Rofin激光器使用简明说明书

Rofin激光器使用简明说明书 控制电路板：

控制电路板主要包括：

电源，主开关，保险，继电器，安全装置，电机保护开关+ HV启动中的高频发生器以及高压产生单元

计算机部分包括：CPU卡，数字输入，继电器输出，脉冲坡调发生单元，一个通用的外部控制系统接口 键盘和显示（控制终端），控制终端可以装在任何其他本类型激光器电路板上

NO.: 名称 功能

Q1 Main Switch 机械开关连接主电源， 每日启动程序

打开冷却水（如果采用水冷机组，则打开水冷机组） 打开面板上的Q1开关% W$ o3 按下“MAINS ON”按钮

信号灯“MAINS IS ON”闪烁; b% 激光器里的风机启动% M\“MAINS ON”出现在显示屏上3 g3 在显示屏上出现如下信息

“WATER TEST”

大约10秒后“FLAMENT ON” 大约30秒后“HV READY” 如果有错误信息出现，则排除确认后按下“RETURN”* 按下高压开关 按下“HIGH VOLTAGE ON”按钮 “HIGH VOLTAGE IS ON”灯闪烁

激光器警告灯发光2 E L$ k. N8 此时激光器可以开始操作了，可以通过键盘来选择程序$ 关激光器' Y

按下“LASER BEAM OFF”键， 关闭激光器光闸 按下“HIGH VOLTAGE(HV) OFF”关闭高压9 按下“MAINS OFF”断开主电源 关闭冷水机组 关闭Q1开关 主要报警信号

输入 说明 后果 文字显示% 主电源浮动>±10％

或逆相序 主电源关闭/ d1 O [( v7 Q控制系统关闭 高压关闭 无文字显示 真空管抽真空

（真空检查或激光气体更换时） 高压锁定 EVACUATION 正在更换激光气体+

在服务菜单中选择相应键可以实现此功能 高压锁定 GAS EXCHANGE 真空管将冲入激光气体 高压锁定 GASFILLING+ 主电源关闭(x

主电源关闭或等待打开 高压锁定 MAINS OFF 真空检查激活

此功能可以在服务菜单中打开 高压锁定 VACUUM TEST.

X100.2

X100.4 在打开主电源后，计算机将等待3分钟以调节冷却水流量，为打开射频管做准备。 定 WATER TEST% j 警告信号：

腔内激光气压超出限制，这个信号表示激光气体交换十分必要。 警告信号 CAVITY PRESSURE

X100.7 警告信号：

激光气瓶内气压低 警告信号 GAS BOTTLE PRESSUER 警告信号

气体需更换 警告信号 GASCHANGE IN MAX 24h

X130.6 真空泵电机回路断开 警告信号 1>VACUUM PUMP

高压锁 24V电源断开 警告信号 24V SUPPLY

冷却水温度报警 警告信号 COOLING WATER3

TEMP)

X100.6 射频风扇压力过小或相序接反 高压锁定 FAN RF GENERATOR X100.7

X130.6 换气错误 高压锁定 GAS CHANGE FAULT: 需要换气 高压锁定 GAS CHANGE RIQUIRED& 充气时间超过 高压锁定 GAS FILL TIMEOUT2 X110.1 射频电源过流 高压锁定 GRID CURRENT X130.2 高压监控 高压锁定 HV MONITORING$ [ X130.2 高压过载 高压锁定 HV OVERCURRENT5

X140.6 高压软启动错误 高压锁定 HV SOFT START FAULT4 X130.7 电机回路或激光器控制电路风扇断开 高压锁定 1>FANS 高压过流 高压锁定 LA OVER CURRENT4

X120.5 激光器门锁信号 高压锁定 INTERLOCK DOORS X140.5 在高压锁定下K1没有断开 高压锁定 主电源 K1 FAULT

X130.8 在主电源锁定下K3没有断开 高压锁定$ 主电源 K3 FAULT

X140.4 电流控制继电器没有反馈 高压锁定 LASER WARNING LAMP7 激光功率超出限制 高压锁定(

LASER POWER LIMITS\

激光功率测量电流小于3.5 高压锁定 POWER MEASURE9 腔压测量电流小于3.5 高压锁定 主电源 PRESSURE MEASURE

X140.1 X140.2

X140.3 光闸没有信号或反馈信号过慢 高压锁定 主电源 SHUTTER FAULT |

X120.6 高压电路版温度高 高压锁定 TEMP HV CABINET X130.1 高压变压器温度高 高压锁定 TEMP HV TRANSF\ X100.1 高压发射管温度高 高压锁定 TEMP RF TUBE$ X110.3 光闸温度高 高压锁定 TEMP SHUTTER/ X100.3 冷却水温度高 高压锁定 TEMP WATER'u

X-HV

X4.1/6 模拟量给定超范围 高压锁定 VA LIMIT1 X100.4 水流量低 高压锁定 WATER FLOW

X100.2 射频管水流量低 高压锁定 WATER FLOW RF TUBE:

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/1f0.html