厂务常用缩写

Abbreviation Full Name 中 文 说 明

HVAC

CUB Central Utility Building 中央动力厂房 GEX General EXhaust 普通及热排气 SEX Scrubber EXhaust 酸排气

VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气 AEX Ammonia EXhaust 碱性排气 PCW Plant Cooling Water 工艺冷却水 PV Process Vacuum HV House Vacuum CW City Water FMCS Faility Monitoring Contro System MCC Motor Control Center VFD Variable Frequency Device CCTV Close Circuit Televsion PA Public Adress system FA Fire Alarm system UPW Ultra Pure Water FWW Fluoride Waste Water IWW Industry Waste Water OWW Organic Waste Water DAHW Drain Amonia Hydride Waste RCL Recycle water RCM Reclaim water HFW High Fluoride Waste water BGW Backgriding Waste water SAW Sulfuric Acid Waste water PAW Phosphoric Acid Waste water SW Stripper Waste water TW Thinner Waste water PIX Pix waste water SLOW Oxide slurry waste water SLWP Metal slurry waste water SLWP Poly slurry waste water PN2 Process N2 GN2 General N2 CDA Compressor Dry Air VMB Valve Manifold Box

空调系统

AHU Air Handling Unit MAU Make-up Air Unit 工艺真空 真空吸尘 自来水

厂务监控系统 马达控制中心 变频器 闭路电视 广播系统

火灾报警系统 超纯水

低浓度氢氟酸废水工业废水 有机溶剂废水 含氨废水

制程回收循环水 制程回收再利用水 高浓度氢氟酸废水 晶背研磨废水 硫酸废液 磷酸废液 剥离液废液 清洗废液 PIX废液

介电质研磨废水 金属研磨废水 多晶硅研磨废水 制程用氮气 一般用氮气 压缩干燥空气 阀箱 空调箱 外气空调箱

VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 CUS Central Utility Building 中央动力厂房

电力系统

FMCS Faility Monitoring Control System 厂务监控系统 MCC Motor Control Center 马达控制中心 VFD Variable Frequency Device 变频器 CCTV Close Circuit Televsion 闭路电视

SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜

集系统

MCC Motor Control Center 马达控制中心 VFD Variable Frequency Device 变频器

水处理系统

UPW Ultra Pure Water 超纯水 RO Reverse Osmosis 逆渗透膜 TOC Total Organic Carbon 总有机碳 MB Mixed Bed 混床 UF Ultra Filtration 超滤 SC Strong Cation 强阳离子 SA Strong Anion 强阴离子 WA Weak Anion 弱阴离子 DO Dissolved Oxygen 溶解氧 MD Membrane Degasify 脱气膜

GF Gravity Filter 重力式过滤器. DI Deionize 去离子水

气体/化学系统

CQC Continuous Quality Control 连续品质控制系统 VMB Valve Manifold Box 阀箱 VMP Valve Manifold Panel 阀盘 GMS Gas Monitoring System 气体监测系统 CDS Chemical Dispense System 化学系统 SDS Slurry Dispense System 化学研磨系统

环境安全卫生

ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 HVAC

AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FD Fire Damper 防火风门 FSD combined Fire Smoke Damper SD Smoke Damper PHX Plated type Heat Exanger FFU Fan Filter Unit HEPA High Efficiency Particulate Filter ULPA Ultra Low Penetration Filter A/S Air Shower A/L Air Lock DCC Dry Cooling Coil FCU Fan Coil Unit SF Smoke Fan EF Exhaust Fan CUP Central Utility Plant GEX General EXhaust SEX Scrubber EXhaust VEX Volatile orgaic compound EXhaust AEX Ammonia EXhaust PCW Process Cooling Water PV Plant Vacuum HV House Vacuum CW City Water FMCS Faility Monitoring Control System MCC Motor Control Center VFD Variable Frequency Device CCTV Close Circuit Televsion PA Public Adress system FA Fire Alarm system UPW Ultra Pure Water RO reverse Osmosis TOC total organic carbon MB mixed bed UF ultra filtration SC strong cation SA strong Anion 防火防烟风门 防烟风门 板式热交换器 风车过滤 高效率过滤器 超高效率过滤器 空气浴尘室 气闭门室 干盘管 小型冷风机 消防排烟风车 通风排气风车 中央动力厂房 普通及热排气 酸排气

有机溶剂排气 碱性排气 工艺冷却水 工艺真空 真空吸尘 自来水 厂务监控系统马达控制中心 变频器 闭路电视 广播系统 火灾报警系统 超纯水 逆渗透膜 总有机碳 混床 超滤 强阳离子 强阴离子

WA weak Anion 弱阴离子 DO dissolved oxygen 溶解氧 MD membrane Degasify 脱气膜

GF gravity Filter 重力式过滤器. DI deionize 去离子水

FWW Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水 IWW Industry Waste Water 工业废水

OWW Organic Waste Water 有机溶剂废水 DAHW Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨废水

RCL Recycle water 制程回收循环水 RCM Reclaim water 制程回收再利用水 HFW High Fluoride Waste 高浓度氢氟酸废液 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨废水 SAW Sulfuric Acid Waste 硫酸废液 PAW Phosphoric Acid Waste 磷酸废液 SW Stripper Waste 剥离液废液 TW Thinner Waste 清洗废液 PIX PIX waste PIX 废液

SLW-O SLurry Wastewater Oxide 介电质研磨废水 SLW-M SLurry Wastewater Metal 金属研磨废水 SLW-P SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨废水 PN2 Process N2 制程用氮气 GN2 General N2 一般用氮气

CDA Compressor Dry Air压缩干燥空气 VMB Valve Manifold Box 阀箱

ESH

ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 ISO International Organization for Standardization 国际标准化组织

记得 PCW 好像是 process cooling water吧 ？

1、 CUP，Central Utility Plant--中央动力厂房，但好象叫CUB：CENTER UTILITY BUILDING

的多些；

2、 把Thinner Waste water翻译成“清洗废液”不妥，Thinner是光刻胶的一种稀释剂，是有机

类废液；

3、 EHS是英文单词Environmental, Health, Safety的首字母缩写。 HVAC (heating, ventilation, and air-conditioning) 指一般空调 PCW 确定是process cooling water CDA 较常被指为 Clean Dry Air的缩写

至于废水 我想各家说法完全不同 所以一般会再出个缩写对照表

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