PECVD作业指导书 - 图文

1.目的： CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

确保管式PECVD处于良好的运行状态.

2.使用范围： 管式PECVD的使用。 3.参考： 4.责任： 本过程由设备人员负责并执行日常维护保养;设备工程师做定期维护与保养并做记录. 5.定义： 无 6.内容： 6.1开机 6.1.1开真空泵 6.1.1.1 合上真空泵面板上总电源开关 内 6.1.1.3打开靠墙支架上N2阀。确认面板上绿色N2阀已打开。压力值为1kg /cm2左右（图1） 6.1.1.2打开真空泵冷却水。先开出水，再开进水。冷却水压力应在3kg /cm2—6kg /cm2范围 图（1） 6.1.1.4按压START真空泵启动按钮，启动真空泵。（图2） CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

图6.1.2打开设备冷却水。先打开出水阀，再开进水阀。压力在3kg /cm2---6kg /cm2 范围内（图3） 图（3） 6.1.3打开并检查气源。打开压缩空气阀，N2阀，NH3阀，SiH4阀。机器上压缩空气压力应在6kg /cm2—7kg /cm2。其他气体4 kg /cm2—10kg /cm2范围 开启SIH4阀（图4） CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

图（4） 开启NH3阀（图5） 图（5） 开启N2阀（图6） CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

图（6） 开启CDA阀（图7） 图（7） 6.1.4开总电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，机器上指示灯 CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

图（8） VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启（图8）。 6.1.5启动CMI程序。开总电源后计算机自动启动。输入密码后自动进入Windows桌面。用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。 6.1.6进入CMI 画面，检查设备状态： SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ，TUBE=READY ，TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK（整体界面图9） 图（9） 6.2选择工艺程序，生产。 6.2.1插片。用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。 6.2.2向机器进车。向机器推入装完片的石墨舟小车。计算机CMI自动切换到“JOBS”画面 在“LOTS”里输入自己名字的拼音缩写，在舟号里输入舟的号码。选择对应的工艺文件。 设备自动进行工艺生产。(整体界面图10)

CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

图（10） 6.2.3从机器中取车。硅片沉积反应完成后自动卸石墨舟到小车。听到蜂鸣器的声音后，按住 绿色的小车解锁按钮三秒钟。等灯熄灭后拉出小车推入冷却房中。在运输过程中千万注（意舟的安全和避免舟高温伤害）。 6.2.4冷却时间为10分钟左右。完毕后小心推入装片房中进行卸片。 6.3关机 6.3.1检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。 6.3.2PECVD每个真空管压力设定为10000mToor,等每管实际压力达到10000mToor。 6.3.3关闭CMI程序。再关计算机。 6.3.4关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮。 6.3.5关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。 6.3.6关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水，再关出水。 6.3.7关闭真空泵。等待20分钟后关闭冷却水和N2阀。 7.1使用权限 7.1.1PECVD一般操作工设备使用权限：插片和卸片，推入和拉出石墨舟启动和停止工艺运行。 PECVD操作工组长设备使用权限：插片和卸片，推入和拉出 7.1.2出石墨舟启动和停止工艺运行，消除报警信息，LIFT复位，浆复位。 7.1.3工艺人员根据生产的具体情况可通知设备人员修改工艺，工艺参数仅限于设备工程师和工艺工程师修改，上机运行前需设备人员检查设备对工艺运行的可行性。 7.1.4如无特别需要工艺人员请勿操作设备，操作可由设备人员进行。 8．1 应急处理 8.1.1如果发生报警，应马上报告工序长，如果工序长不能解决，再通知设备人员(要注意，不要随便删除报警信息)。 CENTROTHERM管式PECVD操作说明书

8.1.2 当设备发生火灾，特气泄漏时，请立即关闭设备总电源和位于真空;房外的特气阀:如火灾不能控制，请及时拨打“119”报火警，并报告领导人员。 8.1.3 当冷却水漏水不可控制时，请立即关闭冷却水总阀，停止工艺运行，联系设备人员。8.1.4 当冷却水微漏，氮气或压缩空气泄漏时，请联系设备人员。 9.1 保养 9.1.1 日常保养由当班操作员工完成。 9.1.2 月度保养由专职设备人员完成并在《CENTROTHERM管式PECVD月保养记录》上做好记录。

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/0vaf.html