纯水系统安全操作规程

超纯水制备系统安全操作规程 1、系统运行前检查：

1.1 原水供水压力：0.3～0.4MPa； 1.2 压缩空气：压力在0.5MPa左右；

1.3 氮封水箱的氮气：氮气瓶内氮气充足，减压到0.2～0.3MPa供给氮封水箱； 1.4 管道上各手动阀门在正确运行位置： （1） 确定原水泵的供水阀门是处于开启状态；

（2） 确定多介质过滤器的阀门MFV1、MFV2处于开启状态，反冲洗阀门MFV3、MFV4处于关闭状态；

（3） 确定活性炭过滤器的阀门MFV1、MFV5处于开启状态，反冲洗阀门MFV3、MFV4处于关闭状态；

（4） 保证盐箱中有足够的饱和盐溶液（至少2/3以上）； 2、反渗透系统的自动运行操作：

将主控柜上 “#1或#2RO增压泵”、“二级高压泵”选择开关置“自动”位置，此时反渗透系统进入自动运行状态，当系统具备运行条件（软化水箱中位以上，中间水箱中位以下）时，系统将会自动投入运行。 3、EDI电去离子装置的自动运行操作:

将主控柜上 “#1或#2中间水泵”，“EDI电源”和“EDI电源”控制选择开关置“自动”位置，此时EDI电去离子装置进入自动运行状态，当EDI电去离子装置具备运行条件（RO产水箱中位以上，超纯水箱中位以下）时，EDI电去离子装置将会自动投入运行。 4、超纯水制备和供水系统的自动运行操作：

将主控柜上#1或#2超纯水增压泵、#1或#2超纯水泵控制选择开关置“自动”位置、超纯水泵变频选择开关置“#1变频”或“#2变频”位置，此时超纯水制备和供水系统进入自动运行状态，当系统具备运行条件（氮封超纯水箱中位以上）时，超纯水制备和供水系统将会自动顺序投入运行。 5、软化水供水系统的手动运行操作：

在软化水箱有足够水位的情况下，在软化水泵变频就地柜上将#1或#2软化水泵控制选择开关置“自动”位置、软化水泵变频选择开关置“#1变频”或“#2变频”位置，此时软化水供水系统进入自动运行状态，当具备运行条件（软化水箱中位以上）时，软化水供水系统将会自动投入运行。

6、确保至少每两天对多介质过滤器和活性炭过滤器进行一次反冲洗。

审核： 拟制：蔡炳华

编号： 保存期限：五年

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