误差并未从记束朴搂斜奉S/ N

表 B补偿后斜率( pm) p

均擞伉

均根恤

录的数据中除去。

3年( m) pp

(p 0r o

( n) pp n】 C2— 4 3 .1—

( PPM )一 l 6 _ 7 2. 2 2— 0 1 . 5 2 8 8 3 5 . B 1 8 . B 1 . 5 3 6 】 .4 7 6 0 O

在森德斯坦特，集这采些数据的测试系统还在继续 改进。最近在C GT (罗 I F霍曼空军基地)

1 26 0 9 2

. 8 9 2 . 7

0 9 .4

X2 M

— O 3 .3

X2 vx6 M

4 3 4一 1 5 .0

85 .58 9● .

4 6】 .1 6 . 6

2 6 62 4 7

2】 81 .】 .2 3

XU 9XW】

—6 2 .2一 15 . 6 52

82 .3】 . O 53】 .7 O 8

—19 .3— 1 32 . 1 5 . 3

1 6 82 8 . 3 7. 7I

f… -

t )

1. 7 I3】 . 5 2 4 27 72 .

举行的制导测试讨论会上， 介绍了一个大大改进的测试均怕嚣

一036 5 . 1 24】 17 5l2

9删 .O 9 I 2 . 7 44

0 6 7 .1 5 822 35 .82 9

3 27 .65】 8 9 3 .7 55

】.62 54 l56?29 . 26 6

系统 (表征一个电流输出型加速度计的高精度技术”D. ete)“, E W nz]。这样的测试系统最近正在森德斯坦特投入生产，它。

表 7繁补偿’

+偿}斜卑 (p p m℃ )0 6 .0 3 0 1 .O 4 O 3 .O 8 0 85 .0

必将有助于在以后的测试中减少误差。 上述试验1 2 C s/ N

村卑

均^楸仳( MS R

均，报值，3 F “t s ) M

( p℃ p m/— 0. 5 0 5—

{ pn p n/C )O 3 1 4 O】 61 O】 77 0 81 .】

( p/℃ ) pm0. 4 0 3 0. 071 0. 6 0 6 0 3 0 2

(p℃ p m,O 3 8 . 1 0 2 5 . 5 0 3】 . 2 0 3 . 5】

结果虽然是根据一个小样本仅 8个加速度X2 M X2v

0 06 4 O 32 .】 O 79 .】

计的试验数据，是，些但这数据预示了Q— lx系列 Fe

X6MXU 9

O 18 .OO●7 .3

O 66 .】0 81 .】

0 2 .1 60 5 .2 3

0. 2 050 6 0 3

0 34 5 O 9 柏

Xw】YGL

O 13 .O一 0. 0¨

02 1O 2

—0 5 .00 I .0 6

0. 84 0 O 7 O

032 .1O 5 2 8

加速度计性能的新水

平。这些性能表明，

均优偏差

0 07 .70 18 1 . 3 3 2

0 1 2 .5 5008B .3a日

0 0 8 2 .6】50 0】 9 0 28

00 67 . 5350 0 8 4 . 1 0 3

0t 1 1023 4 . 3 9

QA一0 0将成为新一代高精度制导系统 (先进人马座 ) 30如的选用仪表。

结束语在石英挠性加速度计基本设计的基础上，过二十年来继续不断的努力改进，德斯坦特经森新型的 QA一 0 0加速度计达到了最高水平。 30以前的石英挠性加速度计的飞行历史和可靠性同 3 6

QA—3000型石英挠性加速度计的高性能试验结果

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样适用于 QA一 0 0这是因为它们的设计和结构是相似的。 30, 对于未来的精确导航系统 .文介绍的 QA 3 0本 00型石英挠性加速度计的性能可以提供高精度的线加速度信息。其相同的接口连接可以很容易地接入到为工业标准 QA一0 0型石英挠 20性加速度计设计的系统中去。QA一00以其密封焊接结构和低于 lg的加速度阈值，以理 30 p可想地用于空间墩重力过程的监测。表 8朴偿均矗撤值S/ N

朴偿后斜率( ) B( g) u ( Bl一● 2 . 8 5 I 4 2 . 8 26 2 1

均，般伉，“t S M

斜率q, g

f RM S)

3年( B)

ltI Z C — .9 —3 7

1 cV

1 9l

7 65 .5 92

1 39 .— 2 8 . 4一 m 42 2 9 .0 5 05 . { 2 9 6 84 .

2 .8 9 52 . 7 3 6 I 1{. 3 2 7 6 9

—

—

0 3 0 2 6

{ 8● 6 3 . 9

X6 M

XU 9 一

6 286 5 3—

5 7 35 l 5 I8 . 7

5 896. 4 7 2 83 . 3 87 3 B 4

3 .4 3 B3 . 3 1 s I 9 8. 3

—

1 4 9

均仇偏雄

一0 4 7 35 _ 0 19 l 0 4

9l 2 . 15 2 043 .06 3

D 9 7 . 65 40 61 2 7

5 3 5 .l 2 l B 5 6 7 2

2 .65 5 8 7 66 8 5 l

表 9B TC斜率S/ N

补偿均橄能f MS) R

补偿后斜率t g/ ) u℃ (℃ g f g/C’ ' 0 0I . 9— . 2 —0 0 2— .0 5—0 4 — 0. I 0l

均打根恤( MS' R

3{: f

( B,℃

( g/℃

一

0 01 8

0 3 .0 50 3 0 B 0 3 0 3 0 4 .0 3

0 1 .0 60 I .0 5 0 0l . 1 m l 03

0 0 .1 50 I .1 l 0 6; 1 8 0 26 .I

1 v c x2 M X2 v

一 0 0 . 23一 0 04 3— 00 —0 9

X6MXU 9 XW t

— . 7—0 0D0. 0 0 6 0 0 0I . 1

O 31 .O0 1 O 0 0 . 26 0 25 .0

—0 1 — 0 ) 60 0 0 4 O 0 0 2 0 .0I ,

0 O】 . 10 0 2 2 0们 5 m 7 02

D 5I D0 07 . 8 0 0 . 51 0 32 .I

均俩

一 0 0 .1

0 0 . 3 4

— 0015 . 0

0 0 15 8

0 07 .12 5

恼苊

0 0 9 4 . 1 8 7

0 0 6 5 . 058

O 0 8 2 . 1 7 d

0 0 7 0 .0 47

0 0 0 7 485

致谢 ( )略殷正和译自￣ EEE Ae o p c I rs a ea lc r ni s e》 nd E e t o c Sy t m M a zne J ne 99№ 6 ga i u I 2.

苴允祥校 j

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