微纳米测试技术题及答案

Q.1 微纳米测试技术包含的尺度范围是多少?微纳米尺度测试对微纳米尺度制造发展有

什么重要作用?

答：尺度范围：微米尺度: 0.1um ～mm ，纳米尺度:0.1nm ～0.1um。

重要作用：测试技术是微纳米技术的基础；

测试技术是微纳米技术进一步发展的保障；

测试技术也是微纳米技术应用的具体体现。

Q.2 分析说明微纳米测试的特点和内涵? 答：特点：被测尺度微小,处于微纳米级;

样品小,样品固定困难;

信号量相关时信号弱,信噪比小; 微纳米测试尺度范围大107(nm～mm); 现有ISO公差不适用;

几何量测量中非接触方法使用多.

内涵：被测样品、工件的几何尺寸在微纳级；

被测工件的精度在微纳级；

以上样品相关性能的测量方法和测试技术；

Q.3 试述真空镀膜中在线测量薄膜厚度的主要方法?

答：台阶仪，椭圆偏光仪，球磨法（球磨法能否用于在线测量）。其它

??学干涉法 ??涡流法 ??容法

??微镜观测法 石英晶体法……

Q.1 薄膜、小体积材料、微结构材料力性能测量方法有那些？

答： 测量硬度、弹性模量、屈服强度、断裂性能、疲劳的方法有：纳米压入法，微梁弯曲，

鼓泡法，微拉伸法及其它方法。

测量结合强度：划痕实验、引拉法，剥离法。

测量应力：旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载变形法、临界挠度法等

Q.2 纳米压入法如何测量薄膜材料力学性能? 那些因素会影响薄膜力学性能的

测量结果? Sinking-in和piling-up分别会对测量结果有何影响?

答：

Q.3 微梁弯曲法中简支梁、悬臂梁、两端固支梁样品对测试装置的要求有何不

同？微拉伸法和鼓泡法测试的特点与难点是什么?

Q.4 划痕法测结合强度的影响因素有那些? 答：

Q.1 什么是横向分辨率和纵向分辨率,从分辨率和量程要求论述如何选用微器件

结构参数的测量方法?

Q.2 两维测量方法有那些,特点和适用性如何?

Q.3 那些方法可实现三维微结构的测量?论述三角法的基本原理?那些因素会影响三角法的测量的分辩和精度?

Q.1 MEMS器件动态性能测试的困难是什么?电测法的优缺点是什么? Q.2 和宏观样品相比, MEMS器件动态性能的三个环节有何异同? Q.3 高速摄像和频闪显微进行动态性能测试中的适用性有何不同?

Q.4 频闪的作用是什么?微器件动态性能测试中如何使用频闪技术?

Q.1 什么是方块电阻? 方块电阻有什么特性?如何用四探针法测方块电阻?

Q.2 试述如何采用范德堡法和改进的范德堡法测量薄膜电阻? 比较说明两种方法的特点.

Q.1 超精密加工表面粗糙度的测量方法有那些？取样长度和仪器分辩率会对评定结果有

何影响？

Q.1 什么是等效粒径？纳米颗粒粒径测试方法有那些？各自的特点是什么？

Q.2 比表面积定义是什么？BET比表面积测定过程和特点是什么？

Q.1 SEM工作原理及对样品的要求？SEM主要特点是什么？SEM如何进行微结构几何参数的

测量？

Q.1 STM与AFM的工作原理是什么？

Q.2 STM工作模式有那些，分别有什么特点？AFM工作模式有哪些，各自有什么特点？

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