Tescan 扫描电镜操作规程

Tescan 钨灯丝扫描电镜操作规程

1.点击Vent （操作界面右下方）按钮，放气。等待右下方显示Venting Finish,即可进行下一步操作。

2.装载试样。需将试样用导电胶粘紧。（放样时注意操作界面Z轴距离，钨灯丝100以上。）检查每一个螺丝是否拧紧。不应有露在外的螺丝头。

3.小心关上仓门，点击Pump（位于Vent旁边）。 抽真空。等待Chamber 真空度 钨灯丝到达5*10以上即可进行下一步。

4. 操作前参数检查：

A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。

B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10，打能谱时调节为12。

C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-7标号）。样品台会移动到视野内。

5.调节Z轴 逐次减小，使样品接近镜筒。（这个值为样品台到镜筒的距离。所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z轴至20。

6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。当视野中图像模糊，

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但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。再放大，再聚焦，直至达到需求即可。

如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况： 1）调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment中第三项 弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。

2）图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg右手边一竖行快捷键中。然后调节轨迹球。（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不在变形，再聚焦。

（一般要求调节清楚地放大倍数大于需要拍照倍数。例如：需要1000倍，则应将2000倍调节清楚。）

7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，视野右手边一竖行快捷键中选择选项，然后轨迹球上下调节对比度，左右调节亮度。

8.右手边一竖行快捷键中选择Speed选项选择扫描速度6或7，（调节时Speed选择4以下）。然后点击右手边一竖行快捷键中最后一项保存照片。

9.重复6-8完成拍照。 10.实验完成后归位操作：

A. 将Z轴输入钨灯丝100，使样品台降回原位。

B. 放大倍数调至最小（MAG可以直接输入0，则自动变为最小值）

C．扫描速度最低（speed调节为1）； D．关闭高压（点击HV）。

11.点击Vent放气，等待完成后拉开仓门，取出试样后仍然应当将螺丝拧进去。

12.取样完成后关闭仓门抽上真空。 补充：对于试样：

A．不导电样品应选择喷金或喷碳。 B．块体试样底面应尽量平整。

C．粉体试样，粒度相对大的可以用镊子夹取按在导电胶上，粒度小的细粉应拿不与之反映的溶剂分散后，滴一滴在锡箔纸上。

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