传感器原理
更新时间:2023-11-24 00:37:01 阅读量: 教育文库 文档下载
《传感器原理及应用》试卷四
适用班级:(电子071 ,072,073,074,075) 题号 得分 一 二 三 四 五 六 总分 核分人 得分 评卷人
一、填空题:(共20空,每空1分,共20分)
1、传感器一般由 、 、 测量电路和辅助电源四个部分组成。
2、气敏电阻传感器是利用半导体对气体的__________作用而使其__________发生变化的现象来检测气体的成分和浓度。气敏电阻传感器通常由 、 和封装体等三部分组成。
3、为减少电容式传感器在使用中存在的______________,可以在结构上加保护电极,但要求保护电极和被保护电极要为______________。
4、变隙式电感式传感器与螺线管式电感式传感器都可以用来测位移, _____________线性范围大,______________测量灵敏度高。
5、霍尔片越厚其霍尔灵敏度系数越__________(大或小),霍尔灵敏度系数的含义是指____________________________________________。 6、热电偶产生的热电势一般由 和 组成。
7、压电元件可以等效成_________和_________并联的形式,若用来测量体重一般________(可以或不可以)。 8、光电倍憎管的结构由 、 、 和玻璃罩四部分组成,
得分 评卷人
二、单一选择题(共5题,每题2分,共10分)
9、如图1为实心柱体上粘贴的应变片,下列说法正确的是( )
A、R1为拉应变 B、R2为拉应变 C、R1为压应变 D、R2无应变。
10、一般在家用数码摄象机中用于成像的器件是( )
A、 光敏电阻 B、CCD电荷偶合器件 B、 C、光电偶合器件 D、光电三极管
11、两个型号相同的压电片串联使用时,下列说法正确的是( )
A、等效输出电荷增大一倍 B、等效输出电压不变 C、等效输出电荷不变 D、等效输出电容不变
12、有关光敏电阻的描述,正确的是( )
A、暗电阻大 B、亮电阻大 C、暗电流大 D、亮电流小
图1
13、热电偶的冷端补偿方式不包含( )
A、计算修正法 B、标准电极法 C、冷端延长法 D、电桥补偿法
得分 评卷人 三、简答题:(共8题,每题5分,共40分)
14、传感器的标定有哪两种?标定的目的是什么/
15、如何克服电容传感器的寄生电容?
16、简述热电偶中间导体定律的内容及使用价值。 17、什么是霍尔元件的不等位电势?如何补偿?
18、简述电阻应变片式传感器温度误差产生的原因及补偿方法。
19、什么是光电效应?列举几种基于内光电效应的光电器件(至少三种)。 20、什么是电涡流效应?说出电涡流传感器的结构组成。 21、什么是压电效应?
四、综合分析题:(共3题,每题10分,共30分)
22、如图2所示为一自动生产流水线上的自动计数装置,R为光敏电阻,请分析: (1)该装置的工作过程。(5分)
(2)画出A、B两点的电位变化波形示意图。(5分)
23、如图是一种应用热敏电阻组成的电机过热保护线路。(1)简述A、B、C、D各部件的作用(4分),(2)简述电路的工作原理。(6分)
24、两个初始电阻值为120Ω电阻应变片粘贴于悬臂梁的同一表面上,如图4所示,应变片的灵敏度K=2.0,与两个阻值为120Ω的定值电阻接成电桥, 若供桥电压为2V,粱端受力发生应变时,电桥输出为40mV,求: (1)、画出对应的测量电桥,并简要说明该测量电路的特点。(5分) (2)、两个应变片的电阻变化量ΔR及应变量εX。(5分)
《传感器原理》测试题
班级: 姓名: 学号:
一、在右下图所示的电桥中,R1=1000Ω,R3=1500Ω,C2=1μF时电桥平衡。电容C4是多少?(5分)
二、压力传感器测量砝码数据如下,试解释这是一种什么误差,产生这种误差的原因是什么。(7分)
N(g) 0 1.0 2 3 4 5 正行程(mv)0 1.5 2 2.5 3 3.5 反行程(mv)0 0.5 1 2 2.5 3.5
三、一个量程为10kN的应变式测力传感器,其弹性元件为薄壁圆筒轴向受力,外径20mm,内径18mm,在其表面粘贴十二个应变片,四个沿周向粘贴,应变片的电阻值均为100Ω,灵敏度为2.5,波松比为0.3,材料弹性模量E=2.1×10Pa。要求: ①绘出弹性元件贴片位置及全桥电路;(8分)
②计算传感器在满量程时,各应变片电阻变化;(6分)
③当桥路的供电电压为10V时,计算传感器的输出电压。(6分)
四、什么是电感式传感器的零点残余电压,有哪些方法可以进行残余电压补偿?(8分)
五、用镍铬-镍硅势电偶测量某低温箱温度,把热电偶直接与电位差计相连接。在某时刻,从电位差计测得热电热为-1.19mv,此时电位差计所处的环境温度为15℃,试求该时刻温箱的温度是多少度?(10分)
镍铬-镍硅热电偶分度表
测量端温0 度℃ -20 -10 -0
-0.77 -0.39 -0.00
1 -0.81 -0.43 -0.04
2 热 -0.84 -0.47 -0.08
3 电 -0.88 -0.51 -0.12
4 动 -0.92 -0.55 -0.16
5 势 -0.96 -0.59 -0.20
6 (mv) -0.99 -0.62 -0.23
7 -1.03 -0.66 -0.27
8 -1.07 -0.70 -0.31
9 -1.10 -0.74 -0.35
11
+0 +10 +20
0.00 0.40 0.80
0.04 0.44 0.84
0.08 0.48 0.88
0.12 0.52 0.92
0.16 0.56 0.96
0.20 0.60 1.00
0.24 0.64 1.04
0.28 0.68 1.08
0.32 0.72 1.12
0.36 0.76 1.16
六、下图左是电容式差压传感器,金属膜片与两盘构成差动电容C1、C2 ,两边压力分别为P1、P2。下图右为二极管双T型电路,电路中电容是左图中差动电容, E电源是占空比为50%的方波。试分析测试电路的工作原理(8分)并说明:
1.当两边压力相等P1=P2时负载电阻RL上的电压U0值;(6分) 2.当P1>P2时负载电阻RL上电压U0大小和方向(正负)(6分)。
七、下面是热电阻测量电路,已知R1=10KΩ,R2=5KΩ,R3=10KΩ,E=5伏,试说明电路工作原理(5分)并计算: 1. 已知Rt是Pt100铂电阻,且其测量温度为T=50℃,试计算出Rt的值和Ra的值(10分) 2.计算T=50℃时电桥的输出电压(检流计两端电压)。(5分)
.
八、什么是正压电效应?什么是逆压电效应?超声波传感器利用压电材料制成发射器和接收器,说明它们各利用哪种压电效应?画出电荷放大器的等效电路并推导其输入输出关系。(10分)
成都理工大学《传感器原理与应用》试题1
一 填空(每空1分,共20分)
1.通常传感器由___________________部分组成, 是能把外界________转换成________器件和装置。
2.金属丝在外力作用下发生机械形变时它的电阻值将发生变化,这种现象称______效应;半导体或固体受到作用力后电阻率要发生变化,这种现象称_____效应。直线的电阻丝绕成敏感栅后长度相同但应变不同,圆 弧部分使灵敏度K下降了,这种现象称为_______效应。
3.螺线管式差动变压器式传感器理论上讲,衔铁位于中心位置时输出电压为零,而实际上差动变压器输出电压不为零,我们把这个不为零的电压称为________电压;利用差动变压器测量位移时如果要求区别位移方向(或正负)可采用______________电路。
4.把一导体(或半导体)两端通以控制电流I,在垂直方向施加磁场B,在另外两侧会产生一个与控制电流和磁场成比例的电动势,这种现象称________效应,这个电动势称为_______电势。外加磁场使半导体(导体)的电阻值随磁场变化的现象成________效应。
5.某些电介质当沿一定方向对其施力而变形时内部产生极化现象,同时在它的表面产生符号相反的电荷,当外力去掉后又恢复不带电的状态,这种现象称为_______效应;在介质极化方向施加电场时电介质会产生形变,这种效应又称________效应。
6.在光线作用下电子逸出物体表面向外发射称________效应;入射光强改变物质导电率的现象称________效应;半导体材料吸收光能后在PN结上产生电动式的效应称________效应。
7、块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时,导体内部会产生一圈圈闭合的电流,利用该原理制作的传感器称_______传感器;这种传感器只能测量________物体。 8、不同的金属两端分别连在一起构成闭合回路,如果两端温度不同,电路中 会产生电动势,这种现象称_______效应;若两金属类型相同两端 温度不同,加热一端时电路中电动势E =___。 二 选择题(每空1分,共20分)
电阻应变片 磁敏电阻 霍尔元件 气敏传感器 湿敏传感器 光电耦合器 压电传感器 电容传感器 热敏电阻 CCD电荷耦合器 压阻式传感器 光纤传感器 磁电传感器 光电二极管 差动变压器 热释电器件 磁敏晶体管 电涡流传感器 光电池 超声波传感器 热电偶 红外传感器 色敏传感器 正确选择以上传感器填入以下空内:
1.可以进行位移测量的传感器有光纤传感器、差动变压器、电阻传感器; 2.可以完成温度测量的有热电偶、热敏电阻;热释电;
3.半导体式传感器是磁敏、霍尔元件、气敏传感器、压阻传感器; 4.光电传感器有光电耦合器、色敏传感器、光纤传感器、光电二极管; 5.用于磁场测量的传感器霍尔器件、磁敏晶体管;
6.进行振动(或加速度)测量的传感器磁电传感器、压电传感器;
7.利用物体反射进行非电量检测的传感器超声波传感器、红外传感器; 三 计算 (每题5分,共10分)
1、图为一直流应变电桥,E = 4V,R1=R2=R3=R4=350Ω, 求:①R1为应变片其余为外接电阻, R1增量为△R1=3.5Ω时输出U0=?。 ②R1、R2是应变片,感受应变极性大小相同
②
其余为电阻,电压输出U0=?。
③R1、R2感受应变极性相反,输出U0=?。 ④R1、R2、R3、R4都是应变片,对臂同性,
④
邻臂异性,电压输出U0=?。
2 石英晶体加速计及电荷放大器测量机械振动,已知加速度计灵敏度为
5pc/g,电荷放大器灵敏度为50mv/pc,当机器达到最大加速度时的相应输出电压幅值为2V,试求机械的振动加速度(单位g)。
解:①
③
解:
四 问答题(每题5分,共10分)
1压力传感器测量砝码数据如下,试解释这是一种什么误差,产生这种误差的原因是什么。 N(g) 0 1.0 2 3 4 5 正行程(mv)0 1.5 2 2.5 3 3.5 反行程(mv)0 0.5 1 2 2.5 3.5 解:迟滞误差;静态误差;传感器本身材料的缺陷造成。 2解释下列磁敏传感器:
①磁敏电阻与磁敏晶体管有哪些不同?
解:
②磁敏晶体管与普通晶体管的不同之处是什么?
①磁敏晶体管有放大作用;
③磁敏电阻与霍尔元件属同一类磁电转换元件,在本质上有什么不同?
②普通晶体管无磁灵敏度;
五 电路分析(每题5分,共20分)
1。下图左是电容式差压传感器,金属膜片与两盘构成差动电容C1、C2 ,两边压力分别为P1、P2。下图右为二极管双T型电路,电路中电容是左图中差动电容,UE电源是占空比为50%的方波。试分析:
磁敏电阻不能区别磁极性。
? ?
当两边压力相等P1=P2时负载电阻RL上的电压U0值; 当P1>P2时负载电阻RL上电压U0大小和方向(正负)。
解:①U0=0 ②U0=UfM(C1-C2)因为 C1〈 C2所以 U0〈 0 ,输出负电压。 2。图为酒精测试仪电路,A是显示驱动器。 问:①TGS—812是什么传感器? ②2、5脚是传感器哪个部分,有什么 作用?
③分析电路工作原理,调节电位器 RP有什么意义?
解:①气敏传感器;②加热电极,可加速还原反应提高气敏传感器灵敏度;③调节测量系统的测量范围和满度值。
3。图为光电传感器电路,GP—IS01是光电断路器。分析电路工作原理: ①当用物体遮挡光路时晶体三极管VT状态是 导通还是截止?(截止)
②二极管是一个什么器件,在电路中起到什么 作用?(红外发射管,起控制作用)
③如果二极管反相连接晶体管VT状态如何?(截止)
4。下图是电阻应变仪电路框图,电桥采用交流供电,应变信号为一正弦变化的信号频率为20Hz,振荡频率4KHz。请画出放大器、相敏检波器、低通滤波器的输出波形示意图。
试题2
1.在右图所示的电桥中,R1=1000Ω,R3=1500Ω,C2=1μF时电桥 平衡。电容C4是多少?(5分)
2.作为光波5μm红外线的传感器材料有哪些?(5分)
3.在用光开关检测物体的系统中,指出输出电压的时间波形。(5分)
4.由光电二极管二维阵列组成面型传感器进行图像检测,对图像的分辨率由光电二极管的个数决定,试说明理由。(5分) 5.高温加热的钢板为红色,当温度继续升高时变为白色,试说明原因。(5分) 6.试举坑内甲烷气体量传感器的例子。(5分) 试举工厂排水污浊监视用传感器的例子。 试举汽车排气成分调整用传感器的例子。
7.已知某压力传感器的测定范围为0~10000Pa,输入特性表示为 y=10(x-0.00007x2+2000)请问这种传感器能使用吗?(5分)
8.某CO2气体传感器在20。C,浓度范围为0~100ppm时的输入特性表示为Rx=x+250(kΩ), 用差动法回答以下问题(其中R1=10MΩ,E=2V): (15分)
? ? ?
利用最简单的电阻-电压变换电路,绘出X,V0的关系图。
利用电桥进行电阻-电压变换电路,绘出20 。C时X,V0的关系图。另外,当30。C时,Rx=x+500(kΩ),在同一张图上再加上X,V0的关系图,然后进行比较。
采用两个差动法的传感器电路绘出20。C,30。C时X,V0的关系,然后与(2)中的图形进行比较。
9.设阻抗Rs为1kΩ俄信号源与100V的动力线有50m的并行走线距离,静电感应所产生的噪声电压为多少?分布电容设为10pF/m。(10分)
10.(1)采用超声波或光脉冲信号,由从对象反射回来的脉冲的时间进行距离检测,空气中的音速为340m/s,软钢中纵波的因素为5900 m/s,光的速度为3*108 m/s,求这三种情况下1 ms的往复时间对应得距离。根据计算结果,比较采用光脉冲所需要系统得信号处理速度要比采用超声波脉冲时的系统速度快几倍?(2)根据(1)的结果,讨论利用脉冲往复时间测距,采用超声波和光波各有什么特点。(10分)
11.为了实现以下目的,试从低通、高通、带通和带阻滤波中选择最合适的一种:(10分)
? ? ?
除去麦克风中混入的广播电波信号; 从天线接收的电视波中仅选择第三频道;
除去混入所取出的脑电波信号中的电力线频率(频率为50Hz)干扰。
1.答:
根据平衡条件,C4= C2 R1/ R3=1*1000/1500≈0.667μF。 2.答:
有InSb,Hg0.8Cd0.2Te等材料。
3.答:
光进入受光器输出电压为0V,光不进入,输出6V,所以右图为所示波形。
4.答:面型传感器由许多销的单元构成二维平面,其中每一个小单元都是一个光电二极管,称为像素。用面型传感器测量物体的形状所得的图像的分辨率最高只能是一个像素。如果所测得图像长为l ,对应N个像素,分辨率为l/N。假设N为200,则分辨率最高只能使1/200。
5.答:与温度相对应,物体放射出具有一定波长分布的光,高温时,所有波长的能量增大,波长分布的峰值向短波长方向移动。对应于黑体的波长分布可由普朗克分布规则求得。1000。C的钢板,波长分布的峰值在近红外区域,发出的光波长在0.6μm以上,属于可视光的红光区域,因此看到的光呈现红色。温度升高使得波长分布的峰值向短波方向移动。可视光的短波成分增加,可视光所有波长成分混合使钢板颜色接近白色。
6.答:接触燃烧式气体传感器。氧气传感器。氧气气体传感器。
7.答:dy/dx=1-0.00014x。微分值在x<7143Pa时为正,x>7143Pa时为负,故不能使用。 8.答:20。C时,0~100ppm对应得电阻变化为250~350 kΩ。
o V0在48.78~67.63mV之间变化。
o 如果R2=10 MΩ,R3=250 kΩ,20。C时,V0在0~18.85mV之间变化。30。C时V0在46.46mV(0ppm)~
64.43mV(100ppm)之间变化。
o
20。C时,V0为0~18.85mV,30。C时V0为0~17.79mV,如果零点不随温度变化,灵敏度约降低4.9%。但相对(2)得情况来说有很大的改善。
9.答:感应电压=2πfCRSVN,以f=50/60Hz, RS=1kΩ, VN=100代入,并保证单位一致,得:感应电压=2π*60*500*10-12*1000*100[V]=1.8*10-2V
10.答:(1)1 ms的时间内超声波在空气和软钢中的传播距离分别为0.17m和3.0m,而光的传播距离为1.5*105 m,故要求有105倍高的处理速度。
(2)采用光时,1μm的处理速度只能测量100m以上的距离,不能进行近距离测量。如果要求分辨力为1m,则要求10ns的处理速度。所以光脉冲法用于远距离分辨率要求不高的场合,而超声波用于近距离测量。 11.答:(1)因为要除去高频成分,故选用低通滤波器。
(2)要消除第二通道以下和第三通道以上的频率成分,故选用带通滤波器。 (3)要消除特定成分的频率成分,故选用带阻滤波器。
试题3
一、填空:(20分每题2分)
1.金属丝在外力作用下发生机械形变时它的电阻值将发生变化,这种现象称 效应;固体受到作用力后电阻率要发生变化,这种现象称 效应。直线的电阻丝绕成敏感栅后长度相同但应变不同,弧部分使灵敏度K下降了,这种现象称为 效应。 2.测量系统的静态特性指标主要有 3.霍尔元件灵敏度的物理意义是
4.光电传感器的理论基础是光电效应。通常把光线照射到物体表面后产生的光电效应分为三类。 第一类是利用在光线作用下 效应有;
第二类是利用在光线作用下效应, 这类元件有;
第三类是利用在光线作用下效应, 这类元件有。
5.热电偶所产生的热电势是电势和电势组成的,其表达式为 Eab(T,To)=。在热电偶温度补偿中补偿导线法(即冷端延长线法)是在和之间,接入,它的作用。
? 把一导体(或半导体)两端通以控制电流I,在垂直方向施加磁场B,在另外
四、计算与问答题(每题10分,共20分)
1、有一吊车的拉力传感器如右图所示。 其中电阻应变片R1、R2、R3、R4贴在 等截面轴上。已知R1、R2、R3、R4标 称阻值均为120Ω,桥路电压为2V, 物重m引起R1、R2变化增量为1.2Ω。
①画出应变片组成的电桥电路。
? 计算出测得的输出电压和电桥输出灵敏度。
?
①应变片组成半桥电路;
说明R3、R4起到什么作用?
②
③R3、R4可以进行温度补偿。
2.石英晶体加速计及电荷放大器测量机械振动,已知加速度计灵敏度为5pc/g,电荷放大器灵敏度为50mv/pc,当机器达到最大加速度时的相应输出电压幅值为2V,试求机械的振动加速度(单位g)。
解:
五、下图是一红外测温装置,测量温度高于1000℃,红外探测器是热释电元件,利用热辐射测温。请回答下列器件各起到什么作用?(10分)
o 光学系统:透镜聚焦;滤光片波长选择;
o 步进电机与调制盘将被测红外辐射调制为按一定频率变化的温度信号; o 温度传感器用于电路补偿的温度传感器。 o 红外探测器接受检测被测高温的传感器。
试题6
1.钢材上粘贴的应变片的电阻变化率为0.1%,钢材的应力为10kg/mm2。求钢材的应变。钢材的应变为300*10-6时,粘贴的应变片的电阻变化率为多少?(10分)
2.截面积为1mm2、长度为100m铜线的电阻为多少?具有和它相同电阻的100m铝线的截面积为多大?比较此时的铝线重量和铜线重量。(5分)
1、试推导惠斯顿电桥输入输出之间的关系。(10分) 2、 给出力平衡测量系统得一个应用实例,并
(10分)
3、 铂线电阻在20。
C时为
10Ω,求
50。C时的电阻。(5分) 给出系统的信号流方框图。
? ? ? ? ? ? ? ? ?
图1
图2
上图1所示的铂测温电阻元件,当温度由0。C上升到100。C时,电阻变化率ΔR/R0为多少?下图2所示的热敏电阻(R0=28kΩ),其ΔR/R0为多少?
上图1所示的铂测温电阻元件,在0~200。C范围内的电阻温度系数为多少?(10分)
7.要测1000。C左右的高温,用什么类型的热电偶好?要测1500。C左右的高温呢?(5分)
8.使用k型热电偶,基准接点为0。C、测量接点为30。C和900。C时,温差电动势分别为1.203mV和37.326mV。当基准接点为30。C,测温接点为900。C时的温差电动势为多少?(10分)
9.0。C时的电阻为100Ω的铂金热电阻。300。C时的阻值按下面两种方法计算,其结果之差换算成温度差是多少?(15分)
? ? ?
电阻用温度的一次方程表示,RT=R0(1+At+Bt2)式中B=0,A=0.003851。C-1。(此时100。C时的电阻值为138.51Ω) 电阻值与温度为二次函数关系。 用一次方程近似时,温度误差为多少?
10.某热敏电阻0。C时电阻为30kΩ,若用来测量100。C物体的温度,其电阻为多少?设热敏电阻的系数B为3450K。(5分)
11.和人体体温(36。C)相同的黑体,其热辐射的分光辐射辉度为最大时波长为多少?(5分)
12.在下图所示的电路中,差动变压器二次电压的有效值,接头c1’d’间是5V,接头 c1’ ’d1’ ’间是3.5V。此时,电流表M上所流的电流是多少mA?这里两个电阻各1kΩ(二极管的电阻可认为是0)。(10分)
答案:1.答:
是ΔR/R=2(Δl/l)。因为电阻变化率是ΔR/R=0.001,
所以Δl/l(应变)=0.0005=5*10-4。
答:因Δl/l=300*10-6,所以,ΔR/R=2*300*10-6=6*10-4。
2.答:R=ρ(l/S)中,ρ(镍)是(95~104)*10-8Ω·m,ρ(铜)是1.72*10-8Ω·m, 所以R(镍)/R(铜)=ρ(镍)/ρ(铜)=(95~104)/1.72=55.2~60.5。 3.答:假定输入输出端没有电流流过,流过阻抗Z4和Z1的电流为i4, 流过阻抗Z3和Z2的电流为i3,由基尔霍夫电压定律得以下关系式: (Z4+Z1)i4= ( Z3+Z2)i3=Vi(1) i4Z4= i3 Z3+Vi(2) 由(1)式得
(3)
(4)
将(3)和(4)代入(2)求得V0为:
V0 = i4Z4 -i3 Z3=()Vi=Vi
4.答:方框图如下: 5。答:
R=R0(I+αt)中,t=20。C,R=10Ω,α=30*10-4/。C。
因此,10= R0(1+30*10-4*20),R= R0(1+30*10-4*50)得R≈10.8Ω。
6.答:由图1可读取t=100。C时的R/R0≈1.4。因此,R=1.4R0,又有ΔR= R-R0= 1.4R0-R0=0.4 R0。因此,ΔR/R=0.4。图2的热敏电阻中t=100。C时的R≈103Ω。又ΔR= R-R0=-27kΩ。 因此,ΔR/R0=-27/28≈-0.96。
答:t=200。C处的R/R0≈1.8,电阻温度系数α(曲线的倾斜率)=(1.8-1)/200=0.4%/。C。 7.答:
若是1000。C铬镍-铝镍,铂、铑-铂,1500。C时,铂、铑30%-铂。
8.答:现t2=900。C ,t1=30。C ,基准接点温度为30。C ,测温接点温度为900。C时的温差电动势设为 E,则37.326=1.203+ E,所以E=36.123mV。 9.答:
(1)RT=100(1+0.003851*t),以t=300。C代入,得RT=215.53Ω。 (2)RT=R0(1+At+Bt2)式中以t=300。C代入,得RT=212.05Ω。
(3)同(2),算得t=310。C时电阻值为215.61Ω,即温度上升10。C电阻增加3.56Ω。 因此,由(215.53-212.05)/0.356=9.8算得误差为9.8。C。 10.答:
式中以R0=3*104,B=3450,T=373.15和T0=273.15
代入得RT=1.017kΩ。 11.答:
将T=273.15+36=309.15代入λm*T=2.8978*10-3m·K,得λm=9.37*10-6 m=9.37μm。 12.答:
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