（改）电子级磷酸市场调研报告

电子级磷酸市场调研报告

（修改版）

贵州威顿晶磷电子材料有限公司

二OO八年十二月二日

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目录

1．电子级磷酸概述 .............................................................. 4 1.1电子级磷酸定义 ............................................................................................................................ 4 1.2电子级磷酸概述 ............................................................................................................................ 4 2．电子级磷酸技术发展趋势 ...................................................... 5 3.电子级磷酸的主要应用领域 ..................................................... 6 3.1在TFT-LCD产业的应用 .............................................................................................................. 6 3.2在IC行业中的应用 ...................................................................................................................... 9 3.3 IC用磷酸与TFT用磷酸区别分析 ............................................................................................ 11 4.电子级磷酸国际市场综述 ...................................................... 15 5．大陆电子级磷酸市场综述 ..................................................... 15 6．电子级磷酸进出口分析 ....................................................... 16 6.1大陆进出口数据分析 .................................................................................................................. 16 6．2.海外进出口数据分析 ............................................................................................................... 19 7．电子级磷酸市场容量评估 ..................................................... 26 7.1国内市场 ...................................................................................................................................... 26 7.2国际市场 ...................................................................................................................................... 26 8.电子级磷酸价格分析 .......................................................... 27 8.1国际贸易价格 .............................................................................................................................. 27 8.2大陆贸易价格 .............................................................................................................................. 30 9．国外电子级磷酸生产商 ....................................................... 32 9.1日本磷化学工业株式会社（RINKAGAKU KOGYO）.................................................................. 32 9.2日本化学工业公司（NIPPON CHEMICAL INDUSTRIAL CO.,LTD） .............................................. 32 9.3日本RASA工业株式会社总公司 ............................................................................................. 32 9.4美国SIGMA-ALDRICH CORPORATION与HONEYWELL ................................................................ 33 9.5 以色列的ICL GROUP（ ISRAEL CHEMICALS LIMITED） ........................................................... 33 9.6 德国的BASF 与MERCK ............................................................................................................. 34 9.7 波兰KANTO与MERCK—KANTO ............................................................................................... 34 9.8韩国东友 ...................................................................................................................................... 34 9.9韩国东进DONGJIN SEMICHEM .................................................................................................... 34 9.10英国GOWER化学有限公司 ................................................................................................... 34 10．国内电子级磷酸生产厂家 .................................................... 35 10.1四川成洪磷公司 ........................................................................................................................ 35 10.2江阴澄星磷化工（集团）股份有限公司 ................................................................................ 36 10.3其它信息 .................................................................................................................................... 38 11．风险分析 ................................................................. 39

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11.1市场风险 .................................................................................................................................... 39 11.2技术风险 .................................................................................................................................... 39 11.3成本风险 .................................................................................................................................... 39

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本《电子级磷酸市场调研报告》以电子级磷酸的用途、产能、产量、消费、价格、进出口等数据为依据，以技术、市场和客户为报告的重点内容，内容包括市场条件，主要生产商经销商分析，技术情况，市场趋势等，数据来源于中国权威信息机构。

1．电子级磷酸概述

1.1电子级磷酸定义

电子级磷酸又可称为超高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种。主要用于芯片的清洗、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗。目前作为TFT-LCD(薄膜液晶显示器)和IC(大规模集成电路)行业中的蚀刻液，被广泛应用于集成电路及液晶显示器领域中。电子级磷酸被称为“磷酸行业皇冠上的明珠”。

1.2电子级磷酸概述

电子级磷酸在性质上和普通磷酸一样。磷酸（含量为８５％时），为无色透明糖浆状液体，无水份的磷酸为无色不稳定的斜方晶体，易吸潮，能与水及乙醇任意混合。

电子级磷酸生产的方法主要有湿法和热法两种。其中用硫酸及其他无机酸处理磷矿石制作的磷酸称为湿法磷酸；将湿法磷酸用提纯的方法净化得到杂质含量在要求范围内的磷酸为电子级磷酸；用电炉或高炉生产电子级度的单质磷而后经燃烧水化得到的磷酸则称为热法磷酸。

1.2.1湿法磷酸

通过对含磷酸盐矿石的酸化处理（处理酸通常为硫酸），制得湿法磷酸；经过净化达到电子级磷酸的标准。

净化磷酸的技术很多，如离子交换法、离子交换膜电渗析法、磷酸浓缩结晶法或复盐结晶法、有机溶剂萃取法、有机溶剂沉淀法、化学沉淀法等。其中超净过滤可能是采用来做电子级磷酸净化的技术。

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1.2.2热法磷酸

一般情况下，半导体用磷酸都采用热法（即电炉法）生产，因为半导体用磷酸要求可溶性金属尤其是重金属含量低，以避免对微电子线路的污染，其中任何尺寸大于0.5微米的不溶性杂质微粒都有可能造成这些期间的短路。

用于微电子行业的超纯磷酸可用电子级的五氧化二磷合成，或者由电子级的三氯氧磷水解制得。其中五氧化二磷是在电炉中使用焦碳对磷矿石的还原法，还原出磷，然后再经过燃烧生成；电子级的五氧化二磷可由升华来提纯，制得超纯P2O5，然后用超纯水配制。而电子级的三氯氧磷由于三氯氧磷易挥发，可由精馏工艺制得，如下所示：

工业三氯氧磷——精馏——水解——脱酸——稀释——水浴加热——超净过滤——超净分装——成品包装

1.2.3两种工艺的区别

由于电费高涨，热法磷酸存在着很多缺点如：能耗高、污染大等原因，其生产与发展在不同程度上受到严重限制，这就大大的促进了湿法磷酸的发展，湿法磷酸对热法磷酸的竞争力一直呈上升趋势，净化湿法磷酸技术的开发研究也越来越受关注。

然而，同湿法磷酸相比，热法磷酸的纯度和浓度却比较高。但是其制造成本较湿法磷酸要高将近一半，这主要是由于热法磷酸工艺是先从磷矿石中制黄磷，再制磷酸。由于黄磷生产消耗大量电力又污染环境，因此生产成本非常高。

2．电子级磷酸技术发展趋势

电子级磷酸属于微电子化学品,主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的清洁度和纯度对IC 产品的成品率、电性能及可靠性等都有着十分重要的影响。在微电子器件、电路技术方面,随着高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的开发,集成电路与器件的特征尺寸越来越精细,加工尺寸已进入深亚微米、百纳米直至纳米级。2006年国外高性能微处理器的特征尺寸已达0.19μm,目前0.1μm 的光刻技术已进入实用化阶段；预计到2010 年, 特征尺寸将达到0.05μm ; 到2012 年, 特征尺寸将达到0.035μm。而国内目前的光刻技术水平以0.35μm 为主,根据国家“十一

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五”发展规划,预计至“十一五”末,将达到0.25～0.18μm 的水平。但要达到这个目标,必须对半导体与集成电路行业用的微电子化学品如超净高纯试剂、光致抗蚀剂(光刻胶)、特种气体、封装材料等提出更高的要求,使其保持同步或超前发展。

中国在电子级试剂的发展方向上,将重点进行适用于0.2～0.6μm 工艺技术的超净电子级试剂的研究开发,同时开展0.09～0.2μm 工艺技术加工所需超净电子级试剂的前期研究。超净电子级试剂的研发方向也就是电子级磷酸的技术发展趋势。

3.电子级磷酸的主要应用领域

3.1在TFT-LCD产业的应用

3.1.1 TFT-LCD

TFT-LCD是(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 的缩写，也就是薄膜晶体管液晶显示器的意思。它是液晶显示器中最重要的一种，其产值和影响力在液晶显示器家族中有着举足轻重的地位。可广泛应用于电视机、笔记本电脑、监视器、手机等各个方面。

TFT-LCD根据薄膜晶体管材料的不同，又分为非晶硅TFT（a-Si TFT）、多晶硅（p-Si TFT）和单晶硅MOSFET（c-Si MOSFET），后者形成的LCD被用于LCOS（Liquid Crystal on Silcon）技术。

TFT-LCD技术是微电子与液晶显示巧妙结合的一种技术。人们将把Si上进行微电子精细加工的技术，移植到在大面积玻璃上进行TFT阵列的加工，再与业已成熟的LCD技术相结合，以求不断提高产品品质，增强自动化大规模生产能力，提高合格率，降低成本，使其性能/价格比不断向CRT逼近。

TFT LCD由于它的体积小、重量轻、无辐射等优点，在很多领域得到广泛应用。电子仪器、仪表；文字处理机；电子手表、计算器；笔记本电脑、平板电视；台式电脑监视器；工业监视器；摄像机、数码相机；投影显示；车载或便携式VCD、DVD；手机屏、PDA、GPS；液晶电视、高清晰度数字电视。

而就LCD而言,虽然它发明于美国，但其技术和产业的发展却在东亚，目前已

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基本上由日本、韩国和台湾地区形成三足鼎立的局面。TFT-LCD 的全球主要产区为韩国、台湾、日本和中国大陆。韩国两大厂商LG.Philips LCD 和Samsung 遥遥领先；台湾厂商凭借低制造成本和下游资讯产品市场的优势紧随其后；日本厂商控制了大部分设备和上游原材料和零组件的供应。

从整个LCD业者的竞争业态而言，韩国三星仍然处于目前在全球LCD市场中的领导地位。在全球TFT-LCD产业中，以台湾的企业最多，即有所谓的台湾“四虎”之称。中国大陆作为新进入者，依赖于政策扶持在全球巨大的TFT-LCD 市场中占据一席之地。近年来，随着中国综合实力的增强，特别是上广电和京东方相继建成两条TFT-LCD的五代线，中国大陆有可能会逐步成为全球最大的LCD产业基地。

在TFT LCD之Array制程中，主要需要磷酸刻蚀的是Mo/Al金属层,金属铝（Al）蚀刻液主要由硝酸（HNO3）、磷酸（H3PO4）及醋酸（CH3COOH）三种成份混合而成，反应机制包含二道步骤：先利用HNO3的强氧化性将铝金属层氧化成为Al2O3，再由H3PO4与Al2O3反应生成可溶性的磷酸铝，其中CH3COOH为缓冲溶液，扮演H+提供者的角色，使蚀刻率能维持稳定；其中硝酸及磷酸浓度比例则是影响蚀刻速率的关键。

行业内目前没有对磷酸的具体的标准。TFT-LCD的相关行业标准也正在制定当中。

TFT技术是二十世纪九十年代发展起来的，TFT-LCD结合了半导体技术和液晶光学技术而创造出的新型显示技术。随着半导体技术的发展和有源矩阵概念的提出，TFT-LCD技术开始逐步形成，并于90年代初期在日本开始产业化。

TFT-LCD产业的成本随代的变化而有一定差异，以当前主流的第五代生产线例，TFT-LCD成本中原材料占的比重最高，达到62%。

目前设在中国的液晶面板厂家主要有上广电（产能5.2万片/月，五代线）、龙腾光电（五代线）、京东方（五代线）、上海天马（4.5代线）、新华日（1代线）以及台湾面板4虎设在大陆的工厂。

3.1.2电子级磷酸在TFT-LCD制作过程中的应用

1）TFT-LCD 制程array 段，等同于半导体制程，均是利用sputter／CVD成膜技术，来形成导体层、介电层、扩散障碍层、保护层等，再利用上光阻，曝光，显影在光阻上形成所需的pattern，接着利用蚀刻的方法将未受光阻保护的区域

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去除，最后再将光阻去除。

2）目前应用于LCD制程array段及半导体相关产业的蚀刻技术，主要可分为湿蚀刻（Wet Etching）与干蚀刻（Dry etching）两种。

湿蚀刻反应过程大概可分为三个阶段： a.反应物质扩散到欲被蚀刻材质的表面； b.反映物与被蚀刻薄膜反应；

c.反应后的产物从蚀刻表面扩散到溶液中，并随溶液排出。

在此三个阶段中，反应最慢者就是蚀刻速率的控制关键，也就是说，该阶段的进行速率即是反应速率。相对于干蚀刻而言，湿蚀刻为较早被开发应用之蚀刻技术，主要依靠薄膜与特定溶液间的化学反应，针对未被光阻覆盖区域，进行薄膜的移除。湿蚀刻的优点是制程单纯，产能速度（Throughput）快，并且具有优秀的蚀刻选择比。不过，因为湿蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的移除，而化学反应的发生并无特定的方向性，故湿蚀刻的另一特点为等向性（Isotropic）的蚀刻。需要注意的是蚀刻后之剖面，有明显的底切（Undercut）现象存在。

一个很重要的方面就是要控制湿蚀刻的反应速率。通常可改变溶液浓度及反应温度。溶液浓度增加可加速蚀刻，虽然浓度越浓，或是温度越高，薄膜被移除的速率就越快；但是太高的薄膜蚀刻率往往会造成严重的底切现象，所以这两项条件必须被适当的控制。蚀刻时间，会随着溶液对薄膜材质的蚀刻率减慢，而延长整个薄膜被移除所需的时间，因此这三个参数基本上是相互关连的。另外适当的搅拌，也可以使溶液内的反应物往薄膜表面所进行的质量传递（Mass Transfer）不再完全依赖扩散作用进行，而可以借着搅拌所提供溶液的对流，来提升反应物输往薄膜表面的能力。适当的搅拌，如：喷洒所制造的气泡，摆动及超音波震荡等，亦可适度的减轻底切现象的发生。

蚀刻反应的进行方式则是藉由硝酸与铝反应产生氧化铝，再由磷酸和水来分解氧化铝；而醋酸主要是用做缓冲剂（Buffer Agent）来抑制硝酸的解离。至于蚀刻速率的调整，则可藉由改变硝酸及磷酸的比例，再配合醋酸的添加或是水的稀释来控制，相关之化学反应式如下： HNO3 + H2O →H3O+ + NO3- 2Mo + 6H+→ 2Mo3+ + 3H2

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2Al + 6H+ → 2Al3+ + 3H2 H3PO4 +2H2O→ 2 H3O+ + HPO42-

2Mo3+ + 3HPO42- → Mo2（HPO4）3→ 2MoPO4 + H3PO4 2Al3+ + 3HPO42- → Al2 （HPO4）3→2AlPO4 + H3PO4

3.2在IC行业中的应用

集成电路（IC）是通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能。集成电路的技术发展迅速,目前主流加工技术是8英寸硅片，0.25微米线宽。12 英寸硅片0.18 微米已经批量生产。当集成电路线宽达到0.1 微米及以下，全面进入纳米领域。据国际权威机构预测，到2014 年，半导体芯片加工技术将达到18 英寸硅片、0.035 微米特征尺寸（线宽）。届时，微电子的基础理论、材料技术和加工技术都可能发生革命性的变化。

3.2.1氮化硅层（Si3N4）蚀刻

一般多使用85%的磷酸(H3PO4)在160~170℃之间做氮化硅层的蚀刻，化学反应式如下：

Si3N4 + 4H3PO4 + 10H2O ? Si3O2(OH)8 + 4NH4H2PO4 3.2.2铝导线蚀刻

铝常在半导体制程中作为导电层材料，湿式铝层蚀刻可使用多种无机酸碱来进行，而以硝酸、磷酸及醋酸之混合溶液其蚀刻速率最为稳定，目前被广泛运用在半导体制程中。其中磷酸约占80%，加入3-5%的硝酸（硝酸和铝生成硝酸铝，提高腐蚀速率，但不能加得太多，否则会影响光刻胶抗蚀能力），10%的冰醋酸（降低腐蚀液的表面张力，增加硅片表面与腐蚀液的浸润，提高腐蚀的均匀性，起到缓冲作用），水约占5%。磷酸腐蚀液的腐蚀原理是，铝是活泼金属，它能与磷酸中的氢离子发生置换反应。从而使铝溶解于磷酸中，其反应式如下：

2Al+6H3PO4=2Al（H2PO4）3+3H2

生成的酸式磷酸铝[Al（H2PO4）3]易溶于水。

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浓磷酸在使用一段时间以后，会发现腐蚀液中有白色混浊物。这是由于磷酸与铝生成难溶的磷酸铝白色沉淀之故，其反应式如下：

2Al+2H3PO4=2AlPO4+3H2

这些沉淀物会附着在硅片表面，对铝层的腐蚀是不利的，必须定期更换腐蚀液。同时铝和磷酸化学反应十分剧烈，产生大量的氢气也会浮积在硅片表面。为了清除这些气泡，可以加入少量的无水乙醇或硝酸。

3.3.3 IC行业使用的磷酸标准 IC与所用试剂的标准关系见下表 磷酸级别 MOS BV-I BV-II SEMI-C1 C7,BV-Ⅲ C8, BV-Ⅳ C12, BV-Ⅴ 颗粒/μm ≥5 ≥2 ≥2 ≥1 ≥0.5 ≥0.5 ≥0.2 含量/个.mL-1 27 3 2 25 25 5 TBD 各种金属杂质含量 ≤1.0*10-4 ≤(1-n)*10-8 ≤(1-n)*10-8 ≤1.0*10-7 ≤1.0*10-8 ≤1.0*10-9 ≤1.0*10-10 适用半导体IC/μm ≥5 ≥3 >2 ≥1.2 0.8-1.2 0.2-0.6 0.09-0.2 3.3.4 SEMI(国际半导体设备与材料协会)的磷酸标准 指标 Assay(H3PO4) Color, maximum Chloride(Cl) Nitrate(NO3) Sulfate(SO4) Aluminum(Al) Antimony(Sb) Arsenic(As) Barium(Ba) Cadmium(Cd) Calcium(Ca) Chromium(Cr) Cobalt(Co) Copper(Cu) Gold(Au) Iron(Fe) Lead(Pb) APHA Ppm Ppm Ppm Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb 单位 % 79.—81. 85.—87. Grade1 1 5 -- 500 10000 50 -- -- 1500 200 50 50 300 2000 300 SEMI 79.—81. 85.—87. Grade2 1 5 12 300 3500 50 -- 450 1100 200 50 50 150 700 300 79.—81. 85.—87. Grade3 1 5 12 50 1000 50 50 50 150 50 50 50 50 100 50 10

Lithium(Li) Magnesium(Mg) Manganese(Mn) Nickel(Ni) Potassium(K) Silver(Ag) Sodium(Na) Strontium(Sr) Zinc(Zn) Titanium (Ti) Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb Ppb 100 200 100 200 1500 2500 100 2000 300 100 200 100 200 450 500 100 400 300 10 50 50 50 150 250 10 50 50 一般来说Grade2磷酸满足于TFT-LCD用，Grade3磷酸满足于IC行业使用。

3.3 IC用磷酸与TFT用磷酸区别分析

磷酸（H3PO4）为无色透明或略带黄色稠状液体，属中性酸，具有吸湿性，易溶于水。磷酸的用途很广泛:它可被用于制造各种磷酸盐，电镀抛光剂、钢铁防锈剂、印刷工业去污剂、有机合成催化剂、洗涤剂、涂料、医药、水处理等方面。此外，磷酸还可以根据品质的不同分为：工业级、食品级、医药级和电子级。针对不同的产品用途，可以使用不同级别的磷酸。如：食品级磷酸可广泛应用于可乐、啤酒、色拉油、糖果和乳制品等食品行业的酸味剂或添加剂等。在这里IC用或TFT用磷酸主要指电子级磷酸。电子级磷酸又可称为超纯磷酸，它主要应用于电子企业晶片生产过程中的清洗或蚀刻。随着液晶电视需求的不断发展和越来越多的半导体芯片制造企业向中国的转移，用于超薄高清晰度液晶电视及芯片制造工艺中的电子级磷酸的需求也将大幅度增长。那么了解IC及TFT用磷酸的相关情况就变得至关重要了。

有些人对于IC用或TFT用电子级磷酸还不太了解，认为区别不大，其实这是个误区。事实上，用于这两个行业的电子级磷酸还是有些不同的。

1．行业用标准不同

首先，由于这两个行业的不同，其使用磷酸所依据的标准也不大相同。据悉，目前还没有明确的TFT用磷酸标准。

下面就是IC用磷酸的标准参照表 附表：IC与所用试剂的标准

级别

颗粒/μm 含量/个.mL-1 各种金属杂质含量 11

适用半导体IC/μm MOS BV-I BV-II SEMI-C1 C7,BV-Ⅲ C8, BV-Ⅳ ≥5 ≥2 ≥2 ≥1 ≥0.5 ≥0.5 27 3 2 25 25 5 TBD ≤1.0*10-4 -8 -8≥5 ≥3 >2 ≥1.2 0.8-1.2 0.2-0.6 0.09-0.2 ≤(1-n)*10≤1.0*10-7 -8-9≤(1-n)*10 ≤1.0*10 ≤1.0*10 ≤1.0*10 -10C12, BV-Ⅴ ≥0.2 IC用电子级磷酸主要用于硅晶圆片工艺加工过程中的清洗和蚀刻。不同尺寸的硅片，表面清洗或蚀刻的要求不同，对高纯清洗剂的标准需求也不同。

300mm硅片表面清洗的要求

指标 单位 221997年 180nm 5ⅹ10 5ⅹ10 -10-91999年 130nm 4ⅹ10 2.5ⅹ10 -10-92003年 100nm 3ⅹ10 2ⅹ10 -10-92006年 1ⅹ10 1ⅹ10 -10-9Ca,Cu,Cr,Fe,K,Mn,Na,Ni 原子/cm Al,Ti,Zn 原子/cm 如表所示,IC业硅片的表面清洗或蚀刻的工艺要求越来越高,其清洗剂的纯度和各方面杂质的要求也越来越高。

而TFT-LCD用磷酸目前还没有具体的使用标准，但是我们知道的是，TFT-LCD所用蚀刻液各项指标的不同可以直接导致干湿蚀刻的比重有很大的差别，至于优劣与否还需要进一步的考察。

2．具体产品标准的差异性分析

由于信息的局限性，目前我们只掌握了成洪磷一家关于TFT和IC用磷酸的标准。据悉，国内只有他一家取得了电子级磷酸生产关键技术上的突破，也就是说只有成洪磷成功的生产出grade 1和grade 2，两个电子级磷酸的产品，其具体指标如表所示： 成洪磷电子级磷酸标准

Items H3P04 Color NO3 SO4 CL AL K Sb As

Unit WT% ppm ppm ppm ppm ppb ppb ppb ppb 成洪磷电子级磷酸标准 用于液晶显示器（TFT-LCD）的铝刻蚀剂 用于半导体（IC）芯片清洗和腐蚀 85.0-87.0 ≤10 ≤5 ≤10 ≤1 ≤100 ≤100 ≤500 ≤50 12

85.0-87.0 ≤10 ≤0.5 ≤5 ≤0.5 ≤50 ≤50 ≤400 ≤10 Bi Ba B Cd Ca Cr Co Cu Au Ga Fe Pb Li Mg Mn Ni Ag Na Sn Sr Ti Zn 还原性物质 微粒（最多） ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppm Pcs/ml ≤20 ≤50 ≤50 ≤50 ≤400 ≤50 ≤50 ≤20 ≤50 ≤10 ≤400 ≤50 ≤20 ≤50 ≤50 ≤50 ≤30 ≤100 ≤30 ≤20 ≤100 ≤100 ≤10 ≤100 ≤10 ≤20 ≤30 ≤10 ≤150 ≤30 ≤30 ≤20 ≤10 ≤10 ≤150 ≤30 ≤10 ≤20 ≤20 ≤20 ≤10 ≤50 ≤20 ≤10 ≤50 ≤50 ≤10 ≤50 如上表数据所示，成洪磷所用的TFT和IC用磷酸标准是不同的，但是为了更加准确的判断他们之间的不同以及差异程度，我们在这里用统计的方法对其进行假设，希望得到一个相对合理的结论。假设他们的指标为准确值而不是一个区间范围并用SPSS来统计他们的不同程度。其实验结果如下。

Paired Samples Statistics Pair 1 TFT IC Paired Differences Mean Std. Deviation Mean Mean 84.71 43.10 N 31 31 Std. Deviation 120.938 75.133 Std. ErrorMean 21.721 13.494 Sig. (2-tailed) Paired Samples Test 95% Std. Error Confidence the

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t df Interval of Difference Pair 1 TFT - IC 41.61 59.768 10.735 Lower 19.69 Upper .001 63.54 3.877 30 Paired samples test 是统计学中专门用来估算同一产品的两个不同方面差异性的实验，其可信度很高。其中最为重要的结果是Sig. Two-tailed, 如果该结果小于.05,就标志着我们比较的两组数据趋势是完全不同的。如上表所示，成洪磷的TFT用和IC用电子级磷酸的Sig. Two-tailed是.001，这说明其两种产品指标之间存在很大的差异性，其中TFT用磷酸的Deviation是120.938，而IC用磷酸为75.133 ，这表明IC用磷酸标准明显高于其生产的TFT用磷酸。关于它们之间的不同的程度我们可以用下列公式计算得出：

Eta Squared= t/ (t+N-1)≈0.33

(结果如是.01=差异程度较小， .06=差异程度适中，.14=差异程度较大)

根据我们计算出的结果.33%说明成洪磷的TFT和IC用磷酸标准本质区别非常大。关于具体的差异程度，我们可以用TFT的指标为基数来计算平均值的方法估算出来，最后结果约为50%，这就意味着成洪磷的IC用磷酸标准高于其TFT用磷酸标准约一半左右。

图：成洪磷电子级磷酸标准趋势图

6005004003002001000TFT用标准IC用标准2

2

ppbALSbBiCaCoAuFeLiMnAgSn

3.线宽的不同

在TFT-LCD制成中因线宽远较半导体制成大，（估计大1μm）所以他们使用

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TiB的磷酸标准存在着差异。专业人士认为TFT用与IC用磷酸的不同主要在于线宽的品质上。TFT-LCD大概在0.5-1.0um；而 IC在0.2um左右。 由于TFT-LCD的线宽大一些，所准许的微尘颗粒比IC要多一些。因此，线宽的不同可以是造成TFT用和IC用磷酸不同的一个本质原因。

4.电子级磷酸国际市场综述

全球TFT-LCD企业主要集中在台湾,日本和韩国这三个国家，再加上中国大陆地区的几个企业，总体来说TFT-LCD生产线电子级使用也集中在上述三个国家中。

种种信息表明，TFT-LCD行业处于产业周期的回升阶段，该上升趋势至少要维持到2008年。三星、夏普、友达、奇美纷纷在投资建设7.5、8代线，到2007年大约有7条7代以上的线建成。IC的新生产线也都在投资建设中。预计2010年之前全球的电子级磷酸容量在10万吨左右。

信息显示，全球电子级磷酸扩产的企业都在日本。日本急速扩产有两种可能：一是为了满足市场的增长；二是为了和其他企业争夺现有市场。不管是哪一种可能性，都意味着要进入这个市场，就要和日本的企业进行竞争是必然的。

从整个世界磷酸市场的需求供给分布来看，主要的磷酸需求地区和电子级磷酸生产地区都集中在亚洲，又特别以日本、韩国、台湾和中国大陆四个国家地区为重中之重。

5大陆电子级磷酸市场综述

目前大陆市场电子级磷酸的用量大约就在3500吨左右。考虑目前在建的项目：龙腾光电5代线，4万片，天马4.5代，3万片（07年），磷酸用量每月将增加100-120吨。预计2010年大陆电子级磷酸年消耗量可以达到5000吨。

除了以磷酸形式进口的以外，估计大量的需求是以进口磷酸蚀刻液来满足的。蚀刻液的进口量由于数据无法单独提出来，而无从知道。但是我们可以大致推算蚀刻液用量和磷酸用量的比例。我们知道05年的磷酸进口量大约是1400

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吨，而根据下表测算出的实际需求量应该是3500多吨，那么就是说明了以蚀刻液方式进口的磷酸应该大约是2100吨。也就是说以蚀刻液方式进口的磷酸用量大约是以磷酸方式进口的1.5倍。

TFT-LCD 企业 上广电 京东方 吉林彩晶 小计 IC 中芯国际 台积电 和舰科技 上海宏力 上海先进 上海华虹 首钢日电 其他：上海贝岭、无锡华润、无锡58所、绍兴华越、宁波国微明华、燕东、福建福顺、沈阳47所、天水天光、西安771所、重庆24所、杭州士兰、中纬积体、乐山-菲尼克斯、上海新进等 小计 1660吨/年 3580吨/年 磷酸用量 840吨/年 720吨/年 360吨/年 1920吨/年 720吨/年 100吨/年 60吨/年 200吨/年 60吨/年 60吨/年 60吨/年 20吨/年/条线，约有20条线 合计 6．电子级磷酸进出口分析

6.1大陆进出口数据分析

6.1.1 2007年中国大陆磷酸进口统计

16

2007年中国大陆磷酸进口统计 单位：吨 进口国 日本 台湾 韩国 美国 其他 合计 进口量 1954.5 651.4 316.8 43.7 272.6 3239.0 2007年中国磷酸进口结构图 其他美国韩国1%8%台湾20%美国韩国日本台湾其他日本61 07年中国进口磷酸3239吨，可以认为都是用于液晶显示器和IC行业或更高级别的电子级磷酸。中国主要从日本进口电子级磷酸，2007年从日本进口磷酸1954吨，占进口总量的61%，其次是台湾和韩国，分别占进口总量的20%和10%。

3500300025002000150010005001476中国05~07年进口磷酸增长图32390.6 21990.5549G%0.5进口数量增长率0.45随着国内2005TFT-LCD和IC的发展，中国对电子级磷酸的需要越来越大，平均20062007以30%的年需求量递增，按此计算，预计2008年，中国电子级磷酸需求量将达到4500吨左右，不包括进口蚀刻液中所含磷酸。

6.1.2主要进口单位上广电磷酸使用情况

我们分析了上广电05年，06年，07年的进口磷酸数据，得到以下信息。

00.4 17

上广电2007年进口磷酸824吨，平均每月用量68.7吨。每月进口量如下图；

1400001200001000008000060000400002000075800上广电07年每月磷酸进口量13265010380094750758007580075800758005685037900

18950005年~07年磷酸进口量统计0上广电 单位:吨 123456789101112磷酸用量（千克）上广电05~07磷酸进口量和年增长率10009008007006005004003002001000-7.50 05200620074161.48241.210.80.60.40.20-0.2进口量增长率891114%

上广电2007年进口磷酸824吨，平均单价是1.96美元/千克。从图上看出，2007年比2006年进口减少了67吨，基本上是上广电一个月的用量。2006年和2007年上广电进口量相差不大，这是上广电已经实现生产并稳定发展的一个信号，排除上广电扩产因素以此预计2008年上广电磷酸用量将在850~900吨之间。

6.1.3其它企业高纯磷酸使用情况 2007年大陆其它IC厂家进口磷酸表 单位:吨 单位 上海宏力 上海先进 上海华虹 进口量 226.8 42.8 90 18

无锡华晶 海力士 中芯国际 台积电 和舰科技 首钢日电 中纬积体 成都成芯 35.8 235.2 518.4 17.9 16.6 10.8 27.2 46.8 中国大陆其他使用高纯磷酸的厂家，例如京东方、龙腾光电等并没有海关数据可以查阅。我们分析这些厂家直接是进口蚀刻液的，另外，中国海关数据显示中国从韩国进口磷酸317吨，而韩国海关数据显示，韩国出口到中国的磷酸是422吨，相差100多吨，可能这就是蚀刻液部分。

6．2.海外进出口数据分析

6.2.1 2007年台湾进出口数据 6.2.1.1进口

主要进口交易国和交易量 单位：吨

国别 数量 比利时 1728.56 美国 383.62 中国 22571 韩国 10783.4 日本 3888.6 马来西亚 780.2 其它 53.9 美国1%马来西亚2%台湾2007年磷酸进口交易国所占比重比利时4%韩国27%日本10%其它0%比利时日本其它中国马来西亚美国韩国中国56 07年台湾共进口磷酸40189吨，其中中国大陆贡献了22571吨，但从价格上判断不是电子级磷酸，最多也就是澄星集团所谓的“准电子级”磷酸。

6.1.2.2出口

2007年台湾磷酸出口海关数据表 单位：吨

交易国 巴基斯坦 日本 中国 澳大利亚 厄瓜多尔 泰国 马来西亚 其它 合计 19

数量 1476 1227 609 308 269 147 129 204 4370 2007年台湾磷酸出口贸易图马来西亚厄瓜多尔3%中国14%6%巴基斯坦34%泰国3%其它5%日本28%澳大利亚7%马来西亚中国日本澳大利亚其它泰国巴基斯坦厄瓜多尔2007年台湾共出口磷酸共计4370吨，其中电子级磷酸是2081吨，占出口总量的47.6%。电子级磷酸主要出口到中国、日本、马来西亚等。

6.2.2日本2007年度磷酸进出口数据 6.2.2.1进口

2007年日本磷酸进口数据表 单位：吨 国别 马来西亚 中国 韩国 摩洛哥 越南 英国 德国 美国 台湾 其它 数量 458 22114 482 9217 121 292 3 18 1227 10477 表中有颜色底纹的是电子级磷酸，即是进口价格大于1美元/千克。 日本从中国进口2万多吨磷酸，买给中国2千多吨磷酸，进出比10比1，几年差不多都是如此。

2007年日本电子级磷酸进口交易国2007年日本电子级磷酸进口交易图 美国1%英国19%德国0%美国英国德国台湾台湾80

2007年日本共进口磷酸44409吨，其中电子级磷酸1540吨，占3.5%。日本是电子级磷酸生产国，主要是进口普通磷酸,出口电子级磷酸。

6.2.2.2出口

2007年日本出口电子级磷酸数据汇总（单位：吨） 国别 韩国 台湾 美国 中国 新加坡 泰国 以色列 马来西亚 菲律宾 印度尼西亚 香港 澳大利亚 越南 俄罗斯 德国 巴西 合计 数量 12403.0 3855.7 2695.7 2022.5 941.3 532.8 77.8 49.4 44.0 19.1 14.7 3.8 2.0 0.928 0.632 0.600 22663.9 2007年日本出口磷酸图

韩国55 07年日本出口磷酸图泰国新加坡2%4%中国9%其他1%美国12%以色列0% 21 台湾17%泰国新加坡中国其他美国以色列台湾韩国

2007年日本出口磷酸22664吨，且价格均在1美元/kg的以上，都是电子级磷酸。

下图是日本国2005～2007年主要出口国增长情况,图中可以看出，日本出口到台湾的电子级磷酸在下降，说明台湾的IC行业在萎缩；而出口到美国、韩国、中国的磷酸在增加，特别是韩国，2006年取代台湾成了日本磷酸最大的消费地区，说明这些国家的IC和TFT行业在增长。 14000日本05~07年主要出口国增长情况1200010000单位：吨 80006000400020000200520062007 美国中国韩国台湾 6.2.3韩国2007年度磷酸进出口数据 6.2.3.1进口

相对于台湾和日本，韩国的进出口贸易简单，进出口渠道单一。

2007年韩国进口磷酸表 单位：吨 进口国 日本 中国

22

进口量 11969 4177 美国 马来西亚 台湾 合计 9.237 5.149 0.134 16160 韩国2007年进口磷酸16160吨，其中从日本和中国就进口了16146吨。中国出口到韩国的磷酸是食品磷酸或工业磷酸。

韩国是电子级磷酸的主要消费国，主要由日本国提供，三年来磷酸进口情况如下：

单位：吨

年度 总量 其中 中国 日本 1564 7567 5390 9370 4177 11969 2005 9140 2006 14776 2007 16160 韩国进口磷酸图马来西亚台湾0%中国26%美国0%中国美国日本台湾马来西亚日本74% 韩国05~07年进口磷酸量比较 1800016000 14000 1200010000 8000 60004000 2000 总量中国日本0200523 20062007

韩国磷酸使用量在上升，从侧面反应了韩国液晶和IC等行业的健康发展，尤其是从日本进口量在稳定上升。

6.2.3.2出口

韩国2007年出口磷酸统计表 单位：吨

国别 中国 新加坡 日本 马来西亚 香港 合计 出口数量 422.4 275.4 145.9 55.9 2.6 902.3 韩国2007年一共出口了900吨磷酸，可是出口到中国的就有422吨，几乎占一半。

6.2.4美国2007年度磷酸进出口数据 6.2.4.1进口

美国2007年磷酸进口贸易 单位：吨

国别 韩国 以色列

24

韩国2007年磷酸出口图新加坡31%马来西亚6%马来西亚中国日本香港新加坡香港0%日本16%中国47%进口数量 18495 13257 中国 日本 加拿大 德国 比利时 瑞士 其它 印度 荷兰 合计 4932 3560 1409 172 63 41 37 25 4 41995

2007年美国进口磷酸41995吨，其中电子级磷酸3777吨。普通磷酸主要来自韩国、以色列和中国，电子级磷酸主要来自日本。

6.2.4.2出口

2007年美国磷酸出口统计表 单位：吨 国别 加拿大 墨西哥 哥斯达黎加 爱尔兰 比利时 新加坡 出口数量 65689 3445 827 211 179 154 25

2007年美国进口磷酸结构图其它1%中国12%加拿大3%中国加拿大以色列日本韩国其它韩国44%以色列32%日本8%

马来西亚 日本 中国 台湾 以色列 阿鲁巴 新西兰 韩国 伯利兹 澳大利亚 意大利 印度 英国 其它 合计 117 85 66 65 63 58 27 26 21 18 15 15 8 638 71727 2007年美国出口磷酸71727吨，其中电子级磷酸1766吨(底纹)。出口的磷酸当中，有65689吨是给加拿大的，占总出口量的92%。

7．电子级磷酸市场容量评估

7.1国内市场

目前国内IC和TFT-LCD用磷酸基本上都是进口磷酸，其用量为3500吨左右，IC和TFT企业直接购进或者进口的蚀刻液中所含的电子级磷酸如前所述一般为直接进口磷酸量的1.5倍，这部分电子级磷酸约为5250吨。中国大陆市场容量约为3500+5250=8750吨/年。市场增长率在15～20%。

7.2国际市场

8.2.1 TFT-LCD磷酸用量(含蚀刻液中磷酸量)

从我们了解的情况知道：一条月产5万片左右面板的5代生产线的电子级磷酸消耗量是800吨/年，其他代线的磷酸用量根据玻璃基板面积算出一个比例,我

26

们以此为基础可以推断出电子级磷酸消耗量，又据此估算出三个主要面板生产国（地区）的磷酸用量。

代线用磷酸量推算表

代线 磷酸用量比例 年消耗磷酸量 第1代 0.08951 72 第2代 0.13986 111 第3代 0.25 200 第4代 0.418462 334 第5代 1 800 第6代 1.940559 1552 第7代 3.06818 2454 台韩日各自拥有的代线生产线（2007）

代线 台湾 韩国 日本 磷酸用量（吨/年） 合计45784吨/年 2 1 6 648 1 1 2 13 1776 2 10 3 10 4600 3 4 2 5 3674 4 8 5 0 10400 5 5 1 2 12416 6 2 2 1 12270 7 全球TFT-LCD企业集中在上述三个国家（地区），总体来说TFT-LCD生产线2007年使用电子级磷酸至少是4.5万吨。

7.2.2 IC磷酸用量

按中芯国际每万片IC每年消耗45吨计算（中芯国际产能为16万片/年，磷酸用量为720吨/年），2007年(除大陆外)全球IC 产能约为700万片，推算出全球IC行业电子磷酸消耗量为3.15万吨。

这样的话，2007年全球的电子级磷酸年消耗量至少7.65万吨。

8.电子级磷酸价格分析

8.1国际贸易价格

8.1.1台湾贸易价格

2005年~2007年台湾从日本、韩国、美国、中国的磷酸进口量和价格表 交易国

2005 27

2006 2007 数量（t） 美国 日本 韩国 中国 7040 10108 15237 9554 单价(美元/kg) 1.22 1.42 * * 数量（t） 7368 8396 10347 14606 单价(美元/kg) 1.45 1.36 0.73 0.63 数量（t） 单价(美元/kg) 384 3889 10783 22571 1.38 1.29 0.81 0.65 从价位上看,我们认为台湾从韩国和中国大陆进口的磷酸并不是电子级磷酸,06年从大陆进口的价约5040元/吨，受人民币升值影响07年约4550元/吨，这些价位和当时的国内食品磷酸价格基本相当。08年3月台湾从大陆进口的磷酸价格上升到了0.765美元/kg。

8.1.2日本贸易价格

2007年日本出口磷酸22664吨，且价格均在1美元/kg的以上，都是电子级磷酸。

日本的电子级磷酸主要出口到韩国，数量为12403吨，平均价格1.59美元/kg。其次是台湾和美国，出口到中国的电子级磷酸并不多。

8.1.3韩国贸易价格

韩国2007年进口磷酸16160吨，其中从日本和中国就进口了16146吨。又其中从日本进口磷酸11969吨，占进口总量的74%，平均价格是1.63美元/kg ，这与日本出口到韩国的数据基本上是吻合的。从中国进口磷酸4177吨，占进口总量的26%，平均价格为0.81美元/kg。

2007年韩国从日本、中国进口磷酸的单价表 （美元/千克） 2007 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 中国 0.77 0.76 0.76 0.78 0.79 0.78 0.75 0.81 0.88 0.86 0.87 0.95 日本 1.60 1.61 1.63 1.70 1.59 1.57 1.57 1.61 1.63 1.63 1.68 1.70 1.801.60 2007年韩国进口磷酸单价曲线 1.401.2028 中国日本

韩国从中国、日本进口磷酸的价格是比较平稳的，从中国进口的磷酸价格只 有日本价格的一半，这说明磷酸质量有很大的差别。

2007年韩国磷酸出口只有902吨，主要出口到中国、新加坡和日本。价格在1美元/千克附近。

可以认为韩国出口的磷酸都是电子级别的。 出口价格和走势图如下：

韩国2007年主要出口价格表（美元/千克）

2007 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 马来西亚 1.47 1.53 0.00 0.00 1.47 0.00 1.47 0.00 0.00 1.28 1.19 1.37 中国 日本 新加坡 1.70 1.35 1.68 1.38 2.27 0.00 1.91 1.56 1.27 1.30 1.26 1.25 1.00 0.96 0.93 0.97 0.90 0.00 0.00 0.97 1.79 0.00 1.08 1.14 0.00 0.00 0.00 0.00 0.00 0.65 0.00 1.15 0.00 1.09 1.21 1.09 表格中0.00表示当月该国家没有向韩国进口磷酸。 2.50 1.502.00马来西亚中国日本新加坡2007年韩国磷酸出口价格表 1.00 0.50 0.00123456729 89101112

8.1.4美国贸易价格

2007年美国进口磷酸41995吨，其中电子级磷酸3777吨。普通磷酸主要来自韩国、以色列和中国。

2007年美国出口磷酸71727吨，其中电子级磷酸1766。出口的磷酸当中，有65689吨是贡献给加拿大的，占总出口量的92%，价格在0.7美元/千克左右，结合加拿大液晶等行业现状，这部分磷酸应该是“准电子级”磷酸或就是食品级磷酸。

8.2大陆贸易价格

时间 1 2 15.9 3 4 5 6 7 8 333 9 10 11 12 平均＄/kg 2006 35.3 17.5 71.1 46.5 42.8 48.2 68 89.56 41.6 79.1 57.6 2.593 96 84.2 64.1 47.8 2.114 2007 28.8 34.43 43.7 49.3 57.5 70.3 61.9

以上是06.07年大陆磷酸进口平均价格,在数据统计中我们已经将个别特别高的数据剔除了,所以2006年平均进口价格是2.593美元/公斤,2007年是2.114美元/公斤是实际结果。

2008年1-6月月进口量大于1吨的磷酸进口统计表 工业磷酸 1 2 2591.3 200.26 3 2394.5 172 4 2724.4 507.2 5 2634.8 192.4 6 3327.9 362.3 合计 1804.6 进口单价(美元/吨) 1923.6 进口量 (吨) 370.5 30

进口金额(万美元) 71.27 51.9 9000 1.08 0.97 41.2 1725.3 12.8 2.21 138.2 9000 2.16 1.94 50.7 0 0 0 120.57 0 0 0 473.8 21.38 6.1 进口单价(美元/吨) 1840.9 食品磷酸 进口量 (吨) 进口金额(万美元) 5.34 0.98 注明:月进口量大于1吨的磷酸不是特殊行业用酸,价格波动不大,具有代表性. 月份 工业进口单价 食品进口单价(美元/吨) 1 1923.6 1840.9 2 2591.3 9000 3 2394.5 1725.3 4 2724.4 9000 5 2634.8 0 6 3327.9 0

1、大陆磷酸进口量没有什么规律，但上半年总的进口量1800吨和去年同期相当，食品酸可以不计。

2、进口单价上升幅度是大的，从元月份的1923美元到6月份的3328美元，涨幅达到73%。上半年平均价位达到了2599.4美元/吨.合人民币18195元/吨

3、可以看出：大陆磷酸进口量不会有大的攀升，但进口价格会稳步上升，而且幅度不会小。2008年2月、3月大陆从日本进口的磷酸价格分别是2.18和2.19美元/kg。

中国大陆主要是进口电子级磷酸，出口普通磷酸，年出口量达30多万吨。

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9．国外电子级磷酸生产商

9.1日本磷化学工业株式会社（Rinkagaku Kogyo）

公司成立于1926年11月。公司于1995年开始生产电子级磷酸，2005年进一步扩大电子级磷酸生产规模。公司1990年加入东曹集团（Tosoh Corporation）。东曹集团是日本大型多方位经营的化学公司,是亚洲第11大、日本第8大化学品生产商

9.2日本化学工业公司（Nippon Chemical Industrial Co.,Ltd）

日本化学工业公司Nippon Chemical Industrial Co., Ltd. 创立于1893年。是日本无机化学工业的先驱。1985年与三井、拉沙合资成立磷酸厂生产湿法磷酸。

该公司在日本爱知县的电子级磷酸生产基地扩建工程已经完工，生产能力提高50%，达到60000t/a。但是该数据可能有误。据台湾工研院统计的2004年产能，日本化学工业公司的产能是9100吨。

据称该扩建工程是为了回应液晶显示屏（LCD）生产过程中蚀刻用电子级磷酸增加的需要。伴随LCD需求的扩大，电子级磷酸产品期望成为该公司无机化学品中增长率最高的产品。

该公司的电子级磷酸产品除了满足日本、韩国及中国台湾地区的需要外，正研究在中国大陆及亚洲其它地区扩产计划。

9.3日本RASA工业株式会社总公司

日本RASA工业株式会社总公司成立于1913年。现在由化学肥料事业主体进而衍生、发展成以磷酸为主的化学成品事业。

RASA的电子材料测试用集成电路芯片再利用被大多数的台湾半导体装置制造厂商所采用；因此，RASA工业株式会社和台湾的产业发展有着坚实的密切

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合作关系。RASA与台商合资的晔晶科技，（这家所谓的晔晶科技是个贸易公司，主要从事TFT-LCD、IC蚀刻液的买卖销售，它的投资人有来自日本的RASA、丸善药品产业和台湾的三联科技——投资比例是Rasa工业26%，多摩化学13%，丸善药品25%，三联科技24%、多联科技〈多摩化学、三联之合资〉12%）晔晶科技用来销售的产品（磷酸等原料），是由RASA大阪厂供应，为了增加对晔晶科技的供应量，RASA出资在台湾成立理盛精密科技股份有限公司，主要生产电子级磷酸。该公司第一期年产量6300吨；为了供应华映2006年在中科二期后里基地投资新建厂区的需求（预计其材料使用量将是目前的2倍或更多），理盛精密已经于2006上半年再投资约新台币3亿元增建二厂，预计2006年七月份完工，产量将提高到20000吨。

9.4美国Sigma-Aldrich Corporation与Honeywell

美国Sigma-Aldrich Corporation与Honeywell类似于一集团公司,其子公司包括Sigma, Aldrich, Riedel-de Ha?n， Fluka and Supelco等,是一家一流的生命科学与高科技公司。

Sigma-Aldrich与Honeywell共同经营其子公司Riedel-de Ha?n的电子级磷酸，但品牌（PURANAL?）属于Honeywell。

Honeywell在中国的发展战略是发展电子材料产业，并在中国寻求与电子材料供应企业和研究机构的合作。很有可能在不久的时间里Honeywell就会在中国大陆设立化学品材料的工厂。其中是否会涉及和我们产品相关的电子级化学品。

9.5 以色列的ICL Group（ Israel Chemicals Limited）

以色列的ICL高性能产品部2005年11月6日收购了美国的Astaris LLC 公司的业务，形成了ICL新的业务部门-ICL Performance Products LP。

Astaris是北美的FMC Corporation与Solutia Inc合资组建的北美公司，主要经营专用和食品级磷酸和磷酸盐。Astaris的磷酸为热法磷酸。2005年被ICL收购后，Astaris将由ICL的Performance Products LP经营。2005年7月12日，ICL Performance Products LP 开始销售半导体级超电子级磷酸，品牌为PurEtch?， 磷

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酸的标准已经超过了SEMI规定的Grade3纯度级别。

9.6 德国的Basf 与Merck

2005年第二季度，德国的Basf完成对Merck KGaA电子化学品的收购，BASF增加了电子级磷酸产品。

9.7 波兰Kanto与Merck—Kanto

Kanto（关东）是一家波兰公司，公司建于1990年，当时主要是做化学品分装设备，分管日本关东化学。

1991年，Kanto与台湾的E.Merck合资成立了Merck-Kanto ,即默克-关东。为此，波兰Kanto的磷酸最终源于Merck公司，包括日本关东化学（Kanto Chemical Co.,Inc）也销售Merck的磷酸。

9.8韩国东友

东友是日本住友在韩国建立的三个子公司之一，主要生产电子级磷酸。2004年产能为7000吨/年，目前产能不详。

9.9韩国东进Dongjin Semichem

东进Dongjin Semichem是韩国一家半导体原材料供应商，其产品包含磷酸蚀刻液。目前京东方使用的蚀刻液就是主要由东进提供。

虽然经过多方查找，亚洲以外的磷酸供应厂商的产能还是未能了解到。虽然从进口数据上我们可以发现澳大利亚等国家也出口高价位磷酸，但是目前资料还不能使我们有充分的数据进行分析。

9.10英国GOWER化学有限公司

GOWER化学有限公司的产品涉及括高纯化学品，其中电子级产品包含氢氟酸、硫酸、85%的磷酸。据该公司网页介绍，他们的产品作为蚀刻液提供给日本

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的一家TV生产厂家。

10．国内电子级磷酸生产厂家

10.1四川成洪磷公司

四川成洪磷化工厂是1988年由成都化工研究设计院和洪雅县电力公司合资兴办的，产品以黄磷为主。多年来，由于体制原因，工厂经营理念落后，后续发展资金投入不足，技术和管理水平不高，错过了几次发展机遇。到2001年，工厂已是资不抵债、濒临倒闭，技术人才纷纷外流。在县委、县政府的指导下，工厂实现平稳转制，职工李全东等人筹资买下工厂，承担了2000多万元的债务，组建四川成洪磷化工有限责任公司。从转制到2005年，公司共完成销售收入1．6亿元，实现税利1600多万元，是转制前十几年的总和。

2003年，公司正式提出研发高纯电子级磷酸的设想，并成立研发中心，投入研发资金数百万元，通过上千次的试验，于2005年10月研发成功，通过了年产3000吨生产线改造，关键核心技术取得重大突破，产品取得了日本、韩国和国际权威机构的检测认可，批量产品达到目前国际最高端电子级磷酸水平。

高纯电子级磷酸核心技术的攻关成功为成洪磷公司的再次发展奠定了雄厚的技术基础，引起国内外业界的广泛关注，多家外商表达了投资合作意向，经过几个月谈判考察，公司与新加坡奥托斯集团、苏州电子材料公司、成都世森科技投资公司达成投资合作协议，组建了中外合资眉山胜科电子化学有限公司，电子化学品基地建在洪雅县将军工业集中区。项目总投资约6420万美元，全部建成投产后可实现年产值20亿元，税利5亿元。

四川成洪磷是目前国内对外公布有电子级磷酸的生产企业，和江阴澄星的准电子级磷酸有所不同，他们对外宣称已经有质量相当于SEMI2级的电子级磷酸。通过我公司销售人员索要的样品送检分析报告，该公司的产品基本能满足在TFT-LCD行业的使用要求。

成洪磷公司使用多级偶合法生产电子级磷酸，应该说是目前国内电子级磷酸做得最好的一家。2008年以这个项目向国家发改委申请了高技术产业化项目。

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