线切割机操作指导书

文件号

HNS/T 001-57-2005

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多线切割机操作指导书

发行年月日：

浙江长兴众成电子有限公司 硅片加工部

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2/23 HNS/T 001-57-2005 2005 年 2 月 28 日 审 查 制 定 复印号

适 用 线切割机的日常操作和维护 范 围 封面 目录、修订记录 1.流程图 2.相关文件 3.记录表格 4.使用机器·设备 5.使用材料 6.作业程序 7.异常处置 8.工序质量控制表 9.文件分发范围 第1页 第2页 第3页 第4页 第4页 第5页 第5页 第6页 第 19 页 第 22 页 第 23 页

目

录

修

订

记

录

版 号

生 效 日

修

订

要

点

适 用 页 数

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 1.流程图

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页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 2.相关文件 文件名称 文件控制程序 质量记录控制程序 设备控制程序 工作环境控制程序 生产过程控制程序 检验和试验状态控制程序 产品标识和可追溯性程序 顾客财产控制程序 产品防护程序 监视和测量装置的控制程序 过程和产品的监视和测量程序 不合格品控制程序 数据分析控制程序 改进控制程序 3.记录表格 序号 1 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 表格名称 异常发生报告书 异常联络书 成绩管理图 生产进度管理图 异常发生报告书发行台帐 异常联络书发行台帐 异常联络书接收台帐 单晶定向粘结记录 线切割作业记录 BOW/WARP 测量记录表 每周检查/维护表 每月检查表 3 个月检查表 6 个月检查表 12 个月检查表 线切割问题报告 原材料管理表(电子版) 导轮使用管理表(电子版) 砂浆更换记录表(电子版) 编号 QP/HNS 012-001 QP/HNS 08-03-03 QP/HNS 012-003 QP/HNS 012-004 QP/HNS 012-006 / / QP/HNS 012-066 QP/HNS 012-067 QP/HNS 012-068 QP/HNS 012-069 QP/HNS 012-070 QP/HNS 012-071 QP/HNS 012-072 QP/HNS 012-073 QP/HNS 012-074 QP/HNS 012-075 QP/HNS 012-076 QP/HNS 012-077 文件编号 QP/HNS 04-01 QP/HNS 04-02 QP/HNS 06-02 QP/HNS 06-03 QP/HNS 07-06 QP/HNS 07-07 QP/HNS 07-08 QP/HNS 07-09 QP/HNS 07-10 QP/HNS 07-11 QP/HNS 08-03 QP/HNS 08-04 QP/HNS 08-05 QP/HNS 08-06

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页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 4.使用机器·设备 名 称 型 式

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使 ·进行硅单晶的切割

用

目

的

线切割机(wire saw) 冷冻机 (cooling unit) X-射线定向仪 晶锭夹持专用工具车 热水器或加热槽 电子天平 电子磅秤 5.使用材料 名 碳化硅(SiC) 聚乙二醇(Glycol) 钢线(wire) 树脂条(BEAM) 导轮(wire guide) 小滑轮(Puley) 胶(Resin and hardener) 压缩空气 KLUBER 润滑油脂 MOBIL 润滑油脂 LUBCON 润滑油脂 冷冻剂 称

DS263

KWW410-400 YX-2D

·为切割机提供冷却水 ·进行硅单晶锭的定向 ·夹持固定和搬运晶锭、导轮 ·产生脱胶所用热水

YP-1200 XK3190-A7 型 式

·称量粘胶 ·秤量悬浮剂、切割用砂 使 用 目 的

GC1200 PEG300 φ160μm 3、4、5、INCH 国产或进口 Q-BOND 1MR 4-7bar Isoflex Topas NCA52

切割时产生研磨切割的主耗材 作为 SiC 的悬浮剂和分散剂 线网和切割液载体 粘结单晶的载体 产生一定间距的线网 对钢线进行导向 粘结单晶、树脂条和铁块 驱动主轴运动 润滑机器进给、滑门以及心型轮主轴

Vactra Oil No.2 摆线装置的直线导轨 Turmpast MA2 BOSS-875 导轮的固定、活动轴承，以及主导轮连轴节 冷冻机使用必须

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 6.1 装配

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6.1.1 人员要求 这些装配必须由被公司授权的和受到全面训练的维护技师来执行。 装配线导轮 6.1.2 装配线导轮 6.1.2.1 准备工作： 1)准备好要安装上去的 3 个线导轮； 2)准备好安装用的工具车(说明书 P38,PICT10-5/4)、专用安装工具 、专用润滑油脂(Fin Grease 和 LUBCON))、力矩扳手等。 6.1.2.2 拆卸线导轮 警告：绝不允许将线导轮外表面(槽)作为放置面来放置。 不要损伤槽。 绝不允许将线导轮浸没在液体中。 前提：线网和导轮间的接收盘已经取出，机器已清洗和吹干。 按导轮 1#、2#、3#的顺序拆卸导轮，每个导轮拆卸的详细步骤如下： 1) 拆下活动轴承与固定轴承上的环形防护箍(P37, PICT10-4)并记录位置。 2) 将导轮转到合适角度，在活动轴承外端槽中安装把锁‘A’ (PICT10-3/1)。 拆下活动轴承外端锁紧螺母中的小螺丝(PICT10-2/3)。 拆下锁紧螺母(PICT 10-2/4)。 拿掉把锁‘A’。 3) 在线导轮上安装起(长)吊螺钉，并将悬吊装置(P38-PICT10-5/2)从小车 推倒切割机导轨上，合上导轨上的安全销。 调整悬吊装置的 2 个吊臂的槽，使它卡在锁紧螺丝下，转动悬吊装置 的星形扭手使悬吊装置和起吊螺钉扣牢，但不要太紧。 4) 在活动轴承侧安装“(轴承)撤退装置”withdrawal device(PICT 10-3/2)。 用撤退装置把活动轴承往后拉直到停止。 拆下连接杆(并在连接杆上记录导轮号和“FL”和“LL”的位置)。 5) 将起重小车与导轨连接，拔下导轨安全销。 用悬吊装置慢慢拉出导轮，要用星形扭手调节高低左右来避开障碍物 ，将导轮拉到小车上并锁好小车上的安全螺栓。 拉开小车。 6) 在导轮两端下方各安装 2 个支撑螺钉。 将有支撑螺钉的导轮放置到专用平台(车)。 用布清理导轮槽，气枪吹干净，记录导轮位置号。 用酒精和绸布擦干净轴承端面与卡槽，并在其上加油脂：树脂面加的是 Fin Grease,金

属面加 LUBCON。 7) 假如这些导轮暂时不准备再使用，要等有专用木箱可以放置后，再用 起重小车吊起导轮，拿掉支撑螺钉。之后要 2 个人抬，按 1#放在最下 面的原则，将导轮放进木箱。木箱安放位置要注意防潮防水。

*同一组导轮 编号大 的 为 3#,编号小的为 1#, 中间为 2#

*位置：1#、2#还是 3#, FL 还是 LL。 *务必先拆下小螺丝。

*一定要注意 FL 端的位 置和 LL 端的位置不能调 换，1#、2#、3#导轮的 位置和连接杆也不能调 换。一般导轮上号码大 的为 3#导轮，号码小的 为 1#导轮。 *每次安装前或卸下后， 都需要加油脂或润滑 脂，以防磨损。

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1 2 3 4 5

Legend 1 Plug of temperature sensor 2 Attachment of withdrawal device 3 Locking screw 4 Nut 5 Connecting rod

PICT 10-2: Movable bearing

1

2

3 PICT 10-3: Withdrawal device/twist lock Legend 1 Twist lock A 2 Withdrawal device 3 Outer diameter of movable bearing 4 Cover ring

4

PICT 10-4: Wire guide roller

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 1 2 3 4 5 6 7 8PICT 10-5: Suspension device for wire guide roller

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Legend 1 Star knob 2 Suspension device 3 Fastening bolt 4 Lifting carriage 5 Fixing screw 6 Wire guide roller 7 Support bolt 8 Mark "LL"

6.1.2.3 安装线导轮 按导轮 2#、3#、1#的顺序安装导轮，每个导轮安装的详细步骤如下： 1)在要安装的线导轮上安装两个起吊螺钉(P38,PICT10-5/5)。 确认导轮和起重小车两端标记，FL 靠固定轴承，LL 靠活动轴承。 2 个人小心地用悬吊装置(P38,PICT10-5/2)卡在起吊螺钉上抬 起， 将导轮吊起放置到小车上，注意导轮 FL 端必须和小车 FL 端 一致，并立刻锁好小车上的安全螺栓。 2)用布清理导轮槽，气枪吹干净。用酒精和绸布擦干净导轮两端面， 并加油脂：树脂面加的是 Fin Grease,金属面加 LUBCON。 3)提升起重车与机器导轨对接。 拔下小车的安全螺栓，将悬吊装置推到机器导轨上，要用星形扭手 调节高低左右来避开障碍物，慢慢将导轮推到要安装的位置。 锁紧导轨安全销，移走工具车。 4)1 人调整星形扭手(P38,PICT10-5/1),另 1 人看活动轴承孔， 使导轮中心与轴承中心保持一致。 装入对应该导轮的连接杆(如 2#轮用 2#杆),旋紧到手不能紧。 5)用力慢慢推动导轮靠近固定轴承，同时顺时针旋转连接杆，使导 轮端面凸起部位完全落入轴承中心凹面内，靠近到左边界限为止； 6)往 FL 方向推动活动轴承，靠紧导轮 LL 端面，注意对准凹凸面。 7)移走悬吊装置。 8)在活动轴承端安装锁紧螺母到连接杆。 将导轮转

到合适角度，在活动轴承外端槽中卡入把锁‘A’。 先用力矩扳手选用 100Nm 的力矩勒紧螺母；再用力矩扳手选用 200Nm 的力矩勒紧螺母。 除去专用把锁‘A’。 再螺母上找个可以拧进去的孔，安装小螺钉(P37,PICT10-2/3)。 9)安装环形轴承防护箍(P37,PICT10-4/4),尽量靠近轴承方向， 使防护箍与导轮有一定的间隙，用塞尺检查，不得小于 0.08 英寸。 当 3 个导轮全部装好，再安装砂浆接盘。

导轮安装后第一次切 割后要用 200Nm 的力 矩勒紧螺母， 勒紧时要 将所有的马达关闭。

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 6.1.3 6.1.3 进、回线轮的安装

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6.1.3.1 6.1.3.1 准备工作 1. 1)准备好要安装的进、回线轮，要装上去的回线轮必须是经过清理的， 连接杆、轴套、螺母等也必须清理干净。 2)准备好安装用的专用定位工具、润滑油脂、扳手、吊车等工具。 6.1.3.2 警告 安装进线轮和回线轮一定要两个人一起操作：放下轴套、线轮时、线轮 压到轴套时，要轻而慢并对准，防止线轮碰坏连接杆或轴套卡槽。并注 意人身安全。 6.1.3.3 进线轮的安装 进线轮的安装 1)将左边连接杆用布擦干净后涂上少量油脂； 2)安装下端锥形止推轴套，注意轴套上的孔对准连接杆上的销； 3)用专用工具(卡位插杆)定位； 4)确认新进线轮出线方向为逆时针方向； 5)使用吊车和夹具，或两人一起手捧装上新线轮，放下时要将线轮 底部的短销卡入椎形止推轴套的槽中； 6)安装上端锥形止推轴套(说明书 P41,PICT10-7/2); 8)安装长轴套(PICT10-7/4); 9)安装制止轴套(PICT10-7/1,一般和长轴套在一起没有分开); 7)安装垫圈(PICT10-7/6); 10)安装螺母，手动旋紧到拧不动后，用扳手转 2 次 120º(不很用力 的情况下感到：无法再拧紧的感觉),千万不要压太紧。 6.1.3.4 6.1.3.4 回线轮的安装 1.3. 1)将右边连接杆用布擦干净后涂上少量油脂； 2)安装下端锥形止推轴套，注意轴套上的孔要对准连接杆底座上的销； 3)用专用工具(卡位插杆)定位； 4)使用吊车和夹具，或两人一起手捧装上空回线轮；放下时要将线轮 底部的卡槽与下方椎形止推轴套的卡槽一致(否则无法放下而且 容易将下方椎形止推轴套的卡槽压坏); 5)安装上端锥形止推轴套(P40,PICT10-6/2); 6)安装长轴套(P41,PICT10-7/4); 7)安装制止轴套(PICT10-7/1); 8)安装垫圈(PICT10-7/6); 9)安装螺母，手动旋紧后用扳手旋紧到无法再紧后，转回 1/4 圈(90º)。

安装部位加少许润滑 油脂

*原因：旋紧螺母时过 紧容易将线轮压变形， 并在切

割过程中造成 出线不顺畅，使线网 张力波动大，严重时 还会导致断线！

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6.1.4 6.1.4 小滑轮的安装 1)用布或纸蘸些酒精，将安装小滑轮的轴承部位擦干净； 2)两手拿住小滑轮，大拇指按住小滑轮四周，其余四指按住安装小 滑轮轴承的后面； 3)用力将小滑轮按进安装部位，并尽量靠近内端面； 4)安装完后转动一下小滑轮，检查小滑轮转动是否在同一平面上， 如果有偏转要调整好。 5)在安装两个跳舞轮上的小滑轮时要特别小心，在安装轴承后面加 垫硬物(专用垫块); 6)当有线存在、更换小滑轮时，要先把线轻轻拉开，然后用抹布 擦掉安装部位的砂浆，再用布蘸些酒精将安装部位擦干净， 注意不要让线打折。安装穿越轮上的小滑轮时要非常小心，很容易 使线打折，一般把跳舞轮和穿越轮上的小滑轮放到最后安装。 7)因为存在磨损和偏心，所以要定期检查和更换，其标准是：磨损很深 (1 毫米以上)、磨损很宽或双槽或偏心很大时要更换。目前一般一批 新滑轮使用到第 3 次切完后开始每次检查，到第 6 次切完全部换掉。 6.1.5 线导轮绕新线 6.1.5.1 准备工作 1)准备绕线用的皮带两根、透明胶、专用胶带、剪刀； 2)准备挑线用的针、一字螺丝刀、专用剪刀； 3)准备好照明用具。

*原因 原因：由于跳舞轮是悬 原因 臂梁机构，直接用力安 装小滑轮会使悬臂梁弯 曲，导致前后小滑轮中 心偏离，切割时容易单 边磨损小滑轮，严重时 会导致断线。 线打折可能会导致跳 线甚至切割中断线。

6.1.5.2 绕线步骤与方法： 绕线步骤与方法： 1)将两根皮带的皮带头朝上、由 1#导轮经过 2#、3#导轮后扣在一起，在 导轮组上一左一右各自距离导轮边缘约 15cm。多出部分用透明胶封住。 2)放上新线轮，从 M11 左线轮→24 穿越轮→25 滑轮→41 跳舞轮→42 轮 →43 轮→44B4 测力轮→61 轮→线头暂时吸在机壁(P45,PICT10-12); 进入“14 屏”输入左右线轮长度(须与前次不同)、绕线起始张力 15N; 14 3)穿线头，从皮带头下面往上穿，绕固定螺钉 1 圈后用一字螺丝刀固定； 4)进入机器绕线模式开始绕线，S118、S119 打到 ON 位置，M1 马达方向 打到正转(顺时针)即向导轮 LL 方向进线； 5)在“2 屏”状态下按 F3 进入“4 屏”绕线模式，按 F10 进入“5 屏” 绕线马达页面，按 F4 激活 M4、M11、M2 马达，再按 F8,M1 马达启 动； *注意要控制速度，不 6)按住手柄 S120 使指示灯变绿，再按上方加速按钮，控制速度进行绕线； 要过慢，也不要快。 7)使导轮上有 3-4 圈后

开始挑线，先挑 2#导轮，从它第一槽开始(以后 根据槽的磨损情况逐渐向后退)将每根线挑入每一槽； 8)2#导轮挑好后，松开手柄，按 STOP 关闭绕线马达，按 ESC 返回到

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“2 屏”按 F6 进入“14 屏”按 F9 将进线方改为 M1 马达逆时针转； 9)退出 14 屏后，重复步骤 5、6 挑 1#导轮，从第一槽开始(以后根据 槽的磨损情况逐渐向后退),切记 1#导轮要和 2#轮起始槽一致； 10)1#导轮挑好后，挑 3#导轮，从第二槽开始(以后根据槽的磨损情况 与 1#、2#、导轮一起逐渐向后退)即 1#、2#导轮起始槽号值+1; 11)3#导轮挑好后，松开手柄，按 STOP 关闭绕线马达，按 ESC 返回到 “2 屏”按 F6 进入“14 屏”按 F9 将进线方改为 M1 马达顺时针转； 12)重复 5—11 步骤使线网有 6~10 圈； 13)用专用胶布固定线网，剪断线头后反折线头，再用胶布粘住线头； 剪掉皮带头一端多出的线； 14)重复 5-6 步骤开始向前绕线，最大线速为 2m/s,注意不要让线网 与皮带接触、及时移开皮带；待线网有 200mm 长度后拆下皮带； 15)中途机器会自动停下来，只要放开握住手柄的手、再重新按住 即可；快到最后时应放慢走线速度，到最后一圈抽出线头 2-3m,此 时要 2 个人操作，一人进线，一人拉线，防止跳线或线网松掉。 (导轮上进出线槽磨损很大，磨损严重时不再使用，应向导轮中间 退 1 槽。再磨损，再退槽。); 16)将线头从滑轮组 71→54→53→52→51→35→34→M12 右线轮(P45, PICT10-12),将线头固定在右线轮上，并使跳舞轮恢复正常位置。 17)将 S119(绕线模式按钮)打到 OFF 位置进入切割模式，消除报警， 再开马达使线网再绕一部分(约 250m)到右线轮上； 18)线绕完成后，检查线网在导轮上的均布情况，不能有跳线、重线等 现象。 19)最后检查进回线线网电压和张力，检查线在滑轮上是否卡进槽中， 检查整个机器和线网上是否有多余的线或者异物存在。

*根据线导轮间距定圈 数。 *线网、导轮上不许有残 线存在，所以一定要取 走。 *线网宽有 30mm 时， 可将 绕线张力改为切割时的 张力。 *线网 2 端位置调整时相 应要调整 7 号、14 号小 滑轮位置。

6.2 砂浆更换 切割使用的砂浆要求有适当的黏度、密度以及饱和度，当其中 任何一项指标超标时都会对切割的质量造成影响，因此在连续生产 过程中要密切注意以上三项指标，(在切割过程中随时可以通过显 示屏观察其中黏度和密度两项指标。)因此，在切割完一次后要对 砂浆桶中的砂浆进行更换。 6.2.1 使用工具： 使

用工具： 电子磅秤一台————————————称量重量 搅拌容器(配砂桶)一个———————把砂和悬浮剂搅拌均匀 水桶————————————————接砂倒砂 防毒面具或厚口罩、手套———————人身防护 6.2.2 砂浆配比：液：砂=1:0.886 砂浆配比：

密度<1.665kg/dm3 饱和度〈7%

*配砂桶内砂浆不能过 少，且拉进拉出一定要 2 个人操作。 *适用于目前砂和液的配 比。但根据以后砂、液 的种类变更， 可能变化。

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6.2.3 配砂以及每次切割前砂浆更换的步骤： 配砂以及每次切割前 每次切割前砂 更换的步骤： 1)根据切割单晶的长度、截面积以及砂浆的密度和饱和度计算确定下次 切割前要更换的砂浆量，确定使用的悬浮剂、砂的类型，并记录； 2)用电子磅秤先将悬浮液根据计算出的重量称好后倒入配砂桶中； 3)戴好防毒面具后，将砂根据计算出的重量称好后倒入配砂桶中； 4)加砂工作必须在未切割状态展开，一般是在切割完一次机器停切后； 5)进入砂浆模式“7 屏”,按住手柄，激活 M8 马达，使砂浆循环； 6)从机器后面拉出放砂用的管子，打开阀门放出要更换的旧砂浆，用 水桶接、用电子磅秤称量剂量，满了或到了量就关闭阀门放回放砂管 ，将旧砂浆倒入专用污水池中； 7)从配砂桶中将配好的砂浆用电子秤称出后倒入砂浆箱中与旧砂混合。 8)关闭 M8 马达。 6.2.4 全换 全换： 当切割次数达到一定程度时(目前控制在 60 次以下)就要求对 整个砂浆循环箱内的砂浆进行全部更换。 更换时将砂筒中的旧砂浆全部放掉，并将砂筒清洗干净并晾干， 然后根据砂浆更换记录表中的要求加入一定量的新砂。 新砂配比：悬浮剂 128.5kg:砂 113.8gk(按 液：砂=1:0.886)。 6.2.5 注意事项： 注意事项： 1)砂浆循环箱和配砂桶如果有砂浆存在就必须长时间连续开启搅拌泵。 2)要使用的砂浆中要避免其他液体：比如水、防锈剂等进入其中。 3)假如饱和度超过规定要求或砂箱中砂浆很满，要相应变更换砂量。 6.3 晶锭准备工作 6.3.1 晶锭粘结

*配砂浆和更换砂浆都要 尽可能使实际重量等于 计算重量。 *目前规定在放砂、激活 M8 马达时，要更改砂 浆流量为 2000kg/h。 *放砂完后、 关闭 M8 时， 要改回原来的砂浆流 量。

6.3.1.1 原材料与工具： 原材料与工具： 1)胶：全部使用同一种胶：日本生产的 Q-BOND 1MR,包括 树脂主剂 Resin(Black 黑色)和 硬化剂 Hardener(White 白色)。 粘胶比例: 主剂:硬化剂=1:1。 粘胶用量: 400mm 长的树脂条要用 10g 主

剂和 10g 硬化剂。 干燥固化时间:自开始搅拌起的 7 分钟后会变得很硬。(所以必须在 4 分钟内搅拌好、涂好胶、把单晶的晶向矫正好、用夹具压紧。) *尽可能在切割前 4 小时 完全固化时间: 4 小时。 以上粘结好，保证完全 2)树脂条分大 BEAM 和小 BEAM。大 BEAM 有 3 寸、4 寸、 5 寸之分,用来粘 固化，确保质量。 结单晶和铁板； BEAM 用来粘在单晶顶部切入点作导向、 小 预热的作用。 3)清洗用消耗品：绸布、卫生纸、酒精。

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 4)铁板：粘结单晶、BEAM 并能装载到机器切割位置。 5)拌匙。 6)搅拌盛具。(目前使用废内圆刀片剪下的钢板。) 7)电子天平。 8)压紧夹具。

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6.3.1.2 粘胶过程 粘胶过程: 1、晶向的确定 (对无参考面的单晶) 晶向的确定 1) 决定要粘的单晶， 并检查和登记其编号、 长度、 直径等到 《单晶粘接记录》 。 然后找一个端面(一般用单晶头部端面)测量该面晶向。 2) 经过矢量分析，重新确定4个晶向值，使晶向的一个轴向的两值相等或相 近、 而另一个轴向自然为 1 个最大值和 1 个最小值， 将晶向最大 (或最小) 处作为粘结 BEAM 面,如下图例所示：

FL

*单晶与 BEAM 粘结 测量值为： 时， 一定要将 C 或 A A:13°07';B:14°10';C:15°17';D:14°14' 3)晶向确定好后算出偏差量及偏移值，并记录到《单晶定向粘结记录》上。 点作为粘接处

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经过对最佳粘结部位的寻找和确定后，测定4个晶向值。 2、有参考面单晶 晶向的确定 有参考面单晶 目前，有参考面单晶的晶向在测定时要先寻找和确定最佳粘结部位， 要求这样粘结能使切割时翘曲度、弯曲度、晶向都在规定范围。 1)根据与参考面成一定角度(对应最佳粘结部位)做好 X、Y 方向的记号； 2)测量晶向，如果左右两个晶向符合要求，则在平形与此方向上粘接 BEAM; 否则将单晶旋转某一角度重新测量， 直至找到合适的粘结面为止； 3)晶向确定好后算出偏差量及偏移值并记录到《单晶定向粘结记录》上。 3、 单晶的粘结 、 单晶的粘结 1)将确定好晶向的单晶放置到粘结的地方； 2)根据单晶长度和直径挑选 BEAM,截取合适长度后用气枪吹干净； 3) 用酒精和卫生纸擦净单晶粘结部位， 用绸布蘸酒精擦净 BEAM 粘结部位； 4)根据单晶长度计算用胶量；称出等分量的白胶与黑胶；快速将胶搅拌 均匀(一般需要 40-50 秒) 5)将搅拌均匀的胶均匀的涂在 BEAM 上(一般

需要 70-90 秒); 6)将单晶的粘结面对准 BEAM 后快速压上，用手微微转动一下单晶，使单 晶表面均匀的布满胶；对有翘曲度要求和偏晶向要求的单晶要调整到 位，用量角器等工具测量即使调整好；(一般需要 30 秒); 7)将夹紧装置安装在单晶两头并夹紧，使单晶完全与 BEAM 粘着，但不 要太紧只要不让单晶滑移偏转即可、否则会粘不住单晶； 8) 等胶干固后 (5 分钟左右) 尽快用美工刀将溢出的多余部分去除干净， , 不要超过时间而且要注意刮胶力度和手势、否则容易使单晶崩边报废； 在 BEAM 上对应单晶的长度与加工编号、用记号笔做好标记； 9)根据单晶晶向偏差在铁块上将粘结部位用记号笔做好标记； 10)按 3~7 步骤将单晶连同 BEAM 一起粘在铁块做好标记的部位上(具体粘 结过程与粘单晶类同); 最后在单晶顶部粘一个导向用的小 BEAM 具体粘结过程与粘单晶类同) ( 。 11) *换取不同胶 时工具 一 定要先用酒精擦干净。 *夹紧时控制夹紧压力， 不要压得过重。 刮胶时要注意手势和 力度。 *在铁块上做 标记不 要 将偏转方向搞反。

6.3.2 晶锭安装 1) 选择 ingot holder, 如果切割 1 根 8 英寸以下硅单晶， 则选择单的 ingot holder,如果切割双根 4 英寸以下硅单晶，则选择双 ingot holder。 *要求头部靠 FL 切割 2)将选择好的 ingot holder,放在专用工具车的 lift trolley 上并夹紧， *切单根时 ingot holder 3) 旋转 lift trolley 后面的把手使 ingot holder 旋转 180°; 边上还有两颗锁紧螺 4) 把已粘好单晶的铁块(workpiece holder)根据《线切割作业记录》上的 丝。 加工位置放到 ingot holder 上，对准螺孔； *螺丝要紧一点，绝对不 (先拧紧中间 4 个) 许松动，但也不可过紧 ； 5) 用八颗螺丝把 workpiece holder 固定在 ingot holder 上 6) 旋转 lift trolley 后面的把手使 ingot holder 旋转 180°,把专用工具车 到线切割机工作台前； 会：使螺孔、螺丝打滑。

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7) 摇升 ingot holder 至刚过线切割机工作台导轨，对准导轨将专用工具 车导轨上的定位销卡入工作台导轨前端的定位槽上；再略微降低 lift trolley 与工作台导轨平齐； *旋转时注意方向，不要让 8)拔出 lift trolley 右边的定位销，推入 lift trolley 连同 ingot holder 至 单晶碰到 ingot holder. feed module 正下方卡位； 9) 在工作面板上按 “锁紧” 按钮 S113, 确认 ingot holder 已被 feed module 夹紧；松开 lift trolley 边上的夹紧装置； *必须由两位操作员同时 10)推出 lift trolley,将 lift trolley 推到专用工具车上，并锁上 lift trolley 右边的定位销；

11)提升 lift trolley 至刚过线切割机工作台导轨，移走专用工具车。 6.3.3 调整切割位置、零位 调整切割位置、 1)打开屏幕上的马达界面，按 F9 至 FEED MODULE 上升和下降界面； 2)按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯； 3)按 F4、F7 再按 S112 使 FEED MODULE 自动下降到前次切割零位； 4)仔细检查导向与线网接触情况； 5)按 F6、F7 使 FEED MODULE 变为手动模式； 6)根据线网与导向条的距离，旋转 S111 进行上下微调，同时注意导向 与线网接触情况； 7)当导向条与线网刚接触后略微向上调一点，按 F8 设置零位； 8)根据单晶直径、导向条厚度、BEAM 切深计算切割深度； 9)按 ESC 退到“2 屏”按 F6 进入“14 屏”将切割深度值输入。 *当单晶直径或根数发生 变更时进入 FEED MODULE 手动模式，按 S111 快速 下降到线网上方，再按照 步骤 6-9 进行调整切割位 置、零位。 进行操作。

切 割 深 度 按 切 入 BEAM 3mm 左右。

6.4 程序设定和输入 按照单晶的特性和加工的要求，从数据库中提取切割方案，制订当前 单晶的《线切割作业记录》。 在切割前，将《线切割作业记录》表中的切割程序，通过机器的控制 面板输入到机器电脑中。 进入操纵屏“22、23”屏相应输入各切割参数，按 F5 进入 17 屏，相 应输入切割程序。

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 6.作业程序 6.5 切割之前的确认 切割之前需要确认和检查的事项有 1)小滑轮磨损情况 2)砂浆准备工作 3)线导轮的安装 4)检查导轮两端的防护箍 5)安装线轮 6)安装线网 7)防护罩 8)安装机器后面的砂浆管 9)检查线网的线压是否正常

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10) 砂浆桶 安装筛网、砂浆泵和搅拌泵，移动砂浆桶，关掉砂浆泵，连接上砂管， 连接..上砂浆泵和搅拌泵(电器插头),把搅拌泵的开关 M9 打开。 11) 确定砂浆是否已经更换 12) 13) 14) 15) 打开冷却水 打开压缩空气 打开主电源开关打开冷却循环 M7,并检查是否有泄漏； 打开砂浆泵 M8,确认喷砂嘴中有砂浆喷出到线网上，砂浆循环系

统正常工作； 16) 输入切割的参数并检查无误； 17) 关闭防护罩(Hood),罩住工作台，并关上滑门； 18) 将操作钥匙 S118 转到 Position OFF,消除报警 19) 打开所有的泵和马达； 20) 进入自动切割状态。 6.6 切割时定时检查 在切割过程中必须随时监控切割的轴承温度等各项参数和切割机、 动力、 冷冻机等的状况，以及切割屏幕上出现的各种报警信息。监控的各项参 数必须及时填入《切割记录表》。 如果遇到下列情形之一，将会停止自动切割模式，并可能断线： 1)马达钥匙(S119

)转到 OFF 位置；紧急刹车被按下。 2)出现报警，包括：断线、轴承过热、冷冻机停机、参数超过允值。 3)水、电、气动力切断。

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可以处理的异常： 1)轴承温度过热时，一般是由于阀门堵塞，通 1 下相关阀门即可。 2)冷冻机门常开，发现它跳闸后立即打开门，重新启动即可。 6.7 切割完成，关闭机器， 6.7 切割完成，关闭机器，取出切割后的硅片 1) 切 割 完 成 后 ， 机 器 报 警 ， 屏 幕 上 出 现 报 警 信 息 ”cutting finished ”,并自动停机。 2)将防护罩锁 S118 打至 ON; 3)按左边边缘的 open 按钮，打开防护罩 HOOD,提升到最顶端； 4) 检查线网和晶锭是否切割正常，有没有切割至设定位置，线网有 没有跳线； 5)打开屏幕上的马达界面，按 F9 至 FEED MODULE 上升和下降界面； 6)调整手动上升的速度为 10-30mm/min, 7)按住操作手柄的顶部按钮，使指示灯为绿灯； 8)按 F3、F7 后再按 S112 使单晶上升到零位； 9)按 F2、F7 后再按 S112 使单晶上升到单晶安装位置； 推入晶锭夹持专用工具车，并将车上的 lift trolley 推入工作台导 轨； 10)将 ingot holder 扣入 lift trolley,转动 lift trolley 右边的手柄 90°,确定 lift trolley 已锁紧 ingot holder;11) 按下面板上 *旋转时注意方向，不要 的夹紧按钮 S114 至松开状态，用手拨动 FEED MODULE 上的锁紧销至松开， lift trolley 连同 ingot holder 拉出至晶锭 让 单 晶 碰 到 ingot 将 夹持专用工具车； holder. 12) 用定位销销住 lift trolley,移出晶锭夹持专用工具车； 13)旋转 lift trolley 后面的把手，使 ingot holder 连同单晶旋转 180º,使单晶朝上。 13)用内六角螺丝刀拧出 ingot holder 背面的 8 颗螺丝，取下粘有 硅片的 workpiece holder,放至清洗槽内； 14)清洁 ingot holer 和机器；

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18/23 HNS/T 001-57-2005 2005 年 2 月 28 日 注意事项 *加入热水前必须用冷水 将硅片冲洗干净。 *小心热水烫伤!! *一段单晶分成几小段时 装盒要根据做好的标记 区分开。 复印号

6.8 硅片冲洗、 6.8 硅片冲洗、脱胶和测量以及搬运 1) 把粘有切割好硅片的 workpiece holder 放到水槽内，用自来水冲 洗硅片表面和硅片之间的砂浆； 2)将单晶入切点(A 点)做好标记，单晶中间每隔一定长度用隔片隔 开，一段单晶分几小端时用不同的隔片隔开，以便区分； 3)堵住水槽的下水口，放入 80℃左右的热水，浸没至硅片的一半； 4)10-20min 后，硅片与 BEAM 间的胶软化，硅片将脱落； 5)小心取出已脱胶的硅片，根据硅片的加工编号，A 点朝上放入泡

沫 盒中； 6)测量硅片晶向、厚度(五点法),将数据记录在线切割作业记录上 检查硅片表面切割状况，测量 WARP 和 BOW 并记录，后转移至下道 切割清洗工序。 6.9 6.9 workpiece holder 脱胶 1)由于 workpiece holder 与 Beam 之间的胶粘的面积较大，脱胶时 最好采取较高的温度，这样容易脱胶。 2)用特定的螺丝刀切入热水浸过的 Beam 和 workpiece holder 之间， 起出 beam,并清洗 workpiece holder。 6.10 6.10 机器清洗和定期检查以及维护 1)每周对机器进行一次清洗，清洗前先拆下进回线轮、小滑轮、剪 下线网；并移开砂浆筒，移入备用的接水铁筒。 2)用自来水冲洗张力系统、切割区，线导轮等部位，待清洗到一定程 度时用干净的自来水循环砂浆泵、冷却泵、砂浆回路、黏度计等。清洗 完毕后用气枪将张力系统、导轮等部位吹干。 3)每周按照《每周检查/维护表》中的各项内容进行检查/维护； 4)每月按照《每月检查表》中的各项内容进行检查/维护； 5)每 3 个月按照《3 个月检查表》中的各项内容进行检查/维护； 6)每 6 个月按照《6 个月检查表》中的各项内容进行检查/维护； 7)每 12 个月按照《12 个月检查表》中的各项内容进行检查/维护

*在清洗机器时要将水与 电线接头等部位隔离开， 清洗过程中保证正常供 气。

页 线切割机操作指导书 文件号 制定日 7.异常处置

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7.1 DS263 异常停机步骤 由于线切割机在切割过程中遇到异常情况时紧急停机容易引起 断线，从而引起硅片损失，甚至导致线导轮受损。为减少损失，现 对正常切割中出现异常情况而且必须停机 停机处理时作如下规定： 停机 1)先将 M6(进给马达)速度从 100%--80%--60%--40%--20%--0% 逐渐减慢； 2)再将 M1(线导轮主马达)速度从 100%--80%--60%--40%--20%-0%逐渐减慢； 3)按面板上的 STOP 按钮，停止所有马达(除 M9 外)。 完成以上动作后，再检查异常原因，排除问题。确认所有异常情 况均已排除，然后按以下步骤开机切割 开机切割： 开机切割 1)先开启 M8(供砂泵)M7(冷却泵); 2)再接着启动 M2、M4、M5、M11、M12、M1、M6,按正常切 割程序启动切割按钮 F4—START,然后将 M1(线导轮主马达)速 度从 10%--30%--50%--70%--80%--90%--100%逐渐加快； 3)再将 M6(进给马达)速度从 10%--30%--50%--70%--80%--90%-100%逐渐加快； 以上操作的过程中，作业员应该注意安全。 7.2 7.2 断线处理 当机器由于某种原因导致异常停机后出现断线现象， 根据断线发 生的位置分 FL 端断线、LL 端断线和两端同时断线三种情况。每种断 线情况发生后的处理有所不同，但目的都是一样，

将未切完的单晶继 续切完，使损失降到最小。 7.2.1 LL 端断线 1)提升单晶使切割位置向上离开断线位置约 2--3mm; 2)清理出断线线头，确认导轮与抱箍之间无断线头； 3)确认导轮上有无跳线现象，有的话进行跳线处理； *调整小滑轮时一定 4)根据线头的位置相应调整 14#小滑轮的位置，调整位置时要注意 要保持水平方向。 确认水平位置； 5)拉出线头绕回到回线轮上，再向前走一些线约 0.2 公里； 6)最后按照异常停机开机步骤重新开机切割。 7) 切割完后将 1#导轮 LL 端的线网重新绕到绕线时的出线槽位置， 并 相应调整 14#小滑轮的位置，调整位置时要注意确认水平位置。

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